Fabrication and Characterization of LPCVD $P_2O_5-SiO_2$ Films for Inegrated Optics (1) -LPCVD of TEOS and TMPite
(LPCVD $P_2O_5-SiO_2$ 집적광학박막의 제작 및 특성 연구(1) -TEOS와 TMPite의 LPCVD-)
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- Korean Journal of Optics and Photonics
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- v.4 no.3
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- pp.266-275
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- 1993