듀얼 펄스 마그네트론 스퍼터링 방법으로 합성된 ITO 박막의 특성 고찰

• 김성일 (성균관대학교 플라즈마 응용 표면기술 연구센터) ;
• 진수봉 (성균관대학교 플라즈마 응용 표면기술 연구센터) ;
• 김연준 (성균관대학교 플라즈마 응용 표면기술 연구센터) ;
• 최윤석 (성균관대학교 플라즈마 응용 표면기술 연구센터) ;
• 최인식 (성균관대학교 플라즈마 응용 표면기술 연구센터) ;
• 한전건 (성균관대학교 플라즈마 응용 표면기술 연구센터)

• Kim, Seong-Il ;
• Jin, Su-Bong ;
• Kim, Yeon-Jun ;
• Choe, Yun-Seok ;
• Choe, In-Sik ;
• Han, Jeon-Geon

• 발행 : 2008.08.20

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