Proceedings of the KIEE Conference (대한전기학회:학술대회논문집)
- 1999.11d
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- Pages.1145-1147
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- 1999
Optimal shape Design of Curved Electrodes for a Rotary Microactuator
회전구동형 마이크로액츄에이터 전극의 최적형상
- Jung, Sung-Hwan (Samsung Advanced Institute of Technology) ;
- Jeon, Jong-Up (Samsung Advanced Institute of Technology) ;
- Pak, Y. Eu-Gene (Samsung Advanced Institute of Technology) ;
- Lee, Suk-Han (Samsung Advanced Institute of Technology)
- Published : 1999.11.20
Abstract
평판전극배열을 이용한 회전구동형 마이크로 액츄에이터의 구동력을 증대시키기 위하여 전극의 형상을 최적화 하였다. 기존 평판구동형 마이크로 액츄에이터의 형상을 변형시켜 반경에 무관하게 전극의 수직간격을 최소간격으로 일정하게 유지함으로서 구동력을 배가시키는 효과를 발생시켰다. 이러한 구동력의 증가는 결국 요구되는 변위를 만족시키면서 고유진동수를 증가시켜 마이크로액츄에이터의 구동성능을 향상시킬 수 있다.
Keywords