• Title/Summary/Keyword: 로 공정제어

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Ultra precise actuator fabrication for probe-based data storage by MEMS process (MEMS 공정을 이용한 탐침형 정보저장장치 제어용 초정밀 구동기 제작)

  • Cho, Jin-Woo;Lee, Kyung-Il;Kim, Sung-Hyun;Choi, Young-Jin
    • Proceedings of the KIEE Conference
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    • 2003.07c
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    • pp.1903-1905
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    • 2003
  • 전자기력을 이용하여 탐침형 정보저장장치의 미디어를 제어할 수 있는 초정밀 구동기를 제작하였다. 탐침형 정보저장장치는 데이터 비트의 크기가 10nm 수준이고, 단일 캔틸레버가 점유하는 영역의 크기가 수십 ${\mu}m$${\times}$수십${\mu}m$ 수준이므로, 미디인 구동기는 수 nm의 위치 정확도 및 수십 ${\mu}m$ 수준의 변위 그리고 100Hz이상의 공진 주파수를 확보하여야한다. 본 연구에서 제작한 탐침형 정보저장장치의 미디어 구동기는 고저항 Si wafer 표면을 Deep RIE로 patterning한 후 그 내부를 도금으로 채워 구리 코일을 형성하고 이를 영구자석과 결합시킨 후, 구리 코일에 전류를 흘려 미디어를 구동하는 방식이다. 사용된 영구자석은 SmCo 자석이며 코일의 폭은 $100{\mu}m$이고 간격은 $20{\mu}m$, 높이는 $70{\mu}m$로 결정하였으며, 100Hz 이상의 공진 주파수를 확보하기 위하여 스프링 재질은 구리보다 상대적으로 stiff한 Si을 사용하였다. 미디어의 크기는 $20{\times}20mm^2$, 전체 구동기의 크기는 $30{\times}30mm^2$이며 측정결과 최대변위는 140mA 인가 시 약 ${\pm}127{\mu}m$이다.

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Estimation of Hardware Sizing in Korean EMS System (한국형 EMS 하드웨어 Sizing 산정에 관한 연구)

  • Lee, Won-Sang;Lee, Hyo-Sang;Yi, Myoung-Hee;Kim, In-Hyun;Lee, Bong-Gil;Choi, Jin-Woo;Yeo, Hyun-Gu
    • Proceedings of the KIEE Conference
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    • 2007.07a
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    • pp.412-413
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    • 2007
  • 정보시스템의 개발 및 유지보수에 대한 기준은 과기처 등에서 제정한 'S/W 개발비 산정기준'을 준용하고 있다. 그러나 본 기준이 Business Computing 환경을 기준으로 작성되었고, 전력계통 제어를 비롯한 각종 공정제어시스템 구축 환경에 부적합할 뿐 아니라 시스템의 뼈대(Frame)를 구성하는 H/W의 규모 산정이 누락되어 있는 상태이다. 전력거래소는 우리나라의 전력계통 환경에 적합한 한국형 에너지관리시스템(이하 K-EMS)의 국산화 개발을 각종 첨단 S/W의 탑재 기준에 따라 단계별(Baseline, Prototype, Fullscale)로 추진하면서, 각 단계에 가장 적합한 하드웨어의 용량 산정 기준을 선정하는 작업을 진행하고 있다. 이는 정보시스템 개발에서 자원의 낭비를 최소화하고 전체 개발비용을 절감 할 수 있다는 점에서 매우 중요하다. 본 연구에서는 K-EMS 시스템 국산화 개발을 위해 K-EMS가 수용할 각종 응용프로그램별 특성을 감안한 하드웨어의 적정 용량 산정 기준과 적용방안을 제시하고, CPU, Memory 등 세부 항목에 대한 고려항목을 언급함으로써 최적의 K-EMS 하드웨어 Sizing 산정방안을 소개하고자 한다.

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Membrane Based Recovery of Valuable Lithium Metals from Lithium Ion Battery Waste (리튬이온전지 폐기물로부터 가치 있는 리튬금속을 멤브레인 기반으로 회수)

  • Togzhan Tangbay;Rajkumar Patel
    • Membrane Journal
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    • v.34 no.3
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    • pp.163-171
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    • 2024
  • Growing demand on clean energy to control environmental pollution is growing rapidly. Rechargeable battery such as lithium ion battery is excellent source of clean energy but there is rapid depletion of lithium metal due to high demand and supply mismatch. Recovery of the precious metal from the battery waste is one of the possible solution along with the environmental pollution control. Membrane based separation method is highly successful commercial process available to recover lithium from the waste. This work will cover various methods reported recently and will be compiled in the form of a review.

진공 플라즈마 용사코팅시 분말 이송가스 유량이 적층효율에 미치는 영향

  • Jeong, Yeong-Hun;Nam, Uk-Hui;Byeon, Eung-Seon
    • Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference
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    • 2014.02a
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    • pp.161-161
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    • 2014
  • 열플라즈마는 주로 아크 방전에 의해 발생시킨 전자, 이온, 중성입자(원자 및 분자)로 구성된 부분 이온화된 기체로, 국소열평형상태를 유지하여 구성입자가 모두 수천에서 수만도에 이르는 같은 온도를 갖는 고속의 제트 화염 형태를 이루고 있다. 이렇게 고온, 고열용량, 고속, 다량의 활성입자를 갖는 열플라즈마의 특성을 이용하여, 종래 기술에서는 얻을 수 없는 다양하고 효율적인 산업적 이용이 활발히 진행되고 있다. 용사코팅은 노즐 출구를 통해서 외부로 방출되는 열 플라즈마 화염을 이용하는 것으로 이 화염의 와류 특성으로 인하여 외기의 가스가 화염내부로 침투하는 특성을 가진다. 이러한 현상은 열원의 냉각효과 외에도 외기를 구성하는 기체 분자의 내부 유입을 의미하는 것으로 대기 상태에서 공정이 이루어진다면 열원 내로 유입되는 대기 내의 산소가 모재 표면과 반응하여 산화가 진행된다. 이러한 산화과정은 용사 코팅의 품질을 저하시키는 요인이 되므로, W, Ti 등과 같은 반응성이 높은 재료의 코팅은 산화과정을 방지하기 위하여 진공에서 코팅을 하여야만 한다. 진공 플라즈마용사코팅은 진공 또는 저압의 불활성 분위기 중에서 열플라즈마 화염에 용사재료를 투입하여 플라즈마 화염 내부에서 순간적으로 이를 용융시킨 후 고속으로 분출, 모재에 적층시키는 코팅공정이다. 이때 분말상의 용사재료를 고속으로 화염 중심에 투입하여 최대 에너지 전달이 이루어지도록 하는 것이 적층효율 및 코팅품질을 향상에 필수적이다. 하지만 플라즈마 화염 내부를 고속으로 이동하는 입자의 온도와 속도 및 궤적을 측정하여 제어하는 것은 매우 어렵기 때문에, 통상 형성된 코팅의 구조와 두께로부터 경험적으로 파라미터를 결정하는 것이 일반적이다. 본 연구에서는 초고속 레이저 카메라와 이미지 분석용 소프트웨어를 이용하여 플라즈마 화염내의 비행입자 궤적을 추적하고, 이를 통해 분말 이송가스의 유량이 코팅 효율 및 미세구조에 미치는 영향을 조사하였다. 플라즈마 화염은 중심부가 가장 높은 온도와 속도를 가지고 있기 때문에, 분말 이송가스의 유량이 적을 경우 투입된 분말은 단지 플라즈마 화염의 상부 경계면을 지나는 궤적을 갖게된다. 이로 인해 분말의 용융이 충분히 이루어지지 않아 적층 효율이 낮고 미용융 입자 및 기공이 많은 미세구조를 보였다. 이송가스 유량을 증가시키게 되면, 분말의 궤적은 플라즈마 화염의 중심부를 지나게 되어 적층 효율이 증가하고 미세구조 또한 개선되었다. 하지만 이송가스 유량이 지나치게 클 경우, 투입된 분말 입자는 플라즈마 화염을 조기에 관통하게 되어 비행궤적은 온도와 속도가 낮은 영역에 형성되었다.

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Formation Characteristics and Control of Disinfection Byproducts in a Drinking Water Treatment Plant Using Lake Water (호소수를 원수로 사용하는 정수장의 소독부산물 생성 특성 및 제어 방안)

  • Lee, Kichang;Gegal, Bongchang;Choi, Ilhwan;Lee, Wontae
    • Journal of Korean Society of Environmental Engineers
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    • v.37 no.5
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    • pp.269-276
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    • 2015
  • This study investigated the influence of characteristics of natural organic matter (NOM) on the formation of disinfection by-products (DBPs), and proposed the control strategies of DBPs formation in a drinking water treatment plant using lake water in Gyeongsangbuk-do. The fluorescence excitation-emission matrix analysis results revealed that the origins of NOM in raw waters to the plant were a mixture of terrestrial and microbial sources. Molecular size distributions and removals of NOM fractions were evaluated with a liquid chromatography-organic carbon detector (LC-OCD) analysis. Humic substances and low molecular weight organics were dominant fractions of NOM in the raw water. High molecular weight organics were relatively easier to remove through coagulation/precipitation than low molecular weight organics. The concentrations of DBPs formed by pre-chlorination increased through the treatment processes in regular sequence due to longer reaction time. Chloroform (74%) accounts for the largest part of trihalomethanes, followed by bromodichloromethane (22%) and dibromochloromethane (4%). Dichloroacetic acid (50%) and trichloroacetic acid (48%) were dominant species of haloacetic acids, and brominated species such as dibromoacetic acid (2%) were minimal or none. Dichloroacetonitrile (60%) accounts for the largest part of haloacetonitriles, followed by bromochloroacetonitrile (30%) and dibromoacetonitrile (10%). The formation of DBPs were reduced by 16~44% as dosages of pre-chlorine decreased. Dosages of pre-chlorine was more contributing to DBPs formation than variations of dissolved organic contents or water temperature.

Thermoelectric Properties of the Reaction Sintered n-type β-SiC (반응소결법으로 제조한 n형 β-SiC의 열전특성)

  • Pai, Chul-Hoon
    • Journal of the Korea Academia-Industrial cooperation Society
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    • v.20 no.3
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    • pp.29-34
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    • 2019
  • Silicon carbide is considered to be a potentially useful material for high-temperature electronic devices, as its large energy band gap and the p-type and/or n-type conduction can be controlled by impurity doping. Particularly, electric conductivity of porous n-type SiC semiconductors fabricated from ${\beta}-SiC$ powder at $2000^{\circ}C$ in $N_2$ atmosphere was comparable to or even larger than the reported values of SiC single crystals in the temperature region of $800^{\circ}C$ to $1000^{\circ}C$, while thermal conductivity was kept as low as 1/10 to 1/30 of that for a dense SiC ceramics. In this work, for the purpose of decreasing sintering temperature, it was attempted to fabricate porous reaction-sintered bodies at low temperatures ($1400-1600^{\circ}C$) by thermal decomposition of polycarbosilane (PCS) impregnated in n-type ${\beta}-SiC$ powder. The repetition of the impregnation and sintering process ($N_2$ atmosphere, $1600^{\circ}C$, 3h) resulted in only a slight increase in the relative density but in a great improvement in the Seebeck coefficient and electrical conductivity. However the power factor which reflects the thermoelectric conversion efficiency of the present work is 1 to 2 orders of magnitude lower than that of the porous SiC semiconductors fabricated by conventional sintering at high temperature, it can be stated that thermoelectric properties of SiC semiconductors fabricated by the present reaction-sintering process could be further improved by precise control of microstructure and carrier density.

A Numerical Study on the Alignment of Surface Structures on Silicon-germanium Thin Films under a Localized Modulation of Surface Diffusivity (표면확산계수의 국부적 제어를 통한 실리콘-게르마늄 박막상 표면구조물의 정렬에 관한 수치해석적 연구)

  • Kim, Yun Young;Han, Bong Koo
    • Journal of the Computational Structural Engineering Institute of Korea
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    • v.28 no.1
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    • pp.79-83
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    • 2015
  • This paper presents a numerical study on the alignment of ridge-like surface structures evolving on silicon-germanium thin films under localized modulation of surface diffusivity. A situation is considered in which the surface diffusion of film material is selectively promoted such that its morphology is perturbed to periodic patterns. To simulate the growth behavior, a governing equation is formulated taking the surface chemical potential into account, and its solution is numerically sought using a finite-difference method. Results show that an initially planar surface coalesces upon the diffusivity modulation, and the surface structures can be aligned by changing the frequency of modulation condition. This research suggests a bottom-up fabrication technique that can manage the regularity of surface structures for thin film devices.

Design and Implementation of Low Power Touch Screen Controller for Mobile Devices (모바일용 저전력 터치 스크린 제어 회로 설계 및 구현)

  • Park, Sang-Bong
    • The Journal of the Institute of Internet, Broadcasting and Communication
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    • v.12 no.6
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    • pp.279-283
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    • 2012
  • In is paper, we design and implement the low power, high speed touch screen controller that calculates and outputs the coordinate of touch point on the touch screen of mobile devices. The system clock is 10HMz, the number of input channels is 21, standby current is $20{\mu}A$, dynamic range of input is 140pF~400pF and the response time is 0.1ms/frame. It contains the power management unit for low power, automatic impedance calibration unit in order to adapt to humidity, temperature and evaluation board, adjacent key and pattern interference suppression unit, serial interface unit of I2C and SPI. The function and performance is verified by using FPGA and $0.18{\mu}m$ CMOS standard process. The implemented touch screen is designed for using in the double layer ITO(Indium Thin Oxide) module with diamond pattern and single layer ITO module for cost-effective which are applied to mobile phone or smart remote controller.

Fabrication and Characteristics of Thermopneumatic-Actuated Polydimethylsiloxane microfluidic systems (Lab-on-a-chip과 m-TAS를 위한 미세 유체 시스템)

  • Moon, Min-Chul;Kim, Ju-Ho;Kim, Jin-Ho;Kang, C.J.;Kim, Yong-Sang
    • Proceedings of the KIEE Conference
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    • 2004.07c
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    • pp.2099-2101
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    • 2004
  • 본 연구에서 제안하는 마이크로 시스템은 열공압 방식으로 구동되고 제작비용이 저렴한 indium tin oxide (ITO) 및 polydimethylsiloxane (PDMS)로 제작되었다. 제안된 마이크로 밸브와 마이크로 펌프의 구조는 ITO 히터, SU-8 층, PDMS membrane, 그리고 PDMS 채널로 구성 되어 있다. 제안된 마이크로 펌프와 마이크로 밸브는 제작 공정 및 구조가 간단하고 값이 저렴하며, 마이크로 펌프와 마이크로 밸브를 같은 기판 위에 쉽게 직접화할 수 있는 장점을 가진다. 마이크로 밸브의 유량은 채널 폭에 비례하며 밸브가 closing 되는 전력은 채널의 폭과 상관없이 100 mW이다. 마이크로밸브의 ITO 히터의 온-오프에 따라 유량이 매우 잘 제어되었다. 제안된 마이크로 펌프의 경우, 히터의 인가 펄스 전압이 증가함에 따라 유량은 선형적으로 비례 증가함을 관찰할 수 있다. 마이크로 펌프의 최대 유량은 펄스 전압과 duty 비가 55V와 10%일 때 6 Hz에서 78 nl/min이 측정 되었다.

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Y2MoO6:RE3+(RE=Eu, Sm) 형광체 분말의 제조 및 특성

  • Lee, Jin-Hong;Jo, Sin-Ho
    • Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference
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    • 2015.08a
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    • pp.164-164
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    • 2015
  • 최근에 고효율의 적색 발광체를 개발하고자 무기물 모체에 다양한 활성제 이온을 주입하는 연구가 상당한 관심을 끌고 있다. 본 연구에서는 발광 효율이 높은 적색 형광체 분말을 제조하고자 두 종류의 활성제 이온 $Eu^{3+}$$Sm^{3+}$가 도핑된 $Y_2MoO_6$형광체 분말을 고체상태 반응법을 사용하여 전기로에서 $400^{\circ}C$에서 하소와 $1100^{\circ}C$에서 소결공정을 통하여 제조하였다. 활성제 이온의 몰 비에 따른 적색 형광체의 결정 구조, 발광과 흡광 스펙트럼을 조사하였다. 파장 299 nm로 여기 시킨 $Y_2MoO_6:Eu^{3+}$ 경우, 발광 세기가 가장 강한 611 nm의 주 피크를 방출하는 적색 스펙트럼이 관측되었으며, 함량이 0.01 mol에 0.2 mol로 증가함에 따라 611 nm의 주 적색 발광 스펙트럼의 세기가 증가하는 경향을 나타내었다. 파장 611 nm로 제어한 흡광 스펙트럼은 299 nm에 피크를 갖는 전하전달밴드 (CTB) 이었다 [그림 참조].

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