• Title/Summary/Keyword: 복합박막

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Pore Structure and Separation Properties of Thin Film Composite Forward Osmosis Membrane with Different Support Structures (지지층 구조가 다른 복합 정삼투막의 기공구조와 분리 특성)

  • Ahn, Soo-Hyun;Kim, In-Chul;Song, Doo-Hyun;Jegal, Jonggeon;Kwon, Young-Nam;Rhee, Hee-Woo
    • Membrane Journal
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    • v.23 no.3
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    • pp.251-256
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    • 2013
  • In this study, acetylated methyl cellulose (AMC) was successfully used as a support layer of thin film composite (TFC) forward osmosis (FO) membrane. A selective polyamide active layer, interfacially polymerized, was coated on top of various substrate layers. The structure and performance of the TFC FO membrane based on the AMC substrate were compared with those of TFC FO membranes with different polymeric support layers. The experimental results showed that the AMC FO membrane performance was better than other FO membranes due to its characteristic morphology and lower back diffusion rate of salts.

Microstructural and Mechanical Properties of CrTiAlN Nanocomposite thin films synthesis by Closed Field Unbalanced Magnetron Sputtering (비대칭 마그네트론을 이용한 CrTiAlN 나노복합 박막의 미세구조와 기계적 특성)

  • Kim, Yeon-Jun;Lee, Ho-Yeong;Byeon, Tae-Jun;Kim, Gap-Seok;Han, Jeon-Geon
    • Proceedings of the Korean Institute of Surface Engineering Conference
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    • 2007.04a
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    • pp.65-66
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    • 2007
  • 비대칭 마그네트론을 이용하여 사원계 CrTiAlN 나노 복합 박막을 합성하였고 합성된 박막의 특성을 분석하였다. CrTiAlN 나노복합 박막의 미세구조는 CrN (111)과 CrN (200)방향으로 성장하였고 기계적 특성은 $30\;{\sim}\;39\;GPa$의 경도 값을 얻었다. 질소 분압이 0.33 Pa에서 가장 높은 경도 값을 얻을 수 있었다.

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실리콘 기판 위 티타늄/나노결정다이아몬드 복합박막 성장 연구

  • Kim, In-Seop;Na, Bong-Gwon;Gang, Chan-Hyeong
    • Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference
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    • 2011.02a
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    • pp.510-510
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    • 2011
  • Si (100) 2 인치 웨이퍼 위에 RF Magnetron Sputtering 방법으로 Ti 박막을 형성하고, 그 위에 MPCVD (Microwave Plasma Chemical Vapor Deposition) 방법을 이용하여 나노결정다이아몬드 박막을 증착하였다. 지름 3인치, 두께 1/4인치의 Ti 타겟을 사용하고, Ar 가스 유량 11 sccm, 공정 압력 $4.5{\times}10^{-3}$ Torr, RF 전력 100 W, 기판온도 $70^{\circ}C$ 조건에서 2 시간 동안 Ti 박막을 증착하여 약 $0.8{\mu}m$의 박막을 얻었다. 그 위에 공정 압력 110 Torr, 마이크로웨이브 전력 1.2 kW, Ar/$CH_4$ 가스 조성비 200/2 sccm, 기판 온도 $600^{\circ}C$의 조건에서 기판에 -150 V의 DC 바이어스 전압 인가 여부를 변수로 하고, 증착 시간을 변화시켜 나노결정다이아몬드 박막을 제작하였다. FE-SEM과 AFM을 이용하여 다이아몬드 입자의 크기와 다이아몬드 박막의 두께, 표면 거칠기 등을 측정하였고, Raman spectroscopy와 XRD를 이용하여 다이아몬드 결정성을 확인하였다. 바이어스를 인가하지 않았을 경우 증착 시간이 증가할수록 다이아몬드 입자의 평균 크기가 증가하며 입자들이 차지하는 면적이 증가하는 것을 확인하였다. 그러나 2시간이 경과해도 아직 완전한 박막은 형성되지 못하고 약 4시간 이상 증착 시 완전한 박막을 이루는 것이 확인되었다. 이에 비해서 바이어스 전압을 인가할 경우 1시간 내에 완전한 박막을 이루는 것을 확인하였다. 표면 거칠기는 바이어스를 인가한 경우가 그렇지 않은 경우에 비해서 조금 높은 것으로 나타났다. 이러한 바이어스 효과는 표면에서의 핵생성 밀도 증가와 재핵생성 속도 증가에 기인하는 것으로 해석된다.

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Effect of DC Bias on the Deposition of Nanocrystallin Diamond Film over Ti/WC-Co Substrate (Ti/WC-Co 기판위에 나노결정 다이아몬드 박막 증착 시 DC 바이어스 효과)

  • Kim, In-Seop;Na, Bong-Gwon;Gang, Chan-Hyeong
    • Proceedings of the Korean Institute of Surface Engineering Conference
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    • 2011.05a
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    • pp.117-118
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    • 2011
  • 초경합금 위에 RF Magnetron Sputter를 이용하여 Ti 중간층을 증착 후 MPECVD(Microwave Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition) 시스템을 이용하여 나노결정 다이아몬드 박막을 증착 하였다. 공정압력, 마이크로웨이브 전력, Ar/$CH_4$ 조성비, 기판온도를 일정하게 놓고 직류 bias의 인가 여부를 변수로 하고 증착시간을 0.5, 1, 2시간으로 변화시켜 박막을 제작하였다. 제작된 시편은 FE-SEM과 AFM을 이용하여 다이아몬드 박막의 표면과 다이아몬드 박막의 표면 거칠기 등을 측정하였고, Raman spectroscopy와 XRD를 이용하여 다이아몬드 결정성을 확인하였다. Automatic Scratch �岵謙�ter를 이용하여 복합박막의 층별 접합력을 측정하였다. 바이어스를 인가하지 않고 다이아몬드 박막을 증착할 경우 증착 시간이 증가할수록 다이아몬드 입자의 평균 크기가 증가하며 입자들이 차지하는 면적이 증가하는 것을 확인하였다. 그러나 1시간이 경과해도 아직 완전한 박막은 형성되지 못하고 2시간 이상 증착 시 완전한 박막을 이루는 것이 확인되었다. 이에 비해서 바이어스 전압을 인가할 경우 1시간 내에 완전한 박막을 이루었다. 표면 거칠기는 바이어스를 인가한 경우가 그렇지 않은 경우에 비해서 조금 높은 것으로 나타났다. 이러한 바이어스 효과는 표면에서의 핵생성 밀도 증가와 재핵생성 속도 증가에 기인하는 것으로 해석된다.

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Fabrication and characteristics PbTiO3/P(VDF/TrFE) thin films for pyroelectric infrared sensor (초전형 적외선 센서용 PbTiO3/P(VDF/TrFE) 박막의 제조 및 특성)

  • Kwon, Sung-Yeol
    • Journal of Sensor Science and Technology
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    • v.12 no.1
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    • pp.10-15
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    • 2003
  • $PbTiO_3$/P(VDF/TrFE) thin film for pyroelectric infrared sensor's sensing materials have been fabricated by spin coating technique. 65 wt% VDF and 35 wt% TrFE were for P(VDF/TrFE) powder. $PbTiO_3$ powder was used for a ceramic - polymer composites materials. Surface of composite thin film by ceramic fraction factor was observed by SEM. The $PbTiO_3$/P(VDF/TrFE) thin film capacitancy, dielectric constant and dielectric loss measured by impedence analyzer(HP4192A) and pyroelectric coefficient was measured by semiconductor parameter analyzer(HP4145B).

Conducting Characteristics of ABS/PPy Composite Film Prepared by Electrochemical Polymerization (전기화학적 중합으로 제조된 ABS/PPy 복합 박막의 전도특성)

  • Kim, J.;Yoon, D.Y.;Kim, D.H.;Han, C.;Kim, S.
    • Journal of the Korean Electrochemical Society
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    • v.5 no.3
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    • pp.164-167
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    • 2002
  • ABS/Polypyrrole composite film has been synthesized by means of electrochemical polymerization in order to enhance the oxidant stability by using ABS(Acrylonitrile-Butadiene-Strene) as a host-polymer. While the acetonitrile as a solvent swells the host-polymer ABS on Pt plate, and then the pyrrole in an electrolyte penetrates the Pre-coated ABS film during electrochemical Polymerization. Comparing with the sin91e-component Polypynole film, the resulting conducting ABS/PPy composite nim shows the good reliability for the uniform resistance and the enhancement of the oxidant stabilization.

ZnO 나노입자를 포함한 고분자 나노 복합 소재를 사용하여 제작한 WORM 메모리 소자 안정성

  • Son, Jeong-Min;Yun, Dong-Yeol;Jeong, Jae-Hun;Kim, Tae-Hwan
    • Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference
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    • 2011.02a
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    • pp.71-71
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    • 2011
  • ZnO 반도체가 넓은 에너지띠와 큰 엑시톤 결합에너지를 가지기 때문에 가진 투명 전극, 태양전지, 발광소자 및 메모리와 같은 다양한 전자 및 광전자 소자의 응용에 대한 많은 연구가 활발히 진행되고 있다. 본 논문에서는 절연성 고분자인 폴리스티렌 박막에 분산되어 있는 ZnO 나노 입자를 기억 매체로 사용하는 write-once-read-many times (WORM) 메모리 소자를 제작하고 전기적 성질과 안정성에 대하여 관찰하였다. 화학적 방법으로 형성한 ZnO 나노입자와 폴리스티렌을 N,N-dimethylformamide 용매에 녹인 후 초음파 교반기를 사용하여 나노 복합 소재를 형성하였다. 하부 전극으로 indium-tin-oxide가 증착되어 있는 유리 기판 위에 나노 복합 소재를 스핀코팅 방법으로 도포한 후 열을 가해 잔류 용매를 제거하였다. ZnO 나노입자가 분산되어 있는 폴리스티렌 나노 복합 소재로 구성된 박막위에 상부 전극으로 Al을 열증착하여 메모리 소자를 제작하였다. 전류-전압 측정 결과에서 저전압에서는 전도도가 낮은 OFF 상태를 유지하다 약 1.5 V에서 전도도가 갑자기 증가하여 높은 전도도의 ON 상태로 전이되는 쌍안정성이 관찰되었다. 전류의 ON/OFF 비율은 약 103이며 ON 상태에서 OFF 상태로 전환되지 않는 전형적인 WORM 메모리 소자의 전류-전압 특성을 나타났다. 두 전극 사이에 폴리스티렌 박막으로만 제작된 소자를 제작하여 전류-전압 측정을 하였으나 메모리 특성이 나타나지 않았다. 그러므로 WORM 메모리 특성은 폴리스티렌 박막안의 ZnO 나노입자에 기인함을 알 수 있었다. 제작된 소자에 대해 기억 시간 측정 결과는 ON과 OFF 상태의 전류가 장시간에도 변화가 거의 없는 소자의 안정성을 보여주었다. 이 실험 결과는 ZnO 나노입자가 분산된 폴리스티렌 나노 복합 구조체를 사용하여 안정성을 가진 WORM 메모리 소자를 제작할 수 있음을 보여주고 있다.

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Zr 기반 단일합금타겟으로 증착된 나노복합박막의 구조 및 기계적 특성

  • Yun, Hye-Won;Lee, Han-Chan;O, Se-Pil;Jeong, Hun;Gwon, Se-Hun;Mun, Gyeong-Il
    • Proceedings of the Korean Institute of Surface Engineering Conference
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    • 2018.06a
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    • pp.37.2-37.2
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    • 2018
  • ZrN 코팅은 다른 하드 코팅과 비교해 우수한 기계적 특성 및 내식성으로 다양한 산업 분야에서 사용되고 있다. 특히 ZrN 기반의 코팅 중, ZrCuN 코팅은 50 GPa 이상의 매우 높은 경도를 나타내는 것으로 보고되고 있다. 본 연구에서는 Zr-Cu 기반 조성에 우수한 기계적 특성 향상을 위해 제 3의 원소를 첨가하여 단일합금 타겟을 제작하였다. 단일 합금 타겟은 플라즈마 아크멜팅법으로 제작되었으며, 제작된 단일합금 타겟을 이용하여 DC 마그네트론 스퍼터링 공정을 통해 Zr 기반의 나노복합박막을 증착하였다. Zr기반 나노복합 박막은 다양한 $Ar:N_2$ 분위기 하에서 증착하였으며, 가스비에 따른 코팅의 특성을 확인하기 위해 SEM/EDS, XRD, nano-indentation, friction test 분석을 진행하였다.

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Preparation of Natural Polymer-CaP Composite Films (천연 고분자-칼슘 포스페이트 복합 박막 제조)

  • Kim, Ka-Eun;Mo, Man-Jin;Lee, Woo-Kul
    • Applied Chemistry for Engineering
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    • v.16 no.1
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    • pp.112-116
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    • 2005
  • We investigated the surface modification method for the preparation of organic-inorganic hybrid composite thin film. Gelatin obtained from the decomposition of collagen was allowed to adsorb in a polystyrene tissue culture dish for 2 h to from layers of gelatin. Supersaturated ionic solution of calcium and phosphorus was injected on the gelatin adsorbed layer to form calcium phosphate thin film. During the initial period of incubation, nucleates were formed. With increase of the incubation time, CaP (calcium phosphate) thin film grew on the surface of the culture dish. The gelatin/CaP thin film displayed the highly porous three-dimensional surface structure. Attenuated, total reflectance Fourier transform, infra-red spectroscopy (ATR-FTIR) was used to analyze the chemical properties of CaP film. The analysis demonstrated that the CaP film formed at initial period of treatment appeared to be amorphous. With increase of incubation time, the crystallinity of the film was slightly increased, but the presence of the peaks for the low crystalline CaP confirmed that the CaP thin film prepared in this study was poorly crystallized.

The influence of preparation condition on optical property of sol-gel derived hybrid organic-inorganic silica glass thin films (제작조건에 따른 졸-겔 복합 실리카 박막의 광학적 성질 변화)

  • 정재완
    • Korean Journal of Optics and Photonics
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    • v.11 no.4
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    • pp.255-260
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    • 2000
  • We report that the crack-free organic-inorganic hybrid silica thin films were fabricated by sol-gel process using organometallic compounds as a precursor and that we have established very reproducible fabrication condition with systematic investigation of thickness and refractive index variations for various control parameters, such as, coating type, coating speed, chemical composition, prebake and postbake temperature. Additionally, we measured and compared the change of optical property with the UV exposure dose for three different kinds of photoinitiators. Furthermore, the fabrication of Ix4 MMI optical power splitter using the sol-gel thin film provides the possibility of various applications to the optical waveguide devices. vices.

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