• 한국광학회지
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• 제3권2호
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• pp.92-100
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• 1992

회전검광자형의 분광타원해석기를 제작하였다. 각 부품의 미소결함에 의한 오차를 고려하여 이들이 타원해석상수들에 미치는 영향을 최소로 하는 배치를 결정하였다. Straight through operation의 성능평가 결과 300nm~850nm의 파장대역에 걸쳐 tan$\psi$와 cos$\Delta$의 편차는 0.2%내외로 만족할 만한 것으로 판단되었다. SE를 사용하여 불화박막의 굴절율및 void분포상태를 측정하였고 응용성에 관하여 논의하였다.

• 한국광학회:학술대회논문집
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• 한국광학회 1995년도 광학 및 양자전자학 워크샵 논문집
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• pp.75-83
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• 1995

In-situ, 실시간 측정을 위해 상업화 모형의 He-Ne 타원해석기 및 고속 분광 타원해석기(SE, Spectoscopic Ellipsometer)를 제작하였다. 후자의 경우 1024개의 화소를 가진 광학 다채널분석기 (OMA, Optical Multichannel Analyzer)를 이용한 RP형 분광타원해석기로써 1.5∼5.0eV의 측정 파장대역을 가지며, 한 스펙트럼의 측정시간은 약 100msec이다. cos 와 tanΨ의 정확도는 각각 약0.01이하로 측정되었다. 이러한 in-situ 타원해석기들을 사용하여 Au, ZnS 박막들의 성장 초기단계에서의 박막구조의 변화, 성장속도 그리고 HF식각후의 Si 자연산화층(SiO2)의 초기 성장과정을 밝히고 SiO2/c-Si 시료의 온도를 비 접촉적, 비간석적으로 기존의 방법에 의한 결과와 비교하였다.

• 한국진공학회:학술대회논문집
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• 한국진공학회 1995년도 제8회 학술발표회 논문개요집
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• pp.80-80
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• 1995

• 한국전기전자재료학회논문지
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• 제11권5호
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• pp.371-377
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• 1998

The plasma chemical vapor deposition is one of the most utilized techniques for the diamond growth. As the applications of diamond thin films prepared by plasma chemical vapor deposition(CVD) techniques become more demanding, improved fine-tuning and control of the process are required. The important parameters in diamond film deposition include the substrate temperature, $CO/H_2$gas flow ratio, total gas pressure, and gas excitation power. With the spectroscopic ellipsometry, the substrate temperature as well as the various parameters of the film can be determined without the physical contact and the destructiveness under the extreme environment associated with the diamond film deposition. Through this paper, the important parameters during the diamond film growth using $CO+H_2$are determined and it is shown that $sp^2$ C in the diamond film is greatly reduced.

• 한국광학회지
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• 제10권3호
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• pp.181-187
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• 1999

대표적인 이차 비선형 광학 물질인 곁가지형 NPP(N-(4-nitrophenyI)-(L)-prolinol) 고분자 박막을 스핀코팅으로 제작하였다. 위상변조방식의 분광타원해석기를 사용하여 코로나 특성배향법으로 온도와 전기장을 변화시켜가며 실시간으로 타원해석 스펙트럼을 측정하였다. 광투과영역에서의 타원해석상수를 모델링분석하여 박막의 두께를 구하였고, 광합수영역에서는 타원해석상수의 역방계산을 통해 굴절율과 소광계수를 구하였다. 분광광도계를 사용하여 배향 전후 각각의 상태에 따른 광 투과율 스펙트럼을 측정한 후 이를 되먹임 관계식에 적용하여 구한 소광계수가 분광타원해석법으로 결정한 결과와 일치함을 확인하였다. 또한 두께가 비교적 얇은 시료의 타원해석 스펙트럼을 코로나배향 전후에 걸쳐 분석한 후 시료 면에 수직한 수직 복소굴절율과 시료 면에 평행한 수평 복소굴절율을 각각 결정하였다. 이 수직과 복소굴절율을 기준데이터로 사용하고 모델링 과정을 적용하여 배향의 각 단계별로 유효 수직조성비를 결정하여 두꺼운 고분자 박막의 배향된 정도를 정량화하는 분석모델을 제시하였다.

• 대한화장품학회지
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• 제37권2호
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• pp.137-141
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• 2011

자외선 차단제는 자외선의 흡수 기능을 갖는 유기 계열과 반사 기능을 갖는 무기계로 구분된다. 이들은 SPF지수로 평가되는데 in-vivo 실험은 높은 비용과 시간이 오래 걸리는 단점이 있어 in-vitro 평가가 연구에 많이 이용된다. 하지만 in-vitro 평가로 사용되는 SPF 평가 장치는 재현성이 매우 낮아 값에 대한 신뢰가 매우 어렵다. 또한, UV-vis spectrometer를 이용한 분석은 재현성은 높지만 투과/흡수/반사의 구분된 결과를 구하기 어려운 단점이 있다. 본 연구에서 제시하는 elipsometer는 높은 재현성과 투과/흡수/반사의 구분된 결과, 다양한 각도에서의 평가의 장점이 있어 자외선 차단제 평가에 매우 유용하다. 이를 위해 상업용 자외선 차단제를 다양한 방법으로 평가하여 elipsometer를 이용한 방법의 타당성을 알아보았다.