• Title/Summary/Keyword: 분자상 오염물질

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The Observation of Airborne Molecular Contaminations in Cleanroom (클린룸의 분자상 오염물질 관찰)

  • 이응선;김혜영;송진희;김광영;유승교
    • Proceedings of the Korea Air Pollution Research Association Conference
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    • 2001.11a
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    • pp.54-55
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    • 2001
  • 반도체 산업에서 메모리의 고집적화, 회로 패턴의 미세화에 따라 클린룸 공기중에 존재하는 분자상오염 물질 (Airborne Molecular Contaminants, AMCs)이 제조공정에 미치는 영향이 매우 중요하게 대두되었다$^{1)}$ . 분자상 오염물질은 입자상 오염물질과 달리 외관상 관찰이 어려우며, 오염 종류와 형태가 원소의 종류에 따라 매우 다양하게 나타난다. 클린룸에서의 입자상 오염물질은 고효율 필터(HEPA, ULPA)를 사용하여 제거 관리하고 있으나, 분자상 오염물질은 종류 및 형태조차 파악하지 못하고 있다. (중략)

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Behaviour of Condensing Gaseous Species by Injection of Liquid Adsorbents (HMDS) in Combustion Facility (액체상흡착제(HMDS) 주입조건에 따른 응축성 가스상 물질의 거동특성 비교)

  • Kim, Yong-Gu;Lee, Sang-Yul;Bong, Choon-Keun;Kim, Hyun-sang
    • Journal of Korean Society of Environmental Engineers
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    • v.37 no.5
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    • pp.285-292
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    • 2015
  • In this study, we were clearly identify the behaviour characteristics on particle size distribution of a condensing species by injection condition of HMDS (Hexa Methyl Di-Silazane, silica precursor that is one of liquid adsorbents) to remove condensing gaseous species as using pyroligneous liquor generated during carbonization process of biomass as precursor of condensing gaseous species. When using HMDS to remove the condensing gaseous species by growth machanism of particles, we could be controlled properly particles size such as amount of adsorbent injection, residence time, heating temperature and MFC flux. Especially, in case of using the silica precursor, in consideration of the physical and chemical properties of the boiling point, the specific gravity and the molecular weight, we found that the condensing species could be effectively controlled by particles granulation.

Annual Cycle of PCBs Concentration in the Atmosphere

  • Kang, Byung-Wook;Shin, Eun-Sang;Yeo, Hyun-Gu
    • Journal of environmental and Sanitary engineering
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    • v.22 no.2
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    • pp.61-73
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    • 2007
  • PCBs의 대기 중 농도는 고용량 PUF sampler를 이용하여 2000년부터 2002년까지 주 1회 수도권 인근지역인 경기도 안성에서 측정하였다. 본 논문은 비선형 회귀모델을 이용하여 대기 중 가스상 PCBs의 연간, 월간 사이클을 평가 하고자 한다. Clausius-Clepeyron 식을 이용한 가스상 PCBs의 기울기는 고분자로 갈수록 증가하는 경향이었다. 이는 고분자 PCBs는 저분자 PCBs에 비해 온도 의존성이 크다는 것을 의미한다. 다시 말해, 고분자 PCBs는 다른 지역에서 장거리 이송되어 오는 오염물질의 영향 보다는 지역적인 오염원(예, 토양, 수계 등)에 의해 영향을 크게 받고 있다는 것을 시사한다. Lorentzian 모델을 이용한 총 PCBs의 일별, 월별 회귀식의 결정계수($R^2$)는 각각 0.62(p<0.0001), 0.88(p<0.0001)로 나타나 유의한 결과를 보였다. 또한, 비선형 회귀식 모델을 활용하여 구한 가스상 PCBs의 일별, 월별 싸이클을 모사한 방정식도 매우 유의한 결과(p<0.0001)를 나타내었다.

유류오염 토양의 화학.생물학적 통합처리 과정 중의 미생물 군집 변화

  • Choi Jeong-Hye;Bae Jae-Sang;Park Yeon-Jeong;Kim Su-Gon;Go Seong-Cheol
    • Proceedings of the Korean Society of Soil and Groundwater Environment Conference
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    • 2006.04a
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    • pp.29-32
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    • 2006
  • 화학적 산화처리와 bioremedation 기법을 개별적 또는 복합적으로 동시에 적용함으로써 한 개별 기법의 단점을 보완하고 현장적용성을 증대시킬 수 있는 통합기법을 개발하고자 하였다. 펜톤유사 반응을 통해 고농도의 유류를 산화분해 시킨 후 미생물 처리를 통해 잔류 유류 오염물질을 제거하고자 하였다. 유류 오염토양의 화학 생물학적 통합처리 공정의 현장 적용성 및 토양 미생물에 미치는 영향을 검증하기 위해 처리과정 전 후의 미생물 군집구조를 분석하였다. 또한 토양 내 유류 분해균을 분리하기 위해 탄소원으로 경유와 벙커C를 이용하여 농화배양을 수행하였다. 경유 분해균 10여종, 벙커 C 분해균 6종을 분리하여 분해능 및 동정을 시도하였다. 또한 유류 분해미생물의 consortia를 분자생물학적 기법으로 분석을 시도하였다.

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Characteristics of Unit Load Generation and Discharge from Livestock Resources (축분자원화물 발생 및 배출부하 원단위 특성)

  • Han, Gee-Bong;Lee, Young-Siu;Lim, Jai-Myug
    • Journal of the Korea Organic Resources Recycling Association
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    • v.16 no.4
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    • pp.82-90
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    • 2008
  • The generation amounts of manure and urine were total 4.57kg/head/d of 1.49kg manure/head/d and 3.08kg urine/head/d with consideration of 3 seasons and live weight. The finalized mean unit load generation of filth were estimated at BOD 199.5g/head/d, CODCr 413.5g/head/d, T-N 27.8g/head/d, T-P 5.3g/head/d with consideration of seasons and the type of stalls. The unit load generation of manure and urine from korean cow were analyzed as 10.9kg/head/day and 3.3kg/head/day, respectively. The unit load generation of manure from milch cow was analyzed to be 24.6L/head/day which was similar to the report of MOE(2006). The urine generation, 10.5L/head/day, was higher than the results from MOA(2000) and NIAR(2000), but was lower than the results from MOE(2006), NIER(1986) and KIST(1990). The unit load generation from egg layers estimated by discharged amount and concentration analysis increases in due to the difference of planting head numbers, feed stuffs and manure disposal. In case of deer unit load generation by herbivora were calculated to be higher than data from existing references because of the gap between weight per livestock and the generation amounts of manure and urine.

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Optimization of Ultrafiltration Process using $MIEX^{(R)}$+Coagulation Process ($MIEX^{(R)}$+응집공정을 이용한 한외여과 공정의 최적화 : 다양한 전처리 공정의 적용에 따른 막 오염 현상 규명)

  • Son, Hee-Jong;Hwang, Young-Do;Roh, Jae-Soon;Jung, Chul-Woo;Kang, Lim-Seok
    • Journal of Korean Society of Environmental Engineers
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    • v.27 no.7
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    • pp.753-761
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    • 2005
  • In this study, pretreatment of organic matters with $MIEX^{(R)}$ was evaluated using bench-scale experimental procedures on four organic matters to determine its effect on subsequent UF membrane filtration. For comparison, coagulation process was also used as a pretreatment of UF membrane filtration. Moreover, the membrane fouling potential was identified using different fractions and molecular weights of organic matters. From the removal property of MW organic matters by coagulation process for the sample water NOM and AOM, the removal efficiency of high MW organic matters were much higher than those of low MW organic matters. It was shown that the removal efficiency of high MW organic matter more than 10 kDa was lower than that of low MW organic matter for $MIEX^{(R)}$ process. For the change of permeate flux by the pretreatment process, $MIEX^{(R)}$+UF process showed high removal efficiency of organic matter as compared with coagulation-UF processes, but high reduction rate of permeate flux was presented through the reduction of removal efficiency of high MW organic matter. From sequential filtration test results in order to examine the effect of MW of organic matter on membrane fouling, it was found that the membrane foulant was occurred by high MW organic matter, and the DOC of organic matter less than 0.5 mg/L was working as the membrane foulant. In the case of sample water composed of low MW organic matter less than 10 kDa, since the low MW organic matter less than 10 kDa has high removal efficiency by $MIEX^{(R)}$, low reduction rate of permeate flux is obtained as compared with coagulation-UF processes. In summary, it is required to conduct the research on physical/chemical characteristic of original water before pretreatment process of membrane process is selected, and a pertinent pre-treatment process should be employed based on the physical/chemical characteristic of original water.

반도체 세정 공정용 가스 클러스터 장비의 클러스터 발생 특성 분석

  • Choe, Hu-Mi;Kim, Ho-Jung;Yun, Deok-Ju;Lee, Jong-U;Gang, Bong-Gyun;Kim, Min-Su;Park, Jin-Gu;Kim, Tae-Seong
    • Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference
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    • 2011.02a
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    • pp.39-39
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    • 2011
  • 반도체 생산의 주요 공정 중 하나인 세정 공정은 공정 중 발생하는 여러 가지 부산물에 의한오염을 효과적으로 제거하여 수율 향상에 큰 영향을 미친다. 현재 주로 쓰이는 세정 공정은 습식 세정 공정으로 화학 약품을 이용하지만 패턴 손상 및 웨이퍼 대구경화에 따른 문제 등이 대두되어 이를 대체할 세정 공정의 도입이 요구되고 있다. 이에 따라 건식 세정에 대한 관심이 증가하고 있으며 에어로졸 세정이 대표적 공정으로 개발 되었으나 마이크로 단위의 발생 에어로졸 입경으로 인해 패턴 손상 문제를 해결하지 못하였다. 이러한 문제점을 극복하기 위하여 응축에 의해 형성되는 입자 크기를 줄이는 것에 관한 연구가 진행되어 왔고, 대응 방안으로 개발된 것이 가스 클러스터 세정이다. 가스 클러스터란 작동 기체의 분자가 수십, 수백 개 뭉쳐있는 형태 (cluster)를 뜻하며 이 때 형성된 클러스터는 수 nm 크기를 가진다. 그리고 짧은 시간의 응축에 의해 수십 nm 크기까지 성장하게 된다. 즉, 입자로 성장할 수 있는 시간과 환경을 형성하지 않음으로써 작은 크기의 클러스터에 의해 패턴 사이의 오염물질을 물리적으로 제거하고 다시 기체상 물질로 환원되어 부산물을 남기지 않는 공정이다. 이러한 작동 환경을 조성하기 위해서는 진공도와 노즐 출구 속도에 대한 설계 단계부터의 이론적 연구를 통한 입자 크기 예측과 세정 조건에 따라서 발생하는 클러스터의 크기 분포 특성을 측정하는 것이 필수적이다. 따라서 본 연구에서는 실시간 저압 환경에서의 측정이 가능하며, 다양한 크기의 입자를 실시간으로 측정할 수 있는 particle beam mass spectrometer (PBMS)를 이용하여 세정 공정 중 발생하는 클러스터의 크기 분포를 측정하는 연구를 수행하였다. 클러스터의 측정은 노즐에 유입되는 유량과 냉매 온도를 변수로 하여 수행하였다. 각각의 조건에 따라서 최빈값은 오차범위 내에서 일정한 것을 확인하였으며, 50 nm 이하의 값으로 가스 클러스터 공정이 패턴 손상 없이 오염입자를 제거할 수 있음을 실험적으로 확인할 수 있었다. 또한 유량의 증가에 따라 세정에 사용되는 클러스터의 입경이 증가하며, 냉매 온도가 낮아질수록 클러스터 입경이 증가하는 경향을 확인할 수 있었다. 클러스터 크기는 오염 입자와의 충돌에 의해 작용하는 힘으로 오염입자를 제거하는 메커니즘을 사용하는 가스 클러스터 세정 장치에 있어 중요성이 크다 할 수 있으며 추후 지속적 연구에 의한 세정 기술의 최적화가 기대된다.

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Status of Soil Remediation and Technology Development in Korea (국내 오염토양 복원 현황과 기술 동향)

  • Yang, Ji-Won;Lee, You-Jin
    • Korean Chemical Engineering Research
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    • v.45 no.4
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    • pp.311-318
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    • 2007
  • Soil contamination in Korea has been accelerated every year. Because of their persistence and cumulative tendency in the environment, soil contaminants have potential long-term environmental and health concerns and it is estimated to cost enormous expense for clean-up. Korea government has legislated the law on conservation of soil environment in mid 1990s, and managed and treated hazardous wastes in contaminated sites as a remediation policy since then. Soil remediation technologies are classified into in-situ/ex-situ or biological/physico-chemical/thermal processes according to applied places or treatment methods, respectively. In Korea, clean-up of polluted sites has been mostly carried out at military areas, railroad-related sites and small-scale oil spilt sites. For these cases, in-situ remediation technologies such as soil vapor extraction (SVE) and bioventing were mainly used. In recent days, an environmental-friendly soil remediation emerged as a new concept - for example, a new soil remediation process using nanotechnology or molecular biological study and an integrated process which can overcome the limitation of individual process. To have better applicability of remediation technologies, comprehensive understandings about the pollutants and soil characteristics and the suitable techniques are required to be investigated. Above all, development of environmental technologies based on the sustainability accompanied by public attention can improve soil environment in Korea.

COMPARISON OF FLUX AND RESIDENT CONCENTRATION BREAKTHROUGH CURVES IN STRUCTURED SOIL COLUMNS (구조토양에서의 침출수와 잔존수농도의 파과곡선에 관한 비교연구)

  • Kim, Dong-Ju
    • Journal of Korea Soil Environment Society
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    • v.2 no.2
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    • pp.81-94
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    • 1997
  • In many solute transport studies, either flux or resident concentration has been used. Choice of the concentration mode was dependent on the monitoring device in solute displacement experiments. It has been accepted that no priority exists in the selection of concentration mode in the study of solute transport. It would be questionable, however, to accept the equivalency in the solute transport parameters between flux and resident concentrations in structured soils exhibiting preferential movement of solute. In this study, we investigate how they differ in the monitored breakthrough curves (BTCs) and transport parameters for a given boundary and flow condition by performing solute displacement experiments on a number of undisturbed soil columns. Both flux and resident concentrations have been simultaneously obtained by monitoring the effluent and resistance of the horizontally-positioned TDR probes. Two different solute transport models namely, convection-dispersion equation (CDE) and convective lognormal transfer function (CLT) models, were fitted to the observed breakthrough data in order to quantify the difference between two concentration modes. The study reveals that soil columns having relatively high flux densities exhibited great differences in the degree of peak concentration and travel time of peak between flux and resident concentrations. The peak concentration in flux mode was several times higher than that in resident one. Accordingly, the estimated parameters of flux mode differed greatly from those of resident mode and the difference was more pronounced in CDE than CLT model. Especially in CDE model, the parameters of flux mode were much higher than those of resident mode. This was mainly due to the bypassing of solute through soil macropores and failure of the equilibrium CDE model to adequate description of solute transport in studied soils. In the domain of the relationship between the ratio of hydrodynamic dispersion to molecular diffusion and the peclet number, both concentrations fall on a zone of predominant mechanical dispersion. However, it appears that more molecular diffusion contributes to the solute spreading in the matrix region than the macropore region due to the nonliearity present in the pore water velocity and dispersion coefficient relationship.

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