본 논문에서는 광학 기기 전반에 사용되고 있는 비구면 렌즈(aspheric lens)의 모델링과 제작 및 검증에 관한 연구를 수행하였다. 비구면 렌즈는 볼록렌즈, 오목렌즈와 달리 비구면을 사용함으로써, 사물의 원근에 관계없이 하나의 초점에 상을 맺을 수 있다. 그러나 이에 대한 모델링 정보는 공개되지 야고 있다. 따라서 본 연구에서는 다음의 식을 오일러 법(Euler method)을 적용하여 비구면 렌즈의 기하학적 형상을 모델링하였다.(중략)
평면 광도파로 렌즈는 집적광학회로에 널리 사용된다. 본 논문에서는 새로운 형태의 평면 광도파로 렌즈를 제안하고 제작하여 기존의 볼록-평면렌즈와 그 특성을 비교하였다. 제안한 볼록-오목형 렌즈는 원형의 경계를 가지며 선형경계를 가지는 볼록-평면 렌즈에서 발생하는 구면 수차를 제거할 수 있다. Y-cut LiNbO$_{3}$ 기판 위에 Ti-내부확산 양자교환방식을 이용하여 제안한 볼록-오목 렌즈와 기존의 볼록-평면 렌즈에 비해 초점에서의 spot의 크기를 약 59% 정도 줄일 수 있었다.
본 연구의 목적은 2015 개정 중학교 교육과정 통신기술 영역에서 다양한 볼록렌즈를 사용한 'VR 글라스' 수업자료를 개발하는데 있다. 이 연구는 ADDIE 모형을 기반으로 개발하였다. 분석단계에서는 학습자 및 사회적 요구분석을 통해 수업자료 개발의 필요성을 확인하였고 2015 개정 교육과정 및 가상현실에 대한 문헌을 고찰하여 VR 글라스와 관련 있는 통신기술 영역을 확인하였다. VR 글라스와 관련 있는 통신기술 영역으로 정보의 통신과정을 선정하였다. 설계단계에서는 분석단계를 바탕으로 학습목표를 설정하고 교수전략 및 교수매체를 선정하였다. 개발단계에서 개발된 수업자료는 교수 학습지도안, 수업용 PPT, 모둠활동지, 개인별 포트폴리오 활동지, 다양한 볼록렌즈를 사용한 'VR 글라스'의 예시이다. 다양한 볼록렌즈를 사용하여 VR 글라스를 제작한 결과 볼록렌즈의 지름이 큰 경우 시야각이 더 확장되었으나 이를 수치화하기 어려웠다. 실행단계에서는 중학생들 대상으로 실제 수업에 적용하였으며 평가단계에서는 학습자 및 전문가 평가를 통해 수업자료를 개선하였다.
Blu-ray 디스크에서는 NA=0.85 의 높은 개구수를 채용함으로써 디스크 보호층의 두께 변동에 따른 구면수차 발생량이 매우 커지는 문제가 발생하게 된다. 따라서 디스크 두께 공차 $3{\mu}m$에서 Blu-ray 시스템의 수차 발생 허용수준을 초과한다. 그리고 Multi-layer 디스크의 경우 각 층의 간격이 $25{\mu}m$ 정도의 간격을 두고 배치되어 있어 기록층 사이에서 발생하는 구면수차의 보정이 필요하며, 종래의 기술은 보상범위가 $3{\mu}m$로 한정되어 사용이 불가능하며 또한 대물렌즈 조립공차가 엄격히 관리되어야 하는 문제점을 안고 있었다. 본 연구에서는 액정렌즈에 의한 구면수차 보정으로 이러한 문제점들을 해결하고자 하였다. 액정렌즈는 오목렌즈 액정소자와 볼록렌즈 액정소자로 구성되며 픽업 광학계 내에 조합하여 설계함으로써 Multi-layer 디스크의 두께 변동에 따라 발생하는 구면수차를 보정하고 대물렌즈 조립공차 문제를 해결할 수 있다.
10 diopter에서 20 diopter까지의 양볼록 검안렌즈에 대한 백색광 MTF(Modulation Transter Function)를 각주파수와 시력으로 나타낸 후, 이들을 각각 AIM(Aerial Image Modulation) curve와 비교하였다. 축상시야에서 평가된 양볼록 검안렌즈 모두 시력 2.0까지는 란돌트 링을 분해할 수 있는 MTF를 가지고 있었다. 하지만 반시야각 $5.0^{\circ}$인 비축시야에서는 10 diopter의 검안렌즈는 시력 0.9, 20 diopter의 검안렌즈는 0.8까지 란돌트 링을 분해할 수 있는 것으로 평가되어 시력을 1.0까지 측정하기에는 충분한 해상력을 가지지 못한 것으로 평가되었다.
집적결상(integral imaging)에서 렌즈어레이(lens array)를 이용하여 3차원적인 물체를 기본영상(elemental image)들로 결상한 후, 다시 그 기본 이미지들로부터 3차원 이미지를 재생하는 과정에서 기본 이미지들을 변환시키지 않으면, 3차원 이미지가 재생될 때, 렌즈어레이와 수직한 축에 대해 렌즈어레이에 가까운 쪽과 먼 쪽이 서로 바뀌는 슈도스코픽(pseudoscopic) 현상이 일어난다. 그래서 기본이미지들을 변환시키기 위해 렌즈어레이를 한번 더 사용한 이단 집적결상계를 이용하거나 영상처리 방법을 이용하는데, 이와 같은 방법은 광학적 손실을 크게 하거나 처리 속도를 느리게 한다. (중략)
기존 해상용 등명기의 경우 빛을 평행하게 만들기 위해 볼록렌즈를 정교하게 절삭하여 곡률을 제작하는 기술이 까다로워 해상용 등명기 제작비용이 비싼 프레넬 렌즈를 사용하고 있다. 따라서 프레넬 렌즈를 사용하지 않고 평행 광을 만들 수 있는 포물선 반사체(parabolic reflector)의 원리를 도입하였다. 포물선 반사체의 원리는 포물선 초점에 있는 LED 광원에서 빛을 반사체에 반사하여 평행 광을 만드는 원리이며, 포물선 반사체에 반사된 빛은 45° 기울기의 원뿔형 반사체에 한 번 더 반사되어 지표면과 평행한 빛을 360° 방향으로 균일하게 내보낸다.
나노미터 크기의 임의형상 패턴을 새기기 위하여 노광기술이 사용된다. 광노광에서 자외선과 엑스레이 같은 전자기파가 나노미터 크기로 형상을 새긴 마스크 위에 조사되면 회절현상은 필연적으로 발생하며 마스크의 상이 불명확하게 웨이퍼 위에 맺히도록 한다. 볼록렌즈만이 프리어변환기 역할을 한다고 알려져 있으며 마스크 위에 패턴의 크기가 전자기파의 파장에 비교하여 매우 클 때에도 볼록렌즈를 사용하면 프리어변환시키는 것이 가능하다. 본 논문에서 설명하는 방법으로 마스크를 준비하여 렌즈 앞에 놓고 레이저 빔으로 조사하면 프리어 평면이라 알려진 평면 위에서만 나노미터 크기의 패턴이 형성된다. 이 방법은 매우 단순한 장치로 구성되어 있고, 현재 혹은 차세대 노광인 자외선/극자외선 및 전자투사노광으로 제작한 최소선폭과 비교해 볼 때 손색이 없다. 여기서는 프리어광학을 이용하여 이론적인 연구결과를 보이고 있지만 가까운 장래에 실험결과로 이론적인 접근을 증명할 수 있을 것이다.
21세기 정보화 시대의 도래와 함께 반도체 및 디스플레이 분야는 고부가가치산업으로 급격히 성장하였고, 현재까지도 미래의 지속적인 시장 창출을 위하여 기술개발과 투자로 초미세화, 고효율, 대면적화에 대한 원천기술 확보가 중요시되고 있다. 반도체 및 디스플레이의 대면적화가 진행됨에 따라 플라즈마 공정장비의 대면적화도 활발히 기술개발이 진행되고 있으며, 대면적화에 있어 플라즈마의 공간균일도는 생산수율 및 공정균일화를 위해 기본적으로 평가되어야 하는 중요한 지표가 되었다. 하지만 종래의 진단법들은 대면적 플라즈마 진단에 매우 제한적이기 때문에 본 연구에서는 대면적 플라즈마의 공간균일도 평가를 위해 플라즈마의 방출광 측정을 기초로 하는 진단계를 개발하였다. 플라즈마 방출광을 이용한 진단은 플라즈마에 섭동을 주지 않고 전자온도의 변화 및 공간균일도를 평가할 수 있다. 이 진단법은 두 마주보는 한쪽 면이 평평한 볼록렌즈(plano-convex lens)로 이루어진 수광시스템과 역변환 알고리즘을 통해 선 적분된 방출광으로부터 플라즈마 방출광의 국지적 정보를 측정하는 것이다. 플라즈마와 같이 크기가 큰 광원의 경우 렌즈 광학계에서 필연적으로 수반되는 선적분된(chord-integrated) 방출광을 제거하기 위해 구조에 따른 시스템 함수를 이용한 푸리에 변환 알고리즘을 개발하였고, 이를 통해 렌즈 초점거리의 정확한 방출광 세기만 재구성하였다. 이러한 재구성 방법을 이용하여 렌즈의 거리를 움직이며 대면적 플라즈마의 방출광 분포측정을 수행하였고, 이에 대한 결과를 발표하고자 한다.
엄밀한 기하광학적 광선추적을 이용하여, 2차원 TPHK가 푸리에변환 렌즈로 사용될 때, 표면양각형태에 따른 특성을 분석하였다. 2차원 TPHK(F/8, 초점거리 15 mm)의 기판두께가 0, 50$\mu\textrm{m}$인 두 경우에 있어서, 표면양각형태를 평면-볼록면에서 볼록면-평면까지 51단계로 나누어, 세가지 입사각($0^{\circ},{2.5}^{\circ},5^{\circ}$)에 대한 광선추적을 실시하였다. 광선추적의 결과로 얻은 rms 스폿크기, $f{\sin}{\theta}$위치에 대한 rms편차, 최고점위치, FWHM(full width at half maximum), 추적에서 제외된 광선수 등을 평가 기준으로 사용하였는데, 그 결과, 기판의 유무에 무관하게, 표면양각높이의 80%가 상면 쪽에 존재하는 양볼록 형태를 가지는 TPHK가 푸리에변환 렌즈로서 가장 우수한 것으로 나타났다.
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[게시일 2004년 10월 1일]
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