• Journal of the Korea Society of Computer and Information
• /
• v.18 no.3
• /
• pp.107-118
• /
• 2013

In this paper, we developed the semiconductor monitoring system for the etching process. Around the world, expert companies are competing fiercely since the semiconductor industry is a leading value-added industry that produces the essential components of electronic products. As a result, many researches have been conducted in order to improve the quality, productivity, and characteristics of semiconductor products. Process monitoring techniques has an important role to give an equivalent quality and productivity to produce semiconductor. In fact, since the etching process to form a semiconductor circuit causes great damage to the semiconductors, it is very necessary to develop a system for monitoring the process. The proposed monitoring system is mainly focused on the dry etching process using plasma and it provides the detailed observation, analysis and feedback to managers. It has the functionality of setting scenarios to match the process control automatically. In addition, it maximizes the efficiency of process automation. The result can be immediately reflected to the system since it performs real-time monitoring. UI (User Interface) provides managers with diagnosis of the current state in the process. The monitoring system has diverse functionalities to control the process according to the scenario written in advance, to stop the process efficiently and finally to increase production efficiency.

• Proceedings of the KIPE Conference
• /
• 2011.07a
• /
• pp.543-544
• /
• 2011

최근 고유가 문제와 환경에 대한 관심 증가로 인해 친환경저연비 자동차에 대한 기술 연구가 다양한 분야에서 활발히 진행되고 있다. 이 가운데서도 특히 반도체 및 배터리의 급속한 기술발전으로 자동차용 부품들이 기계식 방식에서 전자식 방식으로 대체되고 있다. 그 중에서 전동식 워터펌프는 엔진의 회전에 연동된 타이밍 벨트로 구동되는 기존의 기계식 펌프와 달리, 펌프부에 전기모터 및 제어기가 결합되어 독립적인 구동능력을 갖추고 있다. 자동차 동력효율을 높이기 위해 내연기관 및 주변 전장장치들의 온도를 주행조건에 따라 제어하여 적정하게 유지시킬 필요가 있으며 이를 위한 자동차 부품으로 전동 워터펌프의 중요성이 커지고 있다. 본 논문에서는 이와 같은 자동차용 전동워터펌프 제어기 개발을 위하여 브러시리스형 DC모터를 적용하였다. 브러시리스형 DC모터는 고속 및 큰 부하에서 Back EMF 대비 전류의 지상 성분이 발생하여 상전류 증가 및 전체 효율을 떨어뜨린다. 이에 본 연구에서는 Lead Angle의 양을 계산하는 기법을 이용하여 워터펌프에 적용하였다.

• The Optical Journal
• /
• s.153
• /
• pp.47-62
• /
• 2014

${\blacksquare}$ 목적 * 우리나라 주력산업분야(자동차, 조선, 항공, 기계, 로봇, 반도체 등)에 절단, 가공, 용접, 리소그라피, 마킹, 열처리, 합성, 표면처리 등의 방식으로 활용되고, 융 복합산업(의료, 에너지, 영상, 군수, 신소재, 센서)에 광원으로 응용되는 산업용 고출력 레이저의 산업 생태계 분석을 통하여 기존 산업의 고부가화와 신산업의 경쟁력을 견인 ${\blacksquare}$ 주요현황 * (시장현황) 2011년부터 2014년까지 고출력 레이저의 시장규모는 4,452백만불(5조 463억원)에서 5,255백만불(5조 9,565억원)으로 연평균 5.7% 성장 전망 * (제품기술동향) 3세대 레이저인 광섬유 레이저와 고출력 다이오드 레이저, DPSS 레이저 등이 기술혁신을 거듭하면서 1, 2세대 레이저를 대체해 가면서 높은 수준의 성장을 거듭할 것으로 전망. 산업용레이저의 주요선진국 대비 국내 기술수준은 전체적으로 44.5%정도로 취약 * (기업동향) Coherent, Trumpf, Cymer, IPG Photonics, Rofin-Sinar 5개사가 전체시장의 55%이상을 점유하고 있으며 대부분 수직계열화를 통해 경쟁력 확보. 최근 중국의 Han's 사가 자국정부의 지원을 통해 급 부상 ${\blacksquare}$ 시사점 * 산업용 레이저를 이용한 응용기술 부분 투자가 과거에는 단기 경제적 성취는 이로웠으나, 현재에 이르러 레이저 혹은 레이저 시스템이 필요할 때마다 외국에서 관련 핵심부품, 모듈 등을 수입해야하는 실정에 이르렀음. 향후 레이저 국산화를 위한 노력과 함께 후방 소재.부품의 전략적 투자를 통해 산업의 건강한 선순환생태 환경을 조성하여 산업 경쟁력을 갖추어야 함.

• Photonics industry news
• /
• s.38
• /
• pp.16-19
• /
• 2007

2006년 국내 광산업시장은 전 세계적인 초고속인터넷망 및 FTTH 관련 서비스 확충에 따라 광통신 부품 업체의 호황과 아울러 휴대폰 부품시장, 반도체 광원(LED)분야의 전체적인 수출 및 내수시장규모가 증가한 것으로 조사됐다. 그러나 해외 원자재 구매 증가로 인해 수입 비율이 증가하고 반면 수출은 엔화, 달러 환율의 지속적인 하락에 영향을 받아 마이너스 성장한 분야도 있는 것으로 파악되었다. 광산업클러스터가 구성된 광주의 지역내 총생산은 2003년을 기준으로 하여 15조 7,229억 원으로 전국 비중은 2.2%를 차지하고 있을 정도로 열악하고 재정자립도도 6개 광역시 중에서 하위를 기록하고 있었으며 취업자 기준 산업구조도 서비스업이 80%정도를 차지할 정도로 구조적인 취약점을 안고 있었다. 이와 같은 광주경제의 어려운 상황을 근본적으로 타개하기 위하여 광주광역시가 21세기 최대의 유망산업인 광산업 육성 계획을 수립해 제시한 결과, 중앙정부 차원에서 광산업 육성 및 집적화 계획 1단계 사업(2000년~2003년)이 성공적으로 마무리 되고 현재는 2단계 사업(2004년~2008년)이 추진 중이다. 따라서 현시점에서 광산업 육성 성과를 판단할 수 있는 지표로 광주지역에 소재하고 있는 광산업체의 증가수와 매출액 등에 대하여 한국광산업진흥회에서 2006년 12월에 전수조사 하였다.

• Proceedings of the KIEE Conference
• /
• 2004.11d
• /
• pp.122-126
• /
• 2004

직격뇌가 높은 건축물에 치거나 인접 건물로부터 뇌전류가 유입되었을 때 잘못된 피뢰설비로 인한 피해는 매우 심각한 실정이다. 낙뢰가 치는 순간에 반도체와 같은 민감한 전자부품을 사용하는 전자 및 통신기기는 뇌전류로 인한 전자기장의 영향으로 오동작이 발생하거나 부품의 손상을 입기가 쉽다. 본 논문에서는 건축물 구조체에 직격뇌가 유입되었을 때 건축물 구조체 및 건물 주위에 나타나는 전위분포특성을 연구하였다. 본 논문에서 30m 높이 건축물의 상부 모서리와 중앙부 그리고 건축물 하부 모서리와 중앙부로 뇌전류가 유입된다고 가정하여 건축물의 전계분포특성을 시뮬레이션하였으며, 뇌전류는 2중 지수함수형태로 모의된 20kA 임펄스 서지 전류를 주입하였다. 뇌서지 전류의 주파수 특성은 Fast Fourier Transform(FFT)을 이용하여 얻었으며, 얻어진 주파수 값을 이용하여 건축물 구조체와 인접지역의 Scalar Potentials과 Electric Fields의 특성을 시뮬레이션하였다. 또한 철골 빔 건축물의 철골 빔에 직접 뇌전류가 유입되는 경우와 건물 하부의 접지전극에 뇌전류가 유입되는 경우로 분리 하여 연구하였다. 그 결과 뇌전류의 유입경로가 건축물의 모서리부분 보다는 중심부에 위치될 때 전위 및 전계 크기가 작았으며 건축 철골구조물보다 건축물 하부에 접지전극이 설치될 때 더 낮은 전계 값을 갖는 것을 확인하였다.

• Proceedings of the KIEE Conference
• /
• 2005.07b
• /
• pp.1778-1780
• /
• 2005

환경 친화적인 자동차, 안전한 자동차, 편리하고 편안한 자동차 등 시장과 소비자의 다양한 욕구에 부응하기 위하여 기존의 기계식 자동차 부품들을 전기/전자식으로 대체하기 위한 노력이 꾸준히 진행되고 있으며, 특히 최근의 반도체 기술의 비약적인 발전과 더불어 자동차 부품의 전기/전자화가 급격히 진행되고 있다. 이에 따라 자동차에서 사용되는 전기에너지의 소요도 지속적으로 증가하여 기존의 14V 전원체계의 효율저하 및 용량의 한계를 초래하였고, 새로운 차량용 전원체계에 대한 필요성이 대두되게 되었다. 이와 같은 필요성에 의하여 새로운 차량용 전원체계에 대한 다각적인 검토가 이루어졌으며, 1990년대 중반 이후 차량용 전원 시스템의 새로운 대안으로 42V 전원체계가 제시되었다. 본 논문에서는 자동차 42V 전원체계의 도입에 있어서 핵심적인 역할을 수행하는 에너지 저장장치의 개발필요 및 동향에 관해 간략히 소개하고, 출력 및 내구성능을 개선한 에너지 저장 시스템 개발결과에 대해 소개하고자 한다.

• Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference
• /
• 2016.02a
• /
• pp.110.1-110.1
• /
• 2016

국내외 최첨단 반도체 및 평판 디스플레이 공정에서 필요한 개별 건식 진공펌프들의 자기진단을 통한 예지보수의 실시간 구현 장치 개발과제의 2차년 전반기 수행된 연구결과의 일부를 본 논문에서 소개한다. 본 연구에서 최종 목표로 설정하고 있는 "smart" 진공펌프란 운전상태에 관련된 변수들의 측정치를 기반으로 한 자기진단 (self-diagnostics) 기능을 내장한 차세대 공정용 진공펌프를 의미한다. 1차년에 선정된 상태진단용 진공펌프의 상태변수(state variable)들의 효과적인 수집을 구현하기 위한 연구가 진행되었다. 기존의 반도체 공정용 진공펌프들에서 측정하고 있는 상태변수로는 온도, 유량, 배기관 압력, 모터 소비전류 등과 같은 정적인 변수들뿐 아니라, 회전기계류의 상태진단에 필수적인 진동신호를 추가한 상태 변수 수집 장치를 개발하였다. 본 연구팀은 진공펌프의 회전진동을 유발하는 대표적인 부품은 회전체, 베어링, 그리고 치차로 이들 3 종의 회전진동성분들을 효과적으로 측정할 수 있는 신호처리 기법을 개발하였다. 금번 연구에서 채택한 진동신호 처리기법은 초고속 FFT 변환 기반의 주파수 대역 별 진동 레벨 환산과 더불어 다단계로 구성된 디지털 필터 (multi-staged decimation filter) 기법을 개발 적용하였다. 이러한 신호처리 기법을 통하여 측정된 진동 신호로부터 회전체, 베어링, 그리고 치차의 회전 진동성분을 효과적으로 측정하는 방법을 금번 학술대회에서 소개한다. 그리고, 진공펌프 상태진단에 필요한 상태변수의 실시간 backup 방법, 그리고 공정관리 server와 통신기능, 그리고 펌프 현장 관리자용 PC와 통신 기법 등 상태변수 측정 모듈의 확장성에 대한 기술적 내용을 소개한다.

• The Inventors News
• /
• no.48
• /
• pp.1-16
• /
• 2006

축사/발명 유비쿼터스 선도하는 언론 지향/'발명하는 사람들' 창간 4주년 맞다/'발명하는 사람들' 창간 4주년을 축하합니다/반도체 공정분야 특허 출원 급증/운동화에도 웰빙 바람/공기청정기 특허출원 꾸준한 증가/차세대 반도체 특허, 회로.응용 분야에 집중/맥주, 이제 병이 아닌 플라스틱 용기에/특허고객콜센터, 품질인증 획득/특허청,'찾아가는 특허검색서비스' 제공/직무발명보상 개정법 관련 세미나/'쟁점별 특허소송 가이드북'제작/특허청 연구회, 고객감동 경영의 밑거름/한국특허정보원,2006 한국서비스대상 공공부문 대상 수상/현대차, 특허침해 찾으면 로열티 10% 지급/나이키 짝퉁, 한해 3백60만 켤레 적발/특허청, 자동차부품연구원과 업무협약/휴대용 포토 프린터 특허 출원 증가/역사 속의 발명품/하루 10분 발명교실/특허Q&A/한국여성발명협회 13년 발자취/미니인터뷰/이공계 대학교수 대상 특허정보 세미나 개최/실용신안 등록출원, 우선심사 대상 확대/자료 수집을 소홀히 마라/특허청 간부진, 고객 현장 속으로/삼성, 중국 저명상표로/포스코, 특허시스템 가동/도미다의 원너 커트/월마트, 짝퉁 '펜디' 판매로 망신살/일본, '지적재산권 입국' 계획 마련/미국-유럽연합, 짝퉁 퇴치 나선다/특허청, 자체 브랜드 '특허로' 첫상표출원/인청 부평지식재산센터, 발명가 초청강연회 개최/'2006 피츠버그 국제전' 에서 국내 발명가 수상/세계 최고 4대 건강식품/특허법원, 책 제목 출판사 소유로/한국여성발명협회 회원사 발명품 가이드/'2006년 여대생 발명캠프'/

• Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference
• /
• 2012.02a
• /
• pp.95-95
• /
• 2012

스터퍼링 기술이 1852년 Grove에 의해서 최초 발견되어 1979년 Chapin에 의해서 planar magnetron cathode 개발로 진공코팅기술의 새로운 영역을 열게 되어 현재까지 디스플레이, 반도체, 태양전지, 광학산업 및 전자부품 등 나노 산업에 필수적으로 적용되고 있다. 스퍼터링 입자는 운동량 전달에 의한 것으로 운동량을 갖는 나노 스퍼터링 입자는 기판에 대한 박막의 부착력이 우수하고 대면적에 균일하고 재현성 있게 성막되는 특징을 갖고 있다. 마그네트론 스퍼터링 기술이 산업에 응용되면서 주로 4분야에서 많은 연구, 개발이 되어져 왔다. 첫째는 타겟의 고순도 및 고밀도화와 더불어 가격이 고가로 됨에 따라 타겟 사용효율의 향상이다. 플라즈마를 발생시키는 캐소드의 자기회로를 1차원, 2차원 및 회전운동을 통해서 사용효율을 향상시키고 있다. 둘째는 기판에 대해서 박막특성이 균일하도록 코팅하는 것이다. 디스플레이에서는 글래스 기판이 대면적으로 됨에 따라서 핸들링이 어려워져 여러 개의 캐소드 자기회로를 선형적으로 이동시켜 박막두께분포를 최적화하며 반응성 가스를 사용해서 균일한 특성의 박막을 제작하는 경우에는 가스분사관과 배기펌프계의 기하학적 위치 및 가스 유동학적 해석이 필요하다. 셋째는 스퍼터링 입자의 이온화로 의한 박막의 특성향상과 반도체 trench의 높은 aspect ratio hole을 채우는 것이다. 이온화 방법으로는 inductively coupled plasma (ICP), microwave amplified (MA), high power impulse (HIPI), hollow cathode magnetron (HCM), self-sustained sputtering 등이 사용되어져 왔으며 최근에는(neutral beam-assisted sputtering (NBAS)에 의한 박막특성향상 방법이 발표되고 있다. 넷째는 플라즈마 및 박막두께 시뮬레이션에 대해서 많은 발표가 되고 있다. 본 발표에서는 상기의 4 분야를 포함한 향후 개발방향에 대해서 소개할 예정이다.

• Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference
• /
• 2012.02a
• /
• pp.223-223
• /
• 2012

최근 선진국의 산업구조는 반도체, 디스플레이, IT 제품 등 고부가가치 산업으로 재편되고 있으며, 이에 따라 핵심 공정장비인 고진공펌프의 수요가 급격히 증대하고 있다. 고용량/대면적/초정밀 제품을 지향하는 개발추세에 따라 핵심 공정 장비로서 크라이오펌프의 활용도가 크게 증가하며 LCD 분야 등과 같이 수소 분자와 물 분자 등의 배기가 중요한 응용분야에 크라이오펌프의 수요가 대부분을 차지하고 있다. 또한 도래하는 한미FTA 체결에 따라 반도체, IT, 디스플레이 제조 장비용 고진공펌프의 수입이 급증할 것으로 예상되어 국내 진공업체에서도 크라이오 펌프의 개발이 진행되고 있다. 국내에서는 크라이오펌프 뿐만 아니라 핵심부품인 극저온 냉동기에 대한 기반 기술이 낙후되어 있는 실정이다. 본 연구에서는 지식경제부 지원 사업인 제조기반산업원천기술개발사업에 참여기관으로 수행하여 한국기계연구원과 급속 재생형 저진동 크라이오펌프의 기술 개발을 통해 전량 수입하는 고진공 펌프인 크라이오펌프를 국산화를 도모하고자 한다. 또한, 맥동관 냉동기는 기계적 구동부가 없어 구조가 간단하여 운전이나 보수가 용이하고, 장시간 운전에 신뢰성이 높으며 제조비용이 저렴하다. 이에 (유)우성진공에서는 연구 개발을 통해 상용화 단계에 있는 맥동관 냉동기 크라이오펌프를 소개하고자 한다.