• Title/Summary/Keyword: 불화막

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The GaAs Inversion-type MISFET using Fluoride Gate Insulator (불화물 게이트 절연막을 이용한 반전형 GaAs MISFET)

  • KWang Ho Kim
    • Journal of the Korean Institute of Telematics and Electronics A
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    • v.30A no.3
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    • pp.61-66
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    • 1993
  • The interface properties of Fluoride/GaAs structures were investigated. It was foung that rapid thermal annealing(RTA) typically 800-850$^{\circ}C$for 1 min, was useful for improving the interface properties of that structures. The analysis by means of SIMS indicated that interdiffusion of each constitutional atom through the interface was negligible. The interfacial atom bonding model for RTA treatment was proposed. Bases on these results, inversion-type GaAs MISFET was fabricated using standard planar technologies.

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The Fabrication Characteristics of TFELD (박막형 전기장발광소자 제작 및 특성조사)

  • 곽민기;박연수;김형근;장경동;손상호;이상윤;이상걸
    • Proceedings of the Materials Research Society of Korea Conference
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    • 1994.11a
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    • pp.81-82
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    • 1994
  • 히토류 불화물인 SmF$_3$, PrF$_3$, 및 TbF$_3$를 ZnS 모체에 첨가한 박막 EL소자를 Fig.1과 같이 제작하고 발광중심의 농도변화, 열철, 증착시의 기판온도, 증착되는 막의 두께 등의 조건을 변화시켜서 각 조건에 의존하는 소자의 특성을 X-선회절분석과 분광 스펙트럼 분석으르 바탕으로 해석했다. 광학적 스펙트럼은 발광중심과 모체에 의존하며 기판온도의 변화는 발광층의 결정성 향상에 기여한다는 것을 알았다. 기판 온도의 변화에 의한 막의 결정성 향상과 열처리에 의한 발광중신의 모체내 열확산에 따른 재결정화나 비 방사성이완(non-radiative relaxation)을 일으키는 격자결함의 감소는 EL소자의 발광층내 전도전자에 영향을 미쳐 휘도와 효율의 개선이 이루어짐을 알았다. 소자의 발광층에 흐르는 전도전류와 이동전하량을 각각 Chen-Krupka회로와 Sawyer-Tower회로로 측정했다

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Effect of NaCl and Fluoride adsorbates on Zircaloy-4 Oxidation in Air. (지르칼로이 피복관의 공기중 산화에 NaCl과 불화물의 영향)

  • 박광헌;김광표;조윤철
    • Proceedings of the Korean Institute of Surface Engineering Conference
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    • 1999.10a
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    • pp.105-105
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    • 1999
  • 핵연료 피복관은 핵연료에서 방사성 핵분열생성물의 방출을 저지하는 가장 뚱요한 방어막인데, 현재 지르칼로이 4가 피복관의 재료로 사용되고 있다. 사용후 핵연료는 원자력발전소내 습식 저장조에 저장되고 있으나, 지속적인 관리와 장소확보의 용이 성으로 인해 건식 저장조를 사용하는 추세에 있다. 본 연구에선 건식 저장조에 장 기간 저장되는 핵연료 피복관에 주변 환경으로부터 오염될 수 있는 소금기나 기름 등이 지르칼로이의 공기중 산화에 미치는 영향의 존재를 밝히려 한다. 현재 고리 원자력발전소에서 사용중인 핵연료 피복관을 1cm정도 높이로 자르고, 피복관 표면 을 ASTM -G2-88 방법으로 처리한 후 산화실험을 수행하였다. 산화정도는 간헐적 (intermittent) 방법을 사용하여 시편의 무게를 측정하여 구하였으며, 산화온도는 $400-500^{\circ}C$로 하였다. 소금이 흡착이 된 경우, 산화 속도는 흡착이 안된 시편보다 가속되었으며, 거의 이차법칙을 따르고 있다. 산화막 위의 흡착물의 영향을 알아보기 위해, 지르칼로이를 $500^{\circ}C$ 수증기에 $5g/m^2$ 두께로 산화시킨 후, 다시 산화실험을 수행하였다. 사용한 흡착물은 LiF, NaF, KF, NaCI 이다. 흡착물들은 산화를 대체로 가속시켰으며, NaF, KF, NaCI 순으로 그 영향력이 컸다. 그러나, LiF는 산화에 전혀 영향을 미치지 않았다. SIMS를 사용하여 각 시편의 두께에 따른 흡착물의 분포 를 알아보았다. 음이온(CI, F)과 양이온(Na, Li, K)이 산화막과 금속 경계면까지 관 찰되었으며, 음이온과 양이온의 분포는 대게 동일하였다. LiF의 경우 산화막에서 이들의 농도가 급격히 떨어지고 있음을 알 수 있었다. 산화막 내에서 이들 흡착물의 확산이 산화속도 가속의 원인이며 이들 흡착물중 CI과 F는 산화막과 금속 겸계면 에서 새로 생성되는 산화막의 강도에 영향을 미쳐, 일찍 미세균열을 만들기 시작하여 산화를 가속시키는 것으로 판단된다.

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Ti-Ni합금에 생성하는 나노튜브 산화막의 형태 및 성장거동

  • Kim, Min-Su;Han, Dong-Won;Gwon, A-Ram;Na, Chan-Ung
    • Proceedings of the Korean Institute of Surface Engineering Conference
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    • 2017.05a
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    • pp.133-133
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    • 2017
  • [서론] Pure Ti 및 Ti합금의 양극산화법에 의해 만들 수 있는 자기조직화된 나노튜브피막은 광촉매, 태양전지 등 다양한 분야에서 많은 연구가 되고 있다. 양극산화법에 의해 생성되는 산화피막층의 성장거동에 대해서 지금까지 용액의 pH, 온도 및 인가전압 등 양극산화조건의 영향에 대해 많은 연구가 보고 되었다. 하지만, 양극산화에 사용되는 기판의 특성에 대해서는 많은 연구가 이루어지지 않고 있다. 본 연구에서는 pure Ti 및 Ti-Ni합금에 양극산화법에 의해 생성하는 나노튜브 피막층의 성장거동에 대해 기판의 특성(Ni농도 변화 및 phase변화)이 피막층의 형태 및 성장거동에 미치는 영향에 대해서 조사 하였다. [실험방법] Sample은 pure Ti 및 Ti-xNi(x=49.0, 51.1, 52.2, 52.5 at.%)를 이용하였다. Ti-Ni합금은 아크용해로 제작 후 $1000^{\circ}C$ 에서 24시간 균질화 처리 후 20% 냉간압연을 하였다. 합금의 조성 및 결정구조 분석은 EPMA 및 XRD를 통해 조사 하였고, 양극산화는 미량의 물 및 불화암모늄을 포함한 에틸렌글리콜 용액에서 20, 35, 50V 20분간 실시하였다. 양극산화법에 의해 형성한 산화피막층은 FE-SEM 및 TEM을 통해 관찰 하였다. [결론] Pure Ti의 경우 모든 조건에서 나노튜브형태의 산화막이 형성되는 것을 알 수 있었다. 하지만, Ti-Ni 합금의 경우 20V, 35V에서는 sponge 형태의 산화막이 형성되고, 50V에서만 나노튜브형태의 산화막이 형성 되었다. 또한, 모든 시편에서 양극산화 시간이 증가함에 따라 나노튜브형태의 산화막은 sponge 형태로 구조적 변화가 일어나는 것을 알 수 있었다. 그리고, 기판 Ni농도가 증가 함에 따라 형성되는 산화막의 형태 변화는 가속화 되는 것을 알 수 있었다. 이러한 결과는 양극산화 초기 Ti의 우선적 산화에 의해 Ti과잉의 나노튜브층이 생성되고, 동시에 산화막과 합금계면에 Ni과잉층이 형성되는 것을 알 수 있었다. 산화막과 합금계면에 생성된 Ni과잉층에 의해 양극산화 시간이 증가함에 따라 sponge형태의 산화막이 생성되는 것을 알 수 있었다.

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Studies on the $N_2/SF_6$ Permeation Behaviors Using the Polyethersulfone Hollow Fiber Membranes (폴리이서설폰 중공사 막을 이용한 $N_2/SF_6$ 투과거동에 관한 연구)

  • Lee, Hyung-Keun;Kim, Dae-Hoon;An, Young-Mo;Jo, Hang-Dae;Park, Jong-Soo
    • Membrane Journal
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    • v.19 no.3
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    • pp.244-251
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    • 2009
  • In this research the polyethersulfone hollow fiber membrane was used to separate Sulfur Hexafluoride ($SF_6$) which is the one of the six greenhouse gases from Air ($N_2$). The effects of the non-solvent (Acetone, Ethanol) type, air-gap and post-treatment (surface silicon coating) were investigated by the structure and performance of the membranes. The structure change of the membrane was examined by scanning electron microscope. The single gas permeation using $N_2$, $SF_6$ through the membrane surface coated with silicon showed maximum 7.64 perm-selectivity improved 3.4 times.

Effect of Reaction Temperature on the Geometry of Carbon Coils Formed by SF6 Flow Incorporation in C2H2 and H2 Source Gases (SF6-C2H2-H2 기체에 의해 생성된 탄소 코일 기하구조의 반응온도 효과)

  • Kim, Sung-Hoon
    • Journal of the Korean Vacuum Society
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    • v.21 no.1
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    • pp.48-54
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    • 2012
  • Carbon coils could be synthesized on nickel catalyst layer-deposited silicon oxide substrate using $C_2H_2$ and $H_2$ as source gases and SF6 as an additive gas under thermal chemical vapor deposition system. The geometries of as-grown carbon materials were investigated with increasing the reaction temperature as the increment of $25^{\circ}C$ from $650^{\circ}C$ up to $800^{\circ}C$. At $650^{\circ}C$, the embryos for carbon coils were formed. With increasing the reaction temperature to $700^{\circ}C$, the coil-type geometries were developed. Further increasing the reaction temperature to $775^{\circ}C$, the development of wave-like nano-sized coils, instead of nano-sized coils, and occasional appearance of micro-sized carbon coils could be observed. Fluorine in $SF_6$ additive may shrink the micro-sized coil diameter via the reduction of Ni catalyst size by fluorine's etching role. Finally, the preparation of the micro-sized carbon coils having the smaller coil diameters, compared with the previously reported ones, could be possible using $SF_6$ additive.

Comparison of plasma resistance between spray coating films and bulk of CaO-Al2O3-SiO2 glasses under CF4/O2/Ar plasma etching (CaO-Al2O3-SiO2 계 벌크 유리와 스프레이 코팅막의 CF4/O2/Ar 플라즈마 식각 시 내식성 비교)

  • Na, Hyein;Park, Jewon;Park, Jae-Hyuk;Kim, Dae-Gun;Choi, Sung-Churl;Kim, Hyeong-Jun
    • Journal of the Korean Crystal Growth and Crystal Technology
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    • v.30 no.2
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    • pp.66-72
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    • 2020
  • The difference of plasma resistance between the CAS glass bulk and coating films were compared. Plasma resistance was confirmed by analyzing the etch rate and the microstructure of the surface when the CAS glass bulk and the glass coating film were etched with CF4/O2/Ar plasma gas. CAS glass coating film was etched up to 25 times faster than the glass bulk. A statistically high correlation between the surface roughness and the etching rate of the coating film was derived, and thus, the high surface roughness of the coating film was determined to cause rapid etching. In addition, cristobalite crystals that has a low Ca content and a high Si content, was foamed on the glass coating film. Therefore, the CAS glass coating film is considered to have low plasma resistance compared to the glass bulk.

A Study on Ni Electroless Plating Process for Solder Bump COG Technology (COG용 Solder Bump 제작을 위한 Ni 무전해 도금 공정에 관한 연구)

  • Han, Jeong-In
    • Korean Journal of Materials Research
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    • v.5 no.7
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    • pp.794-801
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    • 1995
  • To connect the driver IC and Al coated glass, a method has been developed to plate electrolessly Ni on Al/PR system. It Is necessary to pretreat Al to remove oxide film before plating. In order to find pretreatment process which does not damage photoresist or glass, alkaline and fluoride zincate process have been investigated. Because photoresist and aluminum thin film can easily dissolve in alkaline solution, it is considered that the fluoride zincate process was a suitable one. After immersion in the zincate solution containing 1.5 g/$\ell$ ammonium bifluoride and 100 g/$\ell$ zinc sulfate, electroless nickel plating could be performed. The additive in the zincate solution and thiourea in the plating solution increased smoothness of the plated surface. Acld dip could improve the uniformit of the surface.

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Application of On-Line SPE-LC/MSD to Measure Perfluorinated Compounds (PFCs) in Water (On-Line SPE-LC/MSD 시스템을 이용한 수중의 과불화 화합물(PFCs) 분석)

  • Son, Hee-Jong;Yoom, Hoon-Sik;Jung, Jong-Moon;Jang, Seung-Ho
    • Journal of Korean Society of Environmental Engineers
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    • v.35 no.2
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    • pp.75-83
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    • 2013
  • We applied a sensitive method based on on-line solid-phase extraction (SPE) and liquid chromatography/mass spectrometry (LC/MSD) using an electrospray interface for the determination of eleven perfluorinated compounds (PFCs) in water. The on-line connection suppressed the target loss by keeping the cartridge from drying, which resulted in improvement of the recovery and saving of the analytical time. For the on-line solid-phase extraction of 10 mL water samples, recoveries were between $80.4{\pm}5.2%{\sim}109.5{\pm}1.4%$ and limit of quantification (LOQ) were 3.6~15.9 ng/L for the PFCs. The total PFCs concentrations of the tributaries and main stream of Nakdong River water samples were in the range of $8.0{\sim}678.6{\mu}g/L$.

Pervaporation of Fluoroethanol/Water Mixtures through Commercial Poly(vinyl alcohol) Membranes (상용화된 폴리비닐알콜막을 이용한 불화에탄올/물의 투과증발 특성연구)

  • Lee Soo-Bok;Ahn Sang-Man;Choi Seung-Hak;Kim Jeong-Hoon;Lee Yong-Taek
    • Membrane Journal
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    • v.14 no.3
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    • pp.258-262
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    • 2004
  • Trifluoroethyl methacrylate (TFEMA) is used in the preparation of water-repellant paints and optical fiber clading materials, and is manufactured by esterification reaction of trifluoroethanol (TFEA) and methacrylic acid (MA). To estimate the applicability of a pervaporation membrane for the esterification TFEMA esterification, the basic pervaporation properties for TFEA/water mixture were determined using a commercial poly(vinyl alcohol) membrane (GFT Membrane $Pervap^{\circledR}1005$). The effect of TFEA concentration in feed solution and operating temperature on the pervaporation properties was determined. The total permeation flux decreased with increasing TFEA concentration from 90 to 99 wt%, but the separation factor of TFEA/water showed maximum values at 95 wt% TFEA concentration. With increasing feed temperatures from 50 to 8$0^{\circ}C$, the permeation flux and separation factor increased. Higher separation factors and permeation fluxes were observed at 8$0^{\circ}C$ of feed temperature. This pervaporation performance confirmed that the commercial pervaporation membrane could be successfully applied to esterification of TFEMA.