• 한국정밀공학회지
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• 제17권7호
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• pp.52-58
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• 2000

최근 첨단 미세가공기술로 주목을 받고 있는 실리콘 마이크로머시닝 기술과 이를 기반으로 한 산업용 MEMS 개발현황을 소개한다. 전반부에서는 마이크로머시닝 기술의 종류를 소개하고 각각의 기술에 대해 기술근원, 미세가공원리와 기본 가공공정을 간략히 요약한 후 기전 집적형태의 마이크로머신과의 연계성을 고려한 시스템적인 측면에서의 기술특성을 상호 비교한다. 또한 가공의 양산성, 재현성, 조립성 측면에서 마이크로머시닝의 가공성을 조명함과 동시에 향후 발전방향을 전망한다.(중략)

• 한국정밀공학회지
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• 제20권11호
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• pp.180-187
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• 2003

A CAD-based seamless design system for MEMS named DS/MEMS was developed which performs coupled-field analysis, optimal and robust design. DS/MEMS has been developed by means of integrating commercial codes and inhouse code-SolidWorks, FEMAP, ANSYS and CA/MEMS. This strategy results in versatility that means to include various analysis model, corresponding analyses and approximated design sensitivity analysis and user friendliness that design variables are taken to be selectable directly from a CAD model, that the problem is formulated under a window environment and that the manual job during optimization process is almost eliminated. DS/MEMS works on a parametric CAD platform, integrating CAD modeling, analysis, and optimization. Nonlinear programming algorithms, the Taguchi method, and response surface method are made available for optimization. One application problem is taken to illustrate the proposed methodology and show the feasibility of DS/MEMS as a practical tool.

• 대한기계학회:학술대회논문집
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• 대한기계학회 2004년도 추계학술대회
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• pp.1761-1766
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• 2004

In this lecture, we reviewed the principle and types of force sensors with strain gages, tactile sensors based on MEMS and force sensor as well as nano force sensors. Also we investigated applications of force sensors for NT, BT and RT.

• 한국정밀공학회지
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• 제19권3호
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• pp.7-12
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• 2002

• 기계저널
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• 제33권6호
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• pp.552-570
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• 1993

이 글에서는 마이크로머신 특성을 응용한 제품들과 이에 내포된 기반기술 및 관련 연구분야를 소개하고자 한다. 먼저 세부기술과 연구과제를 언급하기에 앞서, 마이크로머신 기술의 배경과특 성을 소개하고, 기존 기술들과의 비교 . 연계를 통해 기술 공간상에서의 마이크로머신 기술의 좌표를 제시하고자 한다. 그 이후 본론에 들어가서, 마이크로머신 관련기술 및 연구분야를 다음과 같이 크게 두 가지 관점에서 정리하여 소개한다. 먼저 산업분야별 응용제품 및 기술적용 예를 통하여 '제품기술' 관점에서 마이크로머신 기술을 조명한 후, 이러한 제품기술의 근간이 되는 연구 분야별 관련기술의 소개를 통하여 '기반기술' 측면에서 마이크로머신기술을 정리하고자 한다. 특히 후반부 마이크로머신 기반 기술부분에서는 마이크로머신의 설계, 해석, 제작과 관련된 기술과제 중 비교적 기계공학분야와 연관이 있는 부분을 중점적으로 다루었다. 끝으로, 제품 기 술로서의 마이크로머신기술의 현황 기술로서의 당면 과제 등을 조명하고, 관련기술의 성숙요건을 제시해본다.

• 유체기계공업학회:학술대회논문집
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• 유체기계공업학회 2002년도 유체기계 연구개발 발표회 논문집
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• pp.482-485
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• 2002

Development projects in KAIST rotted to the micro thermal device is introduced. Multi disciplinary research team is composed by combustion group and semiconductor group in KAIST and catalyst research center in KRICT to develop micro thermal/fluidic device and various items are on development. Among the projects, various kind of componenst that is required by the micro thermal devicesystem is introduced. Technology related to development of micro combustor, Micro igniter, micro fabrication of 3D structure, micro reactor and micro catalyst preparation is introduced.

• 한국정밀공학회:학술대회논문집
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• 한국정밀공학회 2002년도 춘계학술대회 논문집
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• pp.497-502
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• 2002

This paper describes a design methodology of a tri-axial silicon-based farce sensor with square membrane by using micromachining technology (MEMS). The sensor has a maximum farce range of 5 N and a minimum force range of 0.1N in the three-axis directions. A simple beam theory was adopted to design the shape of the micro-force sensor. Also the optimal positions of piezoresistors were determined by the strain distribution obtained from the commercial finite element analysis program, ANSYS. The Wheatstone bridge circuits were designed to consider the sensitivity of the force sensor and its temperature compensation. Finally the process for microfabrication was designed using micromachining technology.

• 한국정밀공학회:학술대회논문집
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• 한국정밀공학회 1995년도 추계학술대회 논문집
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• pp.1063-1066
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• 1995

This paper presents a precition control of an electrostatic microactuator. For the generation of sufficient electrostatic force, a donse comb-type electrostatic microactuator is designed and manufactureed via MEMS (micro-electro-mechanical systems) process. The nonlinear plant and the linear plant of the microactuator are established through the comparison of experimental results and simulation results. A feedforward controller is designed via MATLAB simulation using the inverse function of the nonlinear plant. the experiment for the precise position tracking control is undertaken to show the control efficiency of the proposed controller.

• 한국정밀공학회:학술대회논문집
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• 한국정밀공학회 2002년도 추계학술대회 논문집
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• pp.1029-1032
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• 2002

This paper describes a design of a tactile sensor, which can measure three components force and temperature due to thermal conductive. The bio-mimetic tactile sensor, alternative to human's finger, is comprised of four micro force sensors and four thermal sensors, and its size being 10mm$\times$10mm. Each micro force sensor has a square membrane, and its force range is 0.1N - 5N in the three-axis directions. On the other hand, the thermal sensor for temperature measurement has a heater and four temperature sensor elements. The thermal sensor is designed to keep the temperature. $36.5^{\circ}C$, constant, like human skin, and measure the temperature $0^{\circ}C$ to $50^{\circ}C$. The MEMS technology is applied to fabricate the sensing element of the tactile sensor.

• 한국정밀공학회지
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• 제21권9호
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• pp.21-25
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• 2004

최근 국가의 10대 신성장 동력산업에 포함 되어 있는 RT(robot technology)는 향후 포스트 반도체산업의 중요한 산업으로 국내 경제를 활성화 시키는 원동력이 될 것으로 전망된다. 이와 더불어 향후에는 현재의 산업용 로봇이 아닌 감각과 지능을 가진 인간친화적인 로봇이 출현할 것으로 기대된다. 즉 주변 환경을 인지하여 정보를 획득하고 지능적 판단, 행위 및 상호작용을 통하여 인간을 지원하는 지능형 로봇은 인간과의 상호작용을 통하여 감성을 이해하며 서비스 제공, 인간의 동작이나 작업을 지원 그리고 위험작업 수행, 인간이 불가능한 작업을 대신 할 수 있을 것이다. (중략)