• 제목/요약/키워드: 마이크로 전자기계시스템

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마이크로채널 내 블록의 정렬과 구조변경에 따른 교반특성 (A Numerical Study on Stirring Characteristics in a Microchannel with Various Arrangement of Blocks)

  • 서용권;허형석
    • 대한기계학회논문집B
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    • 제27권7호
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    • pp.901-908
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    • 2003
  • Numerical study on stirring characteristics in a microchannel with blocks arranged periodically has been performed. Viscous flows through the microchannel is simulated three-dimensionally using a commercial code, FLUENT 6.0. Focus is given to the effect on the stirring characteristics of the geometric factors including the pitch, height and angle of the block arrangement. The numerical results at low Reynolds numbers show that the particles' trajectories in the microchannel heavily depend on the block arrangement. A nonlinear dynamical tool, i.e. Lyapunov exponent, was used in analysing the mixing effect. It was found that the mixing is the most effective at a certain combination of parameter values.

MEMS 공정에서의 자기 조립 단분자층 기술 응용 (Applications of Self-assembled Monolayer Technologies in MEMS Fabrication)

  • 이우진;이승민;강승균
    • 마이크로전자및패키징학회지
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    • 제30권2호
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    • pp.13-20
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    • 2023
  • 마이크로 전자기계 시스템 공정에서 표면 처리는 공정 방법의 일환이자 디바이스에 자체적인 기능을 부여하는 역할을 한다. 특히 자기 조립 단분자층은 마이크로 전자기계 시스템 공정에서 표면 개질 및 기능화를 수행하는 표면처리 방법으로 침지 시간과 용액 농도에 따라 강도를 정밀하게 조절할 수 있는 유기 단분자막이다. 고분자 기판이나 금속/세라믹 부품에 자발적으로 흡착되어 형성되는 자기 조립 단분자층은 표면 특성의 개질 뿐만 아니라 나노스케일 단위의 높은 정밀도로 하여금 양산용 리소그래피 기술 및 초민감 유기/생체분자 센서에도 응용되고 있다. 본 논문에서는 마찰 특성의 조절부터 생체 분자의 탐침 기능까지 자기 조립 단분자층 기술이 발전되어 응용되고 있는 다양한 분야들에 대해 소개한다.

세라믹 재료를 이용한 MEMS 센서

  • 양상식
    • 세라미스트
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    • 제7권3호
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    • pp.21-27
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    • 2004
  • MEMS(Micro Electro Mechanical Systems)는 초소형 구조물의 제작 기술인 마이크로머시닝 기술을 이용하여 제작되는 초소형 전자기계 시스템을 말한다. 최근 10여 년간 MEMS 기술이 상당히 진척되었고 다양한 마이크로머시닝 기술이 개발되었다. 이에 따라 이를 이용하여 다양한 MEMS 소자의 개발이 이루어지고 있다. 그 중에서도 MEMS 센서는 비교적 간단한 제작 공정과 작은 크기, 그리고 저비용으로 인하여 상품화가 쉽게 이루어지고 있다. (중략)

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정전기력을 받는 마이크로 외팔보의 동적 해석 (Dynamic Analysis of Micro Cantilever Beams Undertaking Electrostatic Forces)

  • 정강식;문승재;유홍희
    • 한국소음진동공학회:학술대회논문집
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    • 한국소음진동공학회 2004년도 춘계학술대회논문집
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    • pp.315-319
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    • 2004
  • Static and dynamic responses of micro cantilever beam structures undertaking electrostatic forces are obtained employing Galerkin's method based on Euler beam theory. Variations of static and dynamic responses as well as resonant frequencies are estimated for several sets of beam properties and applied voltages. It is shown that the applied voltage influences the deflection and the modal characteristics significantly. Such information can be usefully employed for the design of MEMS structures.

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한 쌍의 실린더를 가지는 점성구동 마이크로 펌프의 성능 해석 (Performance Analysis of the Viscous-driven Micropump with Tandem Rotating Cylinders)

  • 최형일;조성찬;맹주성
    • 대한기계학회논문집B
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    • 제27권9호
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    • pp.1256-1261
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    • 2003
  • Since the viscous effect increases as the size of device decreases, viscous-driven micropump is a promising mechanism in microscale applications. In the present study, a dual-rotor type pump which contains two counter-rotating cylinders for improving performance characteristics is proposed. First, for flows in the single-rotor type pump, the present unstructured grid simulation method is validated by comparing its results to the previous results. Next, the performance of the dual-rotor type pump is evaluated by the parametric studies and is compared to that of the previous single-rotor type pump. The flow characteristics are qualitatively similar to those of single-rotor type pump. However, the performance of the micropump with tandem rotors is still better than that of previous pumping type, e.g. much larger flow rate, smaller driving region, higher efficiency, and wider operation range.

마이크로 드릴비트 연마 시스템 연삭휠의 마모 진단 연구 (A Study on the Wear Condition Diagnosis of Grinding Wheel in Micro Drill-bit Grinding System)

  • 김민섭;허장욱
    • 한국기계가공학회지
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    • 제21권3호
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    • pp.77-85
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    • 2022
  • In this study, to diagnose the grinding state of a micro drill bit, a sensor attachment location was selected through random vibration analysis of the grinding unit of the micro drill-bit grinding system. In addition, the vibration data generated during the drill bit grinding were collected from the grinding unit for the grinding wheels under the steady and worn conditions, and data feature extraction and dimension reduction were performed. The wear of the micro-drill-bit grinding wheel was diagnosed by applying KNN, a machine-learning algorithm. The classification model showed excellent performance, with an accuracy of 99.2%. The precision, recall and f1-score were higher than 99% in both the steady and wear conditions.

미소 외팔보의 동적해석 시 작용하는 힘들의 영향도에 관한 연구 (Study on the Influence of Applied Forces Acting on Small Scale Cantilever Beams)

  • 김관용;유홍희
    • 한국소음진동공학회:학술대회논문집
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    • 한국소음진동공학회 2005년도 추계학술대회논문집
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    • pp.702-707
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    • 2005
  • The equations of motion of the structure, which is a small scale cantilever beam considering electrostatic force, squeeze film damping and van der Waals force are obtained employing Galerkin's method based on Euler beam theory. The influence of each force is investigated fur changing the size of a small scale cantilever beam which assumed uniform shape. Also the forces which are affected by the required size of a small scale cantilever beam for manufacturing are forecasted.

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가변속 엔진을 적용한 선박 DC 마이크로그리드 (Ship DC Microgrid with Variable Speed Genset)

  • 최세화;손영광;설승기
    • 전력전자학회:학술대회논문집
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    • 전력전자학회 2016년도 전력전자학술대회 논문집
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    • pp.233-234
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    • 2016
  • 본 논문에서는 소형 어선의 전기 시스템을 DC 마이크로그리드의 관점에서 설계하고, 선박의 동력원인 엔진-발전기를 가변속 제어함으로써 선박 전력 계통의 효율을 개선하고자 한다. 선박 전력 계통은 물리적으로 육지 계통과 분리된 마이크로그리드의 형태를 갖추고 있다. 때문에 소형 기계 추진 어선의 경우, 추진을 위한 엔진뿐만 아니라 추가적으로 선내 전력을 공급하기 위한 엔진-발전기를 갖출 필요가 있다. 이에 반해 전기 추진 어선은 하나의 엔진-발전기 세트로 추진과 선내 전력 공급이 모두 가능하다. 하지만 어선이 정지 상태에서 조업을 할 때에 전력 부하량이 작기 때문에 엔진의 저부하 운전 문제가 발생한다. 본 논문에서는 이를 해결하기 위하여, DC마이크로그리드를 어선에 적용하여 엔진 가변속을 적용하고자 한다. 통상적으로 20% 내외의 부하율로 운용되는 엔진에 가변속 제어를 적용하면 20% 이상의 연비 개선 효과를 기대할 수 있다. 이러한 DC마이크로그리드 어선의 연비 개선 효과를 항해와 조업으로 구분하여 시뮬레이션을 통해 예측하였다.

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ODN제조 공정 정밀도 향상을 위한 진직도 측정시스템 개발 (Development of Straightness Measurement System for Improving Manufacturing Process Precision)

  • 김응수
    • 마이크로전자및패키징학회지
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    • 제26권1호
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    • pp.17-21
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    • 2019
  • 본 논문에서는 공작기계 등에서 필요로 하는 진직도 측정시스템을 가시광의 레이저와 CMOS 이미지센서를 사용하여 저가로 구현하였다. CMOS 이미지센서를 이용하여 광이미지를 검출하고 영상처리를 통해 진직도 변화를 계산하였다. 레이저와 이미지센서의 거리를 3m로 하여 실험한 진직도 측정에서 오차가 0.9%로 우수함을 확인하였으며, 제작된 진직도 시스템은 3D 프린터 등 다른 응용분야에서도 사용 할 수 있을 것으로 생각된다.

PDMS 마이크로채널 유체유동에 미치는 표면거칠기에 관한 연구 (Effects of the surface roughness on Flow Characteristics in PDMS Microchannels)

  • 김영민;김우승;이상훈;백주열
    • 대한기계학회:학술대회논문집
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    • 대한기계학회 2004년도 춘계학술대회
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    • pp.1999-2004
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    • 2004
  • Experiments were conducted to investigate the flow characteristics of water through rectangular PDMS microchannels with a hydraulic diameter ranging from 66.67 to 200 ${\mu}m$. In the experiments, the flow rate and pressure drop across the microchannels were measured at steady states. The experimental results were compared with the predictions from the conventional laminar flow theory. A significant difference between the experimental data and the theoretical predictions was found. Experimental results indicate that the pressure gradient and flow friction in microchannels are higher than those from the conventional laminar flow theory. This may be attributed to the fact that there exists effect of surface roughness of the microchannels. In this study, a surface roughness model is implemented to interpret the experimental data. A good agreement between the experimental data and the numerical predictions with a surface roughness model were found.

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