• 한국전자파학회논문지
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• 제13권4호
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• pp.359-365
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• 2002

본 논문은 IMT-2000 기지국에 적용할 이중편파 다이버시티 능동형 배열 안테나의 새로운 형태를 제안하고, 설계 및 개발하였다. 먼저 배열 안테나를 구성하게 될 단일 안테나 소자는 마이크로 스트립 패치 안테나로서 $\pm$ 45$^{\circ}$의 편파를 갖는 패치를 설계하여 IMT-2000의 송신부와 수신부를 커버할 수 있는 대역폭 (1,885~2,200 MHz)을 갖추고, 이중편파간에 16 ㏈ 이하의 격리도를 확보하며 이득은 7 ㏈i 이상으로 확보를 하였다. 최종적으로 2$\times$8 이중편파 능동형 배열 안테나에서는 저 전력증폭기의 분산 장착 기술을 위해 균일한 특성을 갖는 전력증폭기를 각 패치의 후면에 분산하여 1,200 W 이상의 EIRP와 20 ㏈ 이상의 편파간 격리도를 확보할 수가 있었다.

• 대한기계학회논문집A
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• 제34권7호
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• pp.859-866
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• 2010

본 연구에서는 다단 마이크로 구조물의 대량성형을 위하여, 모듈화된 초소형몰드 시스템(MSMS)을 이용한 초소형 사출성형 공정을 수행하였다. 본 연구에서 적용된 초소형몰드 시스템은 여러 모듈들로 구성되어 있으며, 각 모듈들은 다양한 단면 마이크로 구조물을 가지고 있다. 초소형몰드 시스템의 모듈들은 X-선 리소그래피 공정 및 니켈 전주도금 공정으로 제작되었으며, 다양한 모듈들을 조합 및 결합함으로써 복잡한 형상을 가지는 초소형몰드 시스템을 효과적으로 구현할 수 있다. 이와 같은 초소형몰드 시스템을 적용함으로써, 본 연구에서는 다단 구조물의 표면에 마이크로 삼각 프리즘이 주기적으로 배열되어 있는 다단 마이크로 구조물의 초소형 사출성형 공정을 성공적으로 수행하였다.

• 한국소음진동공학회:학술대회논문집
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• 한국소음진동공학회 2005년도 춘계학술대회논문집
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• pp.551-554
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• 2005

This study uses a characteristic function to explain correlations between the objective function and design variables. Analysis of means and table of orthogonal array were carried out. The change of shape of diaphragm, thickness of diaphragm and voice coil weight based on the table of orthogonal array is made. Therefore this study carried to decide shape of diaphragm, voice coil weight and thickness of diaphragm for minimizing 1st natural frequency and maximizing 2nd natural frequency of diaphragm using design of experiments and characteristic function with constraints. we showed improved design factors that minimized 1st natural frequency and maximized 2nd natural frequency of diaphragm.

• 한국소음진동공학회:학술대회논문집
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• 한국소음진동공학회 2005년도 춘계학술대회논문집
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• pp.840-845
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• 2005

This paper presents a robust optimal design method for a periodic structure type of MEMS resonator that is vulnerable to mode localization. The robust configuration of such a MEMS resonator to fabrication error is implemented by changing the regularity of periodic structure. For the mathematical convenience, the MEMS resonator is first modeled as a multi pendulum system. The index representing the measure of mode variation is then introduced using the perturbation method and the concept of modal assurance criterion. Finally, the optimal intentional mistuning, minimizing the expectation of the irregularity measure for each substructure, is determined for the normal distributed fabrication error and its robustness in the design of MEMS resonator to the fabrication error is demonstrated with numerical examples.

• 한국소음진동공학회논문집
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• 제15권8호
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• pp.931-938
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• 2005

This paper presents a robust optimal design method for a periodic structure type of MEMS resonator that is vulnerable to mode localization. The robust configuration of such a MEMS resonator to fabrication error is implemented by changing the regularity of periodic structure For the mathematical convenience, the MEMS resonator is first modeled as a multi-pendulum system. The index representing the measure of mode variation is then introduced using the perturbation method and the concept of modal assurance criterion. Finally, the optimal intentional mistuning, minimizing the expectation of the irregularity measure for each substructure, is determined for the normal distributed fabrication error and its robustness in the design of MEMS resonator to the fabrication error is demonstrated with numerical examples.

• 대한전자공학회:학술대회논문집
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• 대한전자공학회 2008년도 하계종합학술대회
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• pp.887-888
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• 2008

본 논문은 여러 음향신호의 도달각에 기반한 실내측 위성능을 분석한다. 도달각 측정을 위해 송출전력이 같은 총성, 벨소리, 그리고 의사충격음을 사용하였다. 음향 신호는 약 32 평방미터의 실험실에서 한 개의 음원 스피커를 통해 송출되고, 두 쌍의 서로 동기가 맞는 배열 마이크를 통해 수신된다. 수신된 음향신호로부터 한 마이크 쌍 사이의 도달지연시간차가 측정되고, 이로부터 도달각이 산출된다. 끝으로, 음원 스피커의 최종 위치는 도달각의 교점으로 결정된다. 본 논문은 설치한 실험환경에서의 참 도달각과 측정 도달각의 평균절대오차와 측위오차의 상보누적분포를 보이고, 이에 대한 성능특성을 분석한다.

• 한국소음진동공학회논문집
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• 제15권7호
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• pp.775-780
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• 2005

This study uses a characteristic function to explain correlations between the objective function and design variables. Analysis of means and table of orthogonal array were carried out. The change of shape of diaphragm, thickness of diaphragm and voice coil weight based on the table of orthogonal array Is made. Therefore this study carried to decide design variables for minimizing 1st natural frequency and maximizing 2nd natural frequency of diaphragm using design of experiments and characteristic function with constraints. we showed improved design variables.

• 대한전기학회:학술대회논문집
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• 대한전기학회 1999년도 추계학술대회 논문집 학회본부 C
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• pp.1145-1147
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• 1999

평판전극배열을 이용한 회전구동형 마이크로 액츄에이터의 구동력을 증대시키기 위하여 전극의 형상을 최적화 하였다. 기존 평판구동형 마이크로 액츄에이터의 형상을 변형시켜 반경에 무관하게 전극의 수직간격을 최소간격으로 일정하게 유지함으로서 구동력을 배가시키는 효과를 발생시켰다. 이러한 구동력의 증가는 결국 요구되는 변위를 만족시키면서 고유진동수를 증가시켜 마이크로액츄에이터의 구동성능을 향상시킬 수 있다.

• 마이크로전자및패키징학회지
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• 제28권4호
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• pp.57-61
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• 2021

마이크로 기둥 구조물 위에 인듐 범프 배열을 형성하는 공정을 제안한다. Benzocyclobutene (BCB) 평탄화와 etch-back 공정을 통하여 매우 협소한 마이크로 기둥 위에 인듐 범프를 형성할 수 있는 공간을 확보할 수 있다. 본 연구에서는 단파장 적외선을 감지용 320×256 포맷의 하이브리드 카메라 센서 제조에 대한 자세한 공정 과정을 소개한다. 다양한 공정을 거친 BCB 필름의 shear strength는 quartz crystal microbalance 방법으로 측정하여 추출하였다. BCB 필름의 shear strength는 인듐 범프보다 10³배 더 높은 것으로 확인하였다. 제작된 SWIR 카메라 센서로부터 측정된 암전류의 분포는 제안한 인듐 범프 형성 공정이 매우 민감한 적외선 카메라 센서를 구현하는 데 유용할 수 있음을 제시한다.

• 융복합기술연구소 논문집
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• 제1권2호
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• pp.16-24
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• 2011

The angular electrostatic microactuator using skewed electrode array (SEA) scheme was proposed. The moving and fixed electrodes are arranged to make the driving force perpendicular to the rotating moment of arm. By changing the electrode overlap length, the magnitude of electrostatic force and stable displacement will be changed. In order to optimize the design, electrostatic FE analysis were carried out and the empirical force model was established for SEA. Simulation was performed to make the comparison between conventional actuators and SEA. The proposed SEA generates actuating torque 2 times greater than a comb-drive and stable actuator displacement 40% greater than a parallel plate type actuator. The angular electrostatic microactuator using skewed SEA scheme was designed and fabricated using SoG process.