Surface Micromachining for the Micro-heater Fabrication of Gas Sensors (가스 센서용 마이크로 히터의 표면 마이크로머시닝 기술)
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- Proceedings of the Korean Institute of Electrical and Electronic Material Engineers Conference
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- 한국전기전자재료학회 2006년도 하계학술대회 논문집 Vol.7
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- pp.352-353
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- 2006