R-plane (1102) 사파이어 기판위에 rf-마그네트론 스퍼터링 방법으로 성장된 고품위 non-polar 산화아연 박막

• 황대규;오민석;최용석;조주영;박성주
• • 한국진공학회:학술대회논문집
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  • 한국진공학회 2008년도 제34회 동계학술대회 초록집
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  • pp.273-273
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  • 2008
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반응성 RF 마그네트론 스퍼터링으로 증착한 AlN 박막의 기판 온도 변화에 따른 특성 분석

• 김병균;이을택;박재경;정석원;노용한
• • 한국진공학회:학술대회논문집
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  • 한국진공학회 2008년도 제34회 동계학술대회 초록집
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  • pp.355-355
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  • 2008
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펄스 마그네트론 스퍼터링 소스에서 time-resolved cutoff probe 진단과 플라즈마의 Loss 특성, Modified Global Model을 이용한 박막에 가해지는 ion energy flux density의 분석

• 인정환;나병근;장홍영;한전건
• • 한국진공학회:학술대회논문집
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  • 한국진공학회 2008년도 제34회 동계학술대회 초록집
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  • pp.205-205
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  • 2008
• PDF

RF/DC 마그네트론 스퍼터링에 의해 제조된 TiO$_2$박막의 광학적, 구조적 특성 (Optical and Structural Properties of TiO$_2$Thin Films Prepared by RF/DC Magnetron Sputtering)

• 류승완;김동진;김의정;고승국;한성홍
• • 한국광학회:학술대회논문집
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  • 한국광학회 2001년도 하계학술발표회
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  • pp.40-41
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  • 2001
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고주파 마그네트론 동시-스퍼터링을 이용한 M/TiO$_2$ 박막의 광학적, 구조적, 광촉매 특성 (Optical, Structural and Photocatalytic Properties of M/TiO$_2$ Thin Films by RF Magnetron Co-sputtering)

• 김상철;한성홍;김의정
• • 한국광학회:학술대회논문집
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  • 한국광학회 2004년도 제15회 정기총회 및 동계학술발표회
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  • pp.206-207
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  • 2004
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RF마그네트론 스퍼터를 이용한 텅스텐-텔루라이트유리박막의제조및광학적특성평가 (Fabrication of Tungsten - Tellurite Glass Thin Filmsusing Radio Frequency Magnetron Sputtering Methodand Optical Property Characterization)

• 유기영;김영만;문종하;김진혁
• • 한국광학회:학술대회논문집
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  • 한국광학회 2004년도 제15회 정기총회 및 동계학술발표회
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  • pp.120-121
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  • 2004
• PDF

고주파 마그네트론 스퍼터링에 의해 제조된 (100)Co/Cu 다층박막의 자기저항 특성에 관한 연구 -Cu 바닥층과 Co 자성층의 영향 (A Study on the magnetoresistive properties of (100)Co/Cu multilayers prepared by rf-magnetron sputtering -Effect of Cu underlayer and Co magnetic layer)

• 민경익;주승기
• • 한국자기학회:학술대회 개요집
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  • 한국자기학회 1993년도 춘계연구발표회 논문개요집
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  • pp.20-21
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  • 1993
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듀얼 펄스 마그네트론 스퍼터링 방법으로 합성된 ITO 박막의 특성 고찰

• 김성일;진수봉;김연준;최윤석;최인식;한전건
• • 한국진공학회:학술대회논문집
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  • 한국진공학회 2008년도 제35회 하계학술대회 초록집
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  • pp.118-118
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  • 2008
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DC 마그네트론 스퍼터링으로 플리머 기판에 합성된 탄소 배리어 박막의 특성에 대한 고찰

• 진수봉;김성일;최윤석;최인식;한전건
• • 한국진공학회:학술대회논문집
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  • 한국진공학회 2008년도 제35회 하계학술대회 초록집
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  • pp.255-255
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  • 2008
• PDF

RF 마그네트론 스퍼터 기법에 의해 제조된 nc-Si의 나노구조 및 광학적 특성 (Investigation of the Nano-structural and Optical Features of nc-Si Films Grown by RF Magnetron Sputter Techniques)

• 한규호;박명범;조남희
• • 한국세라믹학회:학술대회논문집
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  • 한국세라믹학회 2002년도 추계총회 및 연구발표회 초록집
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  • pp.114.2-114
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  • 2002
• PDF

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