$SiO_2/Si_3N_4/SiO_2$ 터널장벽을 갖는 WSi2 나노입자 메모리소자의 전하누설 근원분석
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- 한국진공학회:학술대회논문집
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- 한국진공학회 2010년도 제39회 하계학술대회 초록집
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- pp.193-193
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- 2010