• Title/Summary/Keyword: 비부착형

Search Result 422, Processing Time 0.027 seconds

SELF-PALSMA OES의 능동형 오염 방지 기법

  • Kim, Nam-Sik
    • Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference
    • /
    • 2013.08a
    • /
    • pp.82.1-82.1
    • /
    • 2013
  • SPOES(Self Plasma Optical Emission Spectroscopy)는 반도체 및 LCD 제조 장비의 Foreline에 장착되는 센서로써, Foreline에 흐르는 Gas를 이온화시켜 이때 발생되는 빛을 분광시켜 공정의 상태 및 장비의 상태등을 종합적으로 점검할 수 있는 센서입니다. SPOES의 최대 장점은 공정 장비에 영향을 주기 않으면서 공정을 진단할 수 있고, 장비의 메인챔버에서 플라즈마 방전이 발생하지 않는 RPS (Remote Plasma System)등에 적용이 가능하며, 설치 및 분해이동과 운용이 용이한 장점이 있습니다. 하지만, SPOES는 오염성 가스 및 물질에 의한 오염에 취약한 단점이 있습니다. 예컨대, 플라즈마 방전에 의한 부산물들이 SPOES의 내부에 있는 윈도우의 렌즈에 부착되어 감도를 저하시켜, SEOES의 수명을 단축시킵니다. 또한 오염 물질이 SPOES 내부의 방전 CHAMBER에 증착되어 플라즈마 방전 효울을 저하시켜 센서의 효율을 저하시킵니다. 예를들면, 장비의 공정 챔버에서 배출되는 탄소와 같은 비금속성 오염물질과 텅스텐과 같은 금속성 오염물질이 SPOES의 방전 CHAMBER 내벽과 윈도우에 증착되어 오염을 유발합니다. 오염이 진행된 SPOES는 방전 CHAMBER의 오염으로 CHAMBER의 유전율을 변화시켜, 플라즈마 방전 효율의 저하를 가져오고, 윈도우의 오염은 빛의 투과율을 저하시켜, OES 신호의 감도를 저하시켜, SPOES 감도를 저하시키는 요인으로 작용합니다. 이러한 문제를 해결하기위한 방법으로 능동형 오염 방지 기술을 채용 하였습니다. 능동형 오염 방지 기법은 SPEOS의 방전 챔버에서 플라즈마 방전시 발생하는 진공의 밀도차를 이용하는 기술과 방전 챔버와 연결된 BYPASS LINE에 의해 발생되는 오염물질 자체 배기 시스템, 그리고 고밀도 플라즈마 방전을 일으키는 멀티 RF 기술 및 고밀도 방전을 일으키는 챔버 구조로 구성 되어 있습니다. 능동형 오염 방지 기법으로 반도체 공정에서 6개월 이상의 LIFETIME을 확보 할 수 있고, 고밀도 플라즈마로 인한 UV~NIR 영역의 감도 향상등을 확보 할 수 있습니다.

  • PDF

Development of Buckling Restrained Brace Laterally Supported by Semicircular Springs (반원형 스프링으로 횡지지된 건식형 좌굴방지가새의 개발)

  • Park, Keum Sung;Lee, Sang Sup;Hong, Sung Yub;Bae, Kyu Woong
    • Journal of Korean Society of Steel Construction
    • /
    • v.26 no.6
    • /
    • pp.549-558
    • /
    • 2014
  • Buckling restrained braces(BRBs) developed as a seismic protection element, hysteretic damper, have been investigated in America and Japan mainly. BRBs are composed of a steel core and concrete-filled steel casing. It is one of the major causes of drop in productivity to fill the steel casing with concrete. To improve this problem, the BRB is introduced in which the steel core is restrained with a pair of semicircular springs. In this paper, the numerical and analytical investigation about the desirable configuration for a semicircular spring is presented. Firstly, the stiffness and strength of semicircular spring is determined theoretically to buckle into a very high-order modes. Then, the required stiffness and strength are calculated under the practical design conditions and considered as reference values to find a proper configuration. The material strength and thickness of semicircular spring are chose from the finite element analysis for 5 semicircular springs with varying height. Finally, the nonlinear buckling analysis of BRB with proper semicircular springs shows that the bucking strength of the whole BRB is very similar to the strength of steel core with length between semicircular springs.

Evaluation of Strengthening Performance of Stiff Type Polyurea Retrofitted RC Slab Based on Attachment Procedure (경질형 폴리우레아의 개발 및 보강 순서에 따른 RC 슬래브의 성능 평가)

  • Kim, Jang-Ho Jay;Park, Jeong-Cheon;Lee, Sang-Won;Kim, Sung-Bae
    • Journal of the Korea Concrete Institute
    • /
    • v.23 no.4
    • /
    • pp.511-520
    • /
    • 2011
  • Recent studies to improve reinforcement of structures have developed stiff type Polyurea by using highly polymized compound Polyurea, but the reinforcing effect of it appears to be merely good. To find the proper usage of Polyurea as structural reinforcement, stiff type Polyurea has developed by manipulating the ratio of the components that consist flexural type Polyurea and the developed stiff type Polyurea shows higher hardness and tensile capacity. The reinforcement effect evaluation of has been performed by the polyurea applied RC slab specimens, and the reinforcement effect of the combination of fiber sheet and polyurea has been tested. The results shows that the Polyurea applied specimens have significant improvement on hardness and ductility compare to those of unreinforced. Also, the specimens that stiff type Polyurea is sprayed on fiber sheet reinforcement has higher reinforcing effect than only sheet reinforced specimens. However, the specimens that and fiber sheet attached after polyurea applied on showed that the high toughness of fiber sheet restrains the ductile behavior of Polyurea due to the high ductility, thereby the specimen suffers the concentration of load, which leads the brittle fracture behavior.

FM Sound synthesizer Design using the Standard Cell Library (표준셀 라이브러리를 사용한 FM 악기음합성기 설계)

  • 홍현석;조위덕
    • The Journal of the Acoustical Society of Korea
    • /
    • v.12 no.1
    • /
    • pp.27-36
    • /
    • 1993
  • FM방식의 악기음원합성은 해당 악기의 음색과 음정에 맞는 FM의 기본 주파수와 변조 계수를 정하여 신호 파형을 생성하는 것으로, 다른 가, 감산방식 또는 PCM방식 등에 비해 비교적 간단한 구조로 다양한 악기음원합성이 가능하다. 따라서 현재 사용되고 있는 개인용 컴퓨터에 부착되는 사운드합성 카드에는 FM방식 음원합성기술이 적용되고 있다. 본 논문에서는 FM방식 음원합성기술을 이용하여 실시간 악기음원합성이 가능한 논리회로를 설계하는데 관한 연구를 기술한다. 본 연구에서는 소프트웨어 프로그래밍에 의해 FM방식 음원합성기의 구조를 설계하고 주요 블록의 최적 변수 값을 실험하였다. 논리회로 설계 및 회로검증은 향후 주문형반도체(ASIC:Application Specific Integrated Circuit)제작을 위해 기존의 표준셀 라이브러리와 주문형반도체 전용 설계시스템을 사용하였다. 회로검증 결과는 간이 평가보드를 제작하고 PC와 접속시켜 생성된 악기음을 직접듣는 주관적 평가방법으로 최종 확인하였다.

  • PDF

Tracking Control of HDD Dual Stage Actuator with Shear Mode PZT Micro-actuator (하드 디스크용 전단형 2단구동기의 동적 해석 및 제어)

  • Park, Sung-Joon;Lee, Sang-Min;Yoon, Joon-Hyun;Yang, Hyun-Seok;Park, Yong-Pil
    • Proceedings of the Korean Society for Noise and Vibration Engineering Conference
    • /
    • 2000.06a
    • /
    • pp.1570-1576
    • /
    • 2000
  • 하드디스크의 고용량화 추세에 따라 헤드의 정밀한 위치제어를 위한 큰 대역폭의 트랙추적 서보 시스템의 필요성이 대두되고 있다. 이에 작은 신호의 마찰을 제거하고 대역폭을 높이는 방법 중 하나인 2단구동기 트랙추적제어를 실시하여 큰 대역폭의 트랙 추적 서보시스템을 구성하는 방법에 대해 연구하였다. 2단구동기는 조동구동기(기존 하드디스크의 VCM)와 전단형 압전체를 부착한 미동구동기로 구성하였다. 미동구동기의 Hinge구조는 트랙 방향의 공진 주파수와 출력변위를 만족시키기 위한 구조로 설계하였다. 제어기는 notch filter와 PI 보상기를 사용하는 조동구동기와 notch filter와 PD 보상기를 사용하는 미동구동기를 다양한 구조로 구성한 것들을 비교하였다. 2단구동기는 VCM만을 사용하여 트랙 추적을 할 때보다 트랙 편심을 잘 추적하며, 기계적 공진과 VCM의 비선형성에 의해 제한된 대역폭을 개선시키는 효율적인 방법임을 확인하였다.

  • PDF

Performance Analysis of Singularity-Free 3-DOF Parallel Haptic Device with Redundanct Acutation (여유구동을 지닌 무특이점 병렬형 3 자유도 햅틱기구의 성능행석)

  • Kim, Tae-Joo;Chung, Goo-Bong;Lee, Jae-Hoon;Yi, Byung-Ju;Suh, Il-Hong
    • Proceedings of the KIEE Conference
    • /
    • 2003.07d
    • /
    • pp.2396-2398
    • /
    • 2003
  • 세 개의 체인으로 구성된 병렬형 3 자유도 기구는 특이점을 지님으로 인하여 햅틱기구로 활용시 불특정한 힘반영으로 인해 제한요소가 발생한다. 본 논문은 여유구동을 활용함으로써 특이점을 해소하고, 힘반영의 크기를 증가시킴으로써 햅틱기구의 성능을 향상시키는 것을 목적으로 한다. 또한 여유구동 모터를 베이스에 부착함으로써 관성력을 최소화 시키고, 와이어와 기어비를 활용하여 부드럽고 큰 힘반영 능력을 가능케 했으며, 시뮬레이션을 통해 힘반영 성능을 확인하였다.

  • PDF

Investigation of Shear Design Expressions of Large-Diameter Concrete-Filled Steel Tubes(CFT) (대구경 콘크리트 충전형 합성기둥의 전단 설계식 분석)

  • Jung, Eun Bi;Yeom, Hee Jin;Yoo, Jung Han
    • Journal of Korean Society of Steel Construction
    • /
    • v.27 no.4
    • /
    • pp.399-410
    • /
    • 2015
  • Concrete filled steel tube(CFT) has outstanding deformation capacity and strength in comparison with reinforced concrete or steel tube. CFT drilled shaft, which is developed large shear force due to seismic load and soil liquefaction, is designed as large diameter. However, shear design equations of the current standards do not consider bond stress of CFT and it results in extremely conservative design. Currently, previous studies for improving shear equations scarcely exist and are impossible applied to large CFT drilled shafts since these studies focus on only small scale experimental research. In this study, eventually to propose improving shear equation of large diameter CFT, it is preliminary research to compare and investigate the previous studies and current standards.

Shear Behavior of Reinforced Concrete Beams Strengthened with Unbonded-Type Wire Rope Units (비 부착형 와이어로프로 보강된 철근콘크리트 보의 전단 거동)

  • Kim, Sun-Young;Byun, Hang-Yong;Sim, Jae-Il;Chung, Heon-Soo;Yang, Keun-Hyeok
    • Journal of the Korea Concrete Institute
    • /
    • v.19 no.1
    • /
    • pp.83-90
    • /
    • 2007
  • The present study reports a simple unbonded-type shear strengthening technique for reinforced concrete beams using wire rope units. Fifteen beams failed in shear were repaired and strengthened with wire rope units, and then retested to failure. Influence of the prestressing force, orientation and spacing of wire rope units on the shear behavior of strengthened beams having shear span-to-depth ratios of 1.5, 2.5, or 3.25 were investigated. Test results showed that beams strengthened with wire rope units exhibited a higher shear strength and a larger post-failure deformation than the corresponding original beams. Inclined wire rope units was more effective for shear strength enhancement than vertical wire rope units. The increase of the prestressing force in wire rope units causes the decrease of the principal tensile stress in concrete, as a result, the diagonal tensile cracking strength of strengthened beams was higher than that of the corresponding original beams. Shear capacity of strengthened beams is compared with predictions obtained from ACI 318-05 and EC 2. Shear capacity of strengthened beams having shear span-to-depth ratio below 2.5 is reasonably predicted using ACI 318-05 formula. On the other hand, EC 2 overestimates the shear transfer capacity of wire rope units for beams having shear span-to-depth ratio above 2.5.

Structural Analysis of Digging Part of Gathering Type Potato harvester (수집형 감자 수확기 굴취부 구조해석)

  • Kim, Jong-Mun;Lee, Ye-Seul;Choi, Moon-Chan;Lee, Kyu-Ho;Kim, Yong-Ju;Jeong, Da-Un;Lee, Sang-Hee;Chung, Sun-Ok
    • Proceedings of the Korean Society for Agricultural Machinery Conference
    • /
    • 2017.04a
    • /
    • pp.91-91
    • /
    • 2017
  • 최근 국민 삶의 질 향상, 건강한 먹거리 인식 및 국내 여건 변화 등으로 벼농사에 비해 상대적으로 소득 수준이 높은 밭작물 생산에 대한 수요가 증가하고 있으나, 관련 농업기계 개발이 미흡하여 밭농업 기계화가 절실한 실정이다. 밭작물의 경우 기계화율이 2015년 56.3%이며, 특히 파종, 이식작업이 5%, 수확작업이 13.3% 수준으로 열악한 실정임. 경운정지 기계화율은 99%를 넘으며, 방제 작업도 기계화율이 85~99% 수준으로 다른 작업에 비해 높은 실정으로, 파종, 이식, 수확작업의 기계화는 밭농업 일관기계를 위하여 반드시 필요하다. 감자는 주요 밭작물 중 하나로, 최근 가공용 소비로 수입량이 증가하여 국내에서 자주식 굴취/선별/수집형 수확기(2011, 농촌진흥청)가 개발되었으나, 가격이 높고 표피손상 등 개선이 필요하여 트랙터 부착형 수집형 감자수확기가 개발 중에 있다. 따라서 본 연구에서는 수집형 감자 수확기 시작기 구조해석을 하려고 한다. 우선 시작기의 도면을 CATIA를 활용하여 3D로 작성한 뒤, MIDAS NFX 시뮬레이션 및 구조해석 프로그램으로 구조해석을 진행하였다. 수행한 해석으로는 선형정적해석으로서 외부하중에 대해 구조물의 변형을 검토하는 해석이다. 재질은 SM45C로 선정하였고, 접촉조건과 구속조건을 설정한 뒤 감자수확기 굴취부에 집중하중을 200 ~ 1000 N 까지 200N 간격으로 선형정적해석을 진행하여 Von-Mises 응력, 허용응력, 극한응력, 안전율을 해석하였다.

  • PDF

Application Methods for Enhancing Phytotoxicity of Glyphosate I. Effects of Surfactants and Spray Volumes on Leaf Retention of Various Plant Species (Glyphosate의 살초효과(殺草效果) 증진(增進)을 위한 살포방법(撒布方法)에 관(關)한 연구(硏究) I. 계면활성제(界面活性劑)와 살포량(撒布量)에 따른 초종별(草種別) Glyphosate 엽면부착량(葉面附着量)의 차이(差異))

  • Lee, J.J.;Pyon, J.Y.
    • Korean Journal of Weed Science
    • /
    • v.7 no.1
    • /
    • pp.58-63
    • /
    • 1987
  • Laboratory and greenhouse studies were conducted to evaluate effects of spray volumes and surfactants, L-77 and Triton CS-7 on leaf retention of glyphosate in Zea mays, Hordeum vulgare, Artemisia princeps, Trifolium repens and Equisetum arvense. Leaf retention was increased when glyphosate with L-77 or Triton CS-7 was applied in a spray volumes of 10-20 l/10a in Zea mays and 40 l/10a in Artemisia princeps but decreased when spray volumes were higher than above volumes and 40-80 l/10a in Trifolium repens. Hordeum vulgare leaves retained more spray when glyphosate with L-77 or Triton CS-7 was applied in all spray volumes tested. Equisetum arvense retained higher amount of spray by application of glyphosate with L-77 compared with Triton CS-7 and no surfactant treatments.

  • PDF