• 한국진공학회지
• /
• 제7권1호
• /
• pp.72-76
• /
• 1998

본 연구에서는 방전내에서 활성화된 라디칼의 반응을 촉진시키는 플라즈마중합을 통하여 기능성 유기박막을 합성하기 위해 새로운 형태의 유동가스형 반응장치를 개발하였 다. 중합을 위해서 스티렌 모노머를 사용하였으며 분자구조와 분자량 분포에 대한 분석을 행하였다. 제작된 플라즈마중합막은 우수한 성능의 전자빔 레지스트로서 평가되었다. 새로운 플라즈마 반응장치를 이용하여 제작된 박막의 감도는 습식공정에 의해 제작된 레지스트의 감도에 비해서 향상되었으며 깨끗한 패턴이 성공적으로 제작되었다.

• 대한기계학회:학술대회논문집
• /
• 대한기계학회 2008년도 추계학술대회B
• /
• pp.2723-2728
• /
• 2008

The present study is numerically and experimentally performed to reveal the pumping characteristics of a helical-type molecular drag pump (HTDP) in the molecular transition flow region. In the experimental study, the pressures are measured simultaneously at the 5 positions along the helical channel of rotor under various conditions of outlet pressure and throughputs, and nitrogen is used as test gas. The outlet pressure is in the range of 26-533 Pa. As results, the local pressure changes are checked corresponding to the various outlet pressure and throughput of HTDP. In the numerical study, Navier-Stokes equations with slip boundary conditions are employed (Re< 1000, Kn< 0.1). The local pressure distribution and the pumping speed are calculated. The numerical results are compared with the experimental results. The numerically computed value agrees with the experimental data within an error of approximately 5%.

• 기계저널
• /
• 제30권3호
• /
• pp.246-251
• /
• 1990

마이크로폴라 탄성이론은 다른 마이크로연속체(microcontinuum) 이론에 비해 적용이 간단하며, 실제 많은 물리적인 현상을 규명하는 데 다양하게 이용할 수 있다. 특히 고전 탄성이론에 의해 적절하게 해결될 수 없는 덤벨(dumbell) 분자로 이루어진 물체, 액체 결정체(liquid crystals), 과립상(granular)의 분자로 구성된 물체와 복합 섬유재료(composite fibrous materials) 등은 마 이크로폴라 탄성이론에 의해 잘 해결될 수 있다. 또한 마이크로폴라 탄성이론은 고체 내에서의 파의 전파(propagation)와 분산(dispersion), 구멍 주위의 응력집중과 외부 하중을 받는 물체에 있어 균열끝에서의 응력 분포 등의 고체역학 문제들은 물론이고, 경계층(boundary layer), 난 류(turbulence), 유체 유동의 불안정(instability)과 표면장력 현상 등의 유체역학에서의 복잡한 문제들을 해결하는 데에도 이용할 수 있다. 마이크로폴라 탄성이론은 고전 탄성이론에 비해 상 대적으로 새롭고 미개척 분야이긴 하지만 이론의 기반이 확고하기 때문에 앞으로의 회전응력 측정장치의 개발을 통해 미소구조의 영향을 고려해야 하는 많은 문제들을 해결하는데 큰 기여를 할 것으로 전망된다.

• 대한기계학회논문집B
• /
• 제20권11호
• /
• pp.3620-3629
• /
• 1996

In the free molecular flow range, the pumping performance of a turbomolecular pump has been predicted by calculation of the transmission probability which employs the integral method and the test particle Monte-Carlo method. Also, new approximate method combining the double stage solutions, so called double-approximation, is presented here. The calculated values of transmission probability for the single stage agree quantitatively with the previous known numerical results. For a six-stage pump, the Monte-Carlo method is employed to calculate the overall transmission probability for the entire set of blade rows. When the results of the approximate method combining the single stage solutions are compared with those of the Monte-Carlo method at dimensionless blade velocity ratio C=0.4, the previous known approximate method overestimates as much as 34% than does the Monte-Carlo method. But, the new approximate method gives more accurate results, whose relative error is 10% compared to the Monte-Carlo method, than does the previous approximate method.

• 한국진공학회:학술대회논문집
• /
• 한국진공학회 2010년도 제39회 하계학술대회 초록집
• /
• pp.11-11
• /
• 2010

고도의 진공 환경을 요구하는 반도체 생산 라인에 적용되는 고진공 펌프는 주로 복합 분자펌프와 크라이오 펌프가 사용되고 있다. 이 중 크라이오 펌프는 극저온으로 냉각되는 냉각판에 기체 분자를 응축 또는 흡착시켜 기체를 제거하는 방식으로 복합 분자 펌프로 무게가 가볍고 증발 온도가 낮은 네온, 수소, 헬륨 기체 제거에 장점이 있다. 본 연구에서는 현재 상용화된 크라이오 펌프에 적용되는 GM 극저온 냉동기를 대체하기 위한 2단 GM형 맥동관 냉동기를 개발하여 기초 성능 시험을 수행하였다. 1단과 2단 모두 U-자형 형상으로 제작되었으며, 압력과 질량 유동 사이의 위상 조절을 위하여 오리피스 밸브와 이중 유입 밸브를 사용하였다. 개발된 맥동관 냉동기의 냉각 성능 목표는 1단(80 K)과 2단(20 K)에서 각각 45 W와 5 W이다. 기초 시험에서는 위상 조절용 밸브들의 개도와 작동 조건에 대한 냉각 특성과 부하 특성 시험을 수행하였다. 특히, 본 연구에서는 로터리 밸브 및 위상 조절 기구의 배치로 인해 고온부 형상이 복잡한 맥동관 냉동기를 크라이오 펌프로의 적용 편의성을 위하여 고온부 외형 구조를 단순화하였으며, 개발된 맥동관 냉동기와 기존에 크라이오 펌프에 적용되는 GM 극저온 냉동기를 비교, 고찰하였다.

• 한국전산유체공학회:학술대회논문집
• /
• 한국전산유체공학회 1998년도 추계 학술대회논문집
• /
• pp.197-203
• /
• 1998

The discrete element method is a numerical model capable of describing the mechanical behaviour of assemblies of discs and spheres. The method is based on the use of an explicit numerical scheme in which the interaction of the particles is monitored contact by contact and the motion of the particles modelled particle by particle. In this paper, A two-dimensional model for computing contacts and motions of granular particles of unform, inelasticity is presented. And, code is developed. The primary aim of this paper is to approv computational result of continuum alaysis which is on processing. The end of this paper, that code is tested with several examples.

• KSBB Journal
• /
• 제17권2호
• /
• pp.142-147
• /
• 2002

기포탑 회분식 xanthan 발효에서 xanthan 생성속도와 분자량에 영향을 미치는 산소전달제한을 피하기 위하여 과산화수소수를 산소공금 보조수단으로 사용하였다. 과산화수소수 주 입은 xanthin 생성을 가역적으로 저해하였다. 반면이 직경 8 mm 유리구슬 유동화 입자는 기-액 산소전달속도를 증가시켜서 기-액-고 삼상유동충 생물반응기에서의 xanthan 발효는 기포탑 발효에 비하여 높은 단위균체량 당 xanthan 생성속도 및 점도수윤 그리고 반응기 공간-시간 수윤(space-time yield)을 보였다.

• 유변학
• /
• 제10권1호
• /
• pp.1-6
• /
• 1998

액체와 액체를 교반할 경우 혹은 두가지 이상의 상이 함께 반응하는 화학공정의 경 우에서는 비상용성인 액체들을 난류조건하에 분산시켜 섞이게 한다. 부산계로 구성된 중합 반응기의 경우 분산입자의 크기는 최종제품의 생산성 및 품질에 큰 영향을 미치게 되므로 분산입자의 크기를 예측하는 것은 대단히 중요하다. 이러한 분산계에서 분산입자의 크기는 분산입자가 겪는 유동장에 의해 결정된다. 오일/오일 분산계로 이루어진 고분자 유탁액의 난류교반시 유동장은 종종 점성전단 부영역에 속하게 되는데 이경우의 분산입자의 크기를 예측하는 모델에 대한 연구는 별로 이루어지지않았다. 본연구에서는 오일/오일 분산계의 고 분자 유탁액에 대한 분산입자의 크기를 예측하는 모델식을 유체동력학적인 이론을 배경으로 하여 개발하였다. 개발한 모델식을 난류교반을 겪은 오일/오일 분산계를 거쳐 생산된 제품 인 내충격성 폴리스티렌으로 검증하여 모델식의 타당성을 입증하였다.

• 유변학
• /
• 제2권1호
• /
• pp.27-32
• /
• 1990

본 연구에서는 전선피복 die 내고분자 물질의 이동현상에 관한여 Carreau model을 도입하여 유한요소법으로 수치해석을 수행하였다. Polyvinyl chloride(PVC)의 유변상수들의 변화가 유동에 미치는 영향을 조사하였고 온도에 따른 점도의 변화를 고려한 비등온 조건 및 전선피복 공정에서 발생할 수 있는 slip 경계조건을 적용시킨 경우에 대한 수치모사도 수행하였다.

• 한국대기환경학회:학술대회논문집
• /
• 한국대기환경학회 1998년도 한국대기보전학회 추계학술대회 발표 논문집
• /
• pp.261-262
• /
• 1998

1970년대 미국에서는 MTBE를 휘발유 첨가제로서 사용하여 자동차 배기가스에 의한 대기오염문제를 해결하려고 헨다. 현재 우리나라에서도 정유사에서 MTBE가 첨가된 휘발유의 공급을 증가시키면서 이의 사용량 역시 늘어나는 추세이다. 그러나 최근 ArIBE의 사용에 따른 새로운 종류의 대기오염에 대만 우려가 대두되고 있는데 이는 대기중 방출된 MTBE가 대기중에 존재하는 여러 분자체 및 라디칼등과 반응하여 인체에 유독한 물질들을 생성할 수 있는 것이 밝혀지고 있기 때문이다 따라서 이러한 새로운 사실얘 대한 위해도평가가 이루어지기 위해서는 무엇보다도 이 물질의 대기 중에서의 거동에 대한 이해가 우선되어야 할 것이다.