• Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference
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• 2013.08a
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• pp.196.1-196.1
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• 2013

반도체의 device design rule이 shrink 됨에 따라 공정이 난이도가 높아지고 이에 따른 관리가 어려워지고 있다. 특히 미세 particle에 대한 제어의 필요성은 보다 커졌다. 진공 chamber 발생하는 미세 particle의 주요 원인으로는 공정 중 발생한 polymer, chamber 내 부품의 식각 및 스퍼터링에 의한 부산물 등이 있다. Plasma 공정 도중 발생한 particle은 plasma 내 전자에 의해 대전되어 음의 전하량을 가지게 된다. 음의 전하량을 가진 particle은 plasma와 wafer의 경계면에서 형성되는 sheath 때문에 wafer에 도달하지 못하고 plasma 내에 부유하게 된다. 이러한 particle은 plasma가 꺼지게 되면 sheath가 사라지면서 wafer에 도달하게 되고 wafer의 오염을 유발하게 되고 생산 수율을 저하시키는 요인이 된다. 이러한 이유로 최근 plasma 공정에서는 공정 중 발생하는 부유성 particle에 대한 관리가 중요해졌다. 이를 관리하기 위해 plasma를 끄기 전 부유성 particle을 제거하는 방안을 고안하고 평가를 진행하였다. 공정이 끝나고 plasma가 꺼지기 전 plasma를 유지하여 부유성 particle이 wafer에 도달하지 못하는 상태에서 gas purge를 실시한다. 이러한 과정 후 plasma를 끄게 되면 부유성 particle이 wafer에 도달하는 것을 감소시키게 된다. 이번 평가를 통해 부유성 particle에 대해서 대략 20%의 감소 효과를 볼 수 있었다. 이를 토대로 향후 조건 최적화 후 적용 시 particle 감소뿐 만 아니라 수율 향상에도 기여할 수 있을 것이라 기대된다.

• Proceedings of the Korea Water Resources Association Conference
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• 2015.05a
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• pp.254-254
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• 2015

본 연구에서 사용한 부유식방파제는 상치의 공기주입량에 따라 흘수심을 조절할 수 있으며, 부유식방파제 입사면과 투과면에 하부슬릿을 두어 입사파랑의 제어가 가능하도록 고안하였다. 또한, 수리 모형실험에서는 카테너리(catenary) 계류시스템의 계류각 변화에 따른 장력특성을 분석하였다. 일반적으로 계류시스템은 계류점, 계류형상 및 인장정도에 따라 구분된다. 본 연구에서는 부유식방파제의 6자유도 운동 중 2차원운동에 따른 장력특성 분석을 위하여 4점 계류를 채택하였으며, 계류형상은 일정 동요량을 허용하지만 안전성이 높은 카테너리형을 적용하였다. 수리모형실험을 통하여 투수성 부유식방파제의 장력특성을 분석하고, 입사파랑 변화에 따른 계류시스템의 안전성을 분석한 결과, 투수성부유식방파제는 계류각 전 구간에서 무공형부유식방파제에 비하여 최대장력이 낮게 측정되었으며 안전성이 확보되었다.

• Transactions of the Korean Society of Mechanical Engineers A
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• v.24 no.10 s.181
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• pp.2535-2542
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• 2000

The regulator system has been modeled and combined to a swashplate type axial piston pump. Linear approximation has been performed for nonlinear coefficient terms of an axial piston pump-regulator model without significantly affecting accuracy. Based on the mathematical model of an axial piston pump-regulator system, a couple of characteristic curves of negative flow control and horsepower control are drawn, which show a good correlation with those of experimental results. So the simplified axial piston pump-regulator model in this paper is expected to be utilized not only for the design and analysis of hydraulic circuit of excavator but also for prevention of engine overload.

• Journal of the Korean GEO-environmental Society
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• v.10 no.3
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• pp.53-62
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• 2009

This study was conducted to investigate characteristics of the non-point source pollution under construction and evaluate available pollution control methods. Suspended solid loading is high when soil disturbs by rainfall and this phenomenon is much more severe at the initial stage of construction than at the final one. There are three methods available for erosion and sediment control, which are check dam, silt fence, and geotextile. Check dam and silt fence are for control of suspense solids and geotextile is for preventing soil erosion during rainfall. They can be installed as temporary control facilities at construction sites. From the comparison of those methods, it was found that geotextile method was the most efficient for the runoff control of non-point source pollution. Check dam and silt fence can remove suspense solids by pore spaces to some degree, but the removal of pollutants mainly occurs through sedimentation. Because the temporary control facilities have limited removal efficiency of pollutant, they often cause civil claims and contamination of water environment. Hence, using a pressurized filtration system along with temporary control facilities, highly enhanced treatment efficiency was anticipated. In addition, the loading capacity of these techniques depends on filtration velocity and input loading. And their pre-treatments are necessary for efficient operation.

• Journal of the Korea Academia-Industrial cooperation Society
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• v.15 no.2
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• pp.1204-1210
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• 2014

New control methods are proposed for indoor air quality by removing fine airborne dust-particles. As suspended fine dust-particles contain inorganic dust as well as fine organic bacteria, studies for simultaneous control of these contaminants are required. In this study, photocatalytic disinfection of indoor suspended microorganisms such as E. coli and Bacillus subtilis is performed by three types of photocatalysts with UVA irradiation. The UVA irradiation strength was controlled to the minimum $3{\mu}W/cm^2$, and ZnO, $TiO_2$, and ZnO/Laponite ball were used as the catalysts. The results indicate that E. coli was removed over 80 % after about 2 hours of reaction with UVA and all three types of photocatalysts, whereas only with UVA, around 50 % E. coli removal was obtained. Among the catalysts, ZnO/Laponite composite ball was found to have similar sterilizing capacity to $TiO_2$. However, in case of B. subtilis, which has thick cell wall in its spore state, disinfection was not effective under the low UVA irradiation condition, even with the catalysts. Further studies need to figure out the optimal UVA irradiation ranges as well as photocatalysts doses to control airborne dust, to provide healthy clean air environment.

• Proceedings of the KIEE Conference
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• 2008.07a
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• pp.1193-1194
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• 2008

본 논문은 주거환경 변화 및 공기 중 부유물질로 인한 피해를 보호하기 위해 제정된 공기질 관리법안에 적합한 대기 환경 조건을 구현하기 위한 고정압 환풍기용 모터 및 제어 알고리즘에 관한 논문이다. 외기에 압력이 변화하는 외란에도 일정한 풍량을 낼 수 있도록 하기 위해서 속도와 전류의 두 물리량을 곱의 형태로 취하여 profile을 만들고 이에 추종하는 방식을 본 논문에서 제안하였다. 제품의 상용화를 위해서 풍량센서가 없는 센서리스 방식을 구현하기 위해서 전류 값을 토대로 압력 변화량을 일정하게 제어하는 방식을 취하였다. 고정압제어를 위해서 Open-loop상태에서 모터의 P-Q(압력-풍량)data를 측정하고 이를 기초로 예상 구동 영역을 유추하고 이를 토대로 Profile을 만들고 이 Profile을 추종하는 제어를 통해서 고정압제어를 실현하였다. Reference로 속도를 기준으로 하였으며, 동일 속도에서 전류의 값을 비교하여 제어하고자 하는 전류 값이 되도록 함으로써 정압을 실현하였다.

• Proceedings of the Korea Air Pollution Research Association Conference
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• 2000.11a
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• pp.165-166
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• 2000

대기 중으로 배출되는 분진, 자동차에서 배출되는 매연 등 대기오염의 주요원인인 미세입자의 제거를 위한 방법은 그 적용범위가 제거대상 분진의 크기 및 물리적 특성에 따라 여러 가지로 나누어진다. 분진의 이동은 각각의 부유조건 및 분진의 크기, 그리고 분진의 물리적 특성에 따라 특정한 힘의 지배에 의한다. 일반적으로 산업체에서 발생되는 대용량의 미소분진의 제어는 관성력과 중력 그리고 정전기력을 이용하는 경우가 대부분이다. (중략)

• Proceedings of the KSR Conference
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• 2011.10a
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• pp.2895-2901
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• 2011

SeoulMetro(line number 1 to 4) for the first half of the year. Therefore air quality in the subway is very important. It is passengers, such as sneezing and respiratory vital activities, Suspended due to skin keratin microbial action, and Microbial contaminants such as viruses. Hypersensitivity disorders, an atopic dermatitis, infectious diseases, allergic diseases, and can cause respiratory diseases. Ministry of Environment and National Institute of Environmental Research is managed so the life bacteria. It is emerging as the occupational health problems. Introduction of an appropriate ventilation system for cooling and dehumidification is needed. In line number 2, commuting and normal trains are measured in-room floating microbes. Suspended bacteria and fungi suspended in 2011 for 85 ~ 385$cfu/m^3$, 67 ~ 98$cfu/m^3$ is lower than baseline. Suspended to prevent microbial contamination and air conditioning equipment performance is a substantial improvement. Suspended micro-organisms and the impact on passenger room ventilation is increased. Electric car how to improve air quality substantially investigated.

• Journal of Korean Society for Atmospheric Environment
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• v.11 no.3
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• pp.221-231
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• 1995

산업발달에 따라 불가피하게 생성되며, 대기오염의 주종을 이루면서 인체에 가장 유해한 분진입자는 산업체의 오일(oil) 및 석탄연소 보일러, 자동차, 제철/제강 및 시멘트 플랜트 등으로 부터 배출되는 미세입자(fine particle)들이며, 앞으로 이들의 제어에 관한 연구가 지속적인 관심의 대상이 될 것이다. 한 예로, 석탄연소 화력발전소로부터 1$\mum$ 이하의 입자들의 배출량은 무게비로는 1% 이하이지만 입자수의 비율에서는99%를 차지하고 있다. 이들은 매우 높은 중금속 함유량을 지니고 있기 때문에 인체의 호흡시 심각한 문제를 유발시킬 뿐만 아니라, 이러한 미세입자들은 대기중에 부유하고 있다가 비(rain)에 의하여 세정되어 수질오염까지도 유발시킨다. 1992년 2월 공포된 대기환경보전법 시행규칙에 따라 분진배출 허용기준이 장기 입법예고 되므로서 1995년 1월과 1999년 1월의 2단계에 걸쳐 현재 적용 받고 있는 분진배출 규제치보다 훨씬 낮은 선진국 수준의 분진배출 규제가 요구되고 있으며, 분진이 배출되는 인근지역주민의 민원에 대처하기 위해서는 연돌로부터 분진배출이 눈에 감지되지 않을 정도까지 분진배출농도를 관리해야할 필요성이 높아지고 있다. 이에 따라 집진장치의 효율도 중유전소 Boiler 의 경우는 90% 이상, 석탄전소 Boiler의 경우는 99.5% 이상의 고효율이 요구되고 있다.

• Resources Recycling
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• v.31 no.6
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• pp.73-80
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• 2022

This study investigated the mineralogical characteristics and basic flotation properties of domestic molybdenum ores. The source mineral of molybdenum was identified as molybdenite, and the main gangue minerals in the raw ore were silicate minerals. Copper, lead, and zinc were also found in trace amounts. Based on the results of basic flotation properties, molybdenite's zeta potential showed negative charges in all pH ranges. The contact angle of molybdenite increased with pH, reaching a maximum of 74° at pH 9. In optimal conditions, the grade and recovery of the concentrate by unit flotation were MoS2 82.4% and 92.04%, respectively. Further investigation of the impurities in the concentrate revealed a sulfide mineral with surface characteristics similar to molybdenite and silicate minerals combined with molybdenite, which may degrade the quality of the concentrate. To improve the concentrate quality, we intend to control silicate minerals through regrinding and liberation and use column flotation to improve fine particle separation efficiency.