• Title/Summary/Keyword: 마이크로빔

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Fs-THz beam line electron accelerator of pulse modulator design and fabrication (펨토 초-테라헤르츠 빔 라인용 펄스 모듈레이터의 설계와 제작)

  • Son, Yoon-Kyoo;Kwon, Sei-Jin;Suh, Jae-Hak;Jang, Sung-Duck;Kang, Heung-Sik;Lee, Kyung-Tae;Ro, Sung-Chae
    • Proceedings of the KIEE Conference
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    • 2008.07a
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    • pp.1322-1323
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    • 2008
  • 기존의 펨토 초 레이저를 이용하여 발생시킨 테라 헤르츠 광원의 한계를 극복하기 위하여 대용량의 가속기를 이용한 테라 헤르츠 광원의 발생에 관한 연구가 활발히 진행되고 있다. 포항방사광 가속기연구소에서도 펨토 초 테라 헤르츠 빔을 이용한 분광학적인 방법을 사용하여 단백질 접힘과 DNA-단백질 간 상호작용, 화학적, 생물학적인 반응 동력학 등에 관한 연구와 영상 기술개발 등을 할 계획을 가지고 펨토초 테라 헤르츠 빔 라인을 건설 중에 있다. 펨토 초-테라 헤르츠 빔 라인의 마이크로웨이브를 가속하는 장치에 사용되는 전원장치의 설계와 제작 및 시험과정을 외국기술에 의존하지 않고 순수 국내기술로 실현하였다. 본 논문에서는 펄스 모듈레이터의 설계와 실험결과를 보이고자 한다.

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Painless Microjet Injector Using Laser Pulse Energy (레이저 펄스 에너지를 이용한 무통증 마이크로젯 약물전달시스템)

  • Yoh, Jai-Ick;Han, Tae-Hee;Hah, Jung-Moo
    • Transactions of the Korean Society of Mechanical Engineers B
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    • v.35 no.5
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    • pp.547-550
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    • 2011
  • We have developed a laser-based needle-free liquid drug-injection device. A laser beam is focused inside the liquid contained in the rubber chamber of a micro-scale. The focused laser beam causes explosive bubble growth, and the sudden volume increase in a sealed chamber drives a microjet of liquid drug through the micronozzle. The exit diameter of a nozzle is less than 100 ${\mu}m$, and we verify that the injected microjet is fast enough to penetrate soft human tissue. In the experiment, the microjet penetrated a 5% gelatin-water solution that replicates the human thrombus and pork-fat tissue.

Fabrication of InP-Based Microstructures for III- V Compound Semiconductor Micromachining (III-V 화합물 반도체 마이크로머시닝을 위한 InP를 기반으로 한 미세구조의 제조에 관한 연구)

  • 심준환;노기영;이종현;황상구;홍창희
    • Journal of the Korea Institute of Information and Communication Engineering
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    • v.4 no.5
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    • pp.1151-1156
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    • 2000
  • In this paper, we report a fabrication of InP-based microstructurs for III-V compound semiconductor micromachining. Vertical liquid phase epitaxy(LPE) system was used in order to grow the InP/lnGaAsP/InP layers. The thicknesses of InP top-layer and InGaAsP were $1\mum \;and \;0.4\mum$, respectively. The fabrication of InGaAsP microstructures involves front-side bulk micromachining. The experimental result showed the beams must be carefully aligned in the <100> direction since the etching of the beam in the <100> direction is more faster than that of the beam in the <110> and <110> direction.

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Fabrication of InP-Based Microstructures for 111- V Compound Semiconductor Micromachining (III-V 화합물 반도체 마이크로머시닝을 위한 InP를 기반으로 한 미세구조의 제조에 관한 연구)

  • 노기영;이종현;김정호;황상구;홍창희;심준환
    • Proceedings of the Korean Institute of Information and Commucation Sciences Conference
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    • 2000.05a
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    • pp.447-450
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    • 2000
  • In this paper, we report a fabrication of InP-based microstructurs for III-V compound semiconductor micromachining. Vertical liquid phase epitaxy(LPE) system was used in order to grow the Inp/InGaAsP/InP layers. The thicknesses of InP top-layer and InGaAsP were 1$\mu\textrm{m}$ and 0.4$\mu\textrm{m}$ respectively. The fabrication of InGaAsP microstructures involves front side bulk micromachining. The experimental result showed the beams must be carefully aligned in the <110> direction since the lateral etching of the beam in the <110> direction is more faster than that of the beam in the <100> direction.

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Direct Etching of Polymethyl methacrylate (PMMA) for Microchannels (Polymethyl methacrylate (PMMA)의 마이크로 채널 형성을 위한 레이저의 직접식각)

  • Shin, Sung-Kwon;Choi, Yong-Jin;Lee, Cheon
    • Proceedings of the KIEE Conference
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    • 2007.07a
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    • pp.286-287
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    • 2007
  • 본 논문에서는 최근 유체소자 재료로써 많이 사용되고 있는 polymethyl methacrylate (PMMA)의 레이저 직접식각에 관한 특성을 나타내었다. 식각을 위한 레이저 원으로 기본파가 1064 nm, 반복율이 10 Hz인 Nd:YAG 레이저의 4고조파 성분 ($\lambda$=266 nm)을 사용하였다. X-Y-Z 축으로 이동 가능한 스테이지의 수평 이동속도를 변화시키며, 표면으로 조사되는 펄스 수를 제어하였다. 식각 후 광학현미경으로 식각 단면을 조사하여 식각 깊이와 폭을 측정하였다. 측정된 식각 깊이로부터 식각률을 계산하고, 그 값과 레이저 빔 밀도와의 관계를 알아보았다. 그 결과 시료 표면에 조사되는 레이저 빔 밀도의 로그값과 선형적인 관계를 갖는 것을 확인할 수 있었다. 또한 주사전자현미경을 이용하여 채널 형상 및 채널 내벽을 관찰하였다. 마이크로 채널 내벽에 식각 과정에서 발생한 생성물의 제거를 위해, 레이저 식각과 함께 질소가스 블로잉을 해주었다. 질소 블로잉 압력 1500 torr에서 식각 잔유물이 제거된 내벽을 볼 수 있었다. 실험결과, Nd:YAG 4고조파를 이용하여 PMMA 기판상에 유체 이동을 위한 마이크로 채널을 형성시킬 수 있었다.

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Metamaterial Beamforming Array Antenna Feeds for Anti-Jamming Functions of GPS Signal (GPS신호 항재밍 특성을 위한 수신용 메타재질 급전구조 빔조향 배열 안테나의 설계)

  • Park, Heejun;Han, Dajung;Lee, Changhyeong;Kahng, Sungtek
    • Journal of Satellite, Information and Communications
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    • v.12 no.1
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    • pp.13-17
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    • 2017
  • This paper presents an approach to enable a typical GPS receiver to be much less susceptible to intentional disruption such as jamming and change in link environment. In order for the GPS receiver to cope with jamming and to get adaptivity, a $4{\times}4$ beamforming antenna is designed using metamaterials. The design results show the antenna gain much higher than 5 dBi and the movable beam.