• Title/Summary/Keyword: 로 공정제어

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The change of internal stress of metal sputtering films with film thickness and deposition parameters (금속 스퍼터링 막의 두께와 공정 변수에 따른 내부응력 변화)

  • Song, Yeong-Sik;Im, Tae-Hong;Lee, Jae-Ho;Kim, Jong-Ryeol
    • Proceedings of the Korean Institute of Surface Engineering Conference
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    • 2014.11a
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    • pp.211-211
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    • 2014
  • 스퍼터링에 의한 박막의 형성에서 박막의 박리나 기판의 휨은 박막내의 내부 응력과 깊은 관련이 있다. 특히 Ti/TiN구조로 많이 사용되는 TiN은 반도체 barrier 층으로 사용이 되기도 하며 하드 코팅 재료로도 많은 연구가 이루어지고 있다. 특히 TiN에 존재하는 높은 압축응력은 연성기판재나 무른 금속재질의 기판을 휘게도 하며, 심할 경우 박막의 박리 현상이 자주 관찰된다. 이렇게 높은 스트레스를 제어하기 위한 기초 연구로 다양한 금속층 박막의 스트레스와 완화시키기 위한 공정 조건 및 스트레스 특성을 확인하였다.

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A Study on the Heat Mechanism of Electrolytic Capacitor and Burnout Pattern Analysis (전해 커패시터의 발열 메커니즘 및 소손 패턴 해석)

  • Choi, Chung-Seog;Park, Hyung-Ki
    • Proceedings of the Korea Institute of Fire Science and Engineering Conference
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    • 2011.11a
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    • pp.40-43
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    • 2011
  • 전해 커패시터의 발열 메커니즘 및 소손 패턴 해석에서 최초의 출화는 1차측 전원으로 확인되었다. 전해 커패시터 외부의 방폭캡이 탄화되었고, 인접한 기판에도 탄화된 흔적을 확인되었으나 극성의 역사용, 과전압의 인가 및 금속한 충전 및 방전 등은 없었다. 전해 커패시터 내부를 X-ray 분석한 결과 전극 및 극판에는 이상이 없는 것으로 확인되었다. 부품 사양에 제시된 하한사양한계(LSL)는 144[${\mu}F$], 상한사양한계(USL)는 216[${\mu}F$]이며, 소손된 전해 커패시터의 공정능력분포(Cpk)가 1.21로 분석된 것으로 보아 공정 개선이 필요한 것으로 판단된다. 전해커패시터의 발열 메커니즘은 AC 과전압의 인가, 서지의 유입, 내부 온도의 상승, 기밀불량 등에 의해 지배되는 것을 알 수 있었다. 전해 커패시터를 설계할 때 고려사항은 적절한 전압의 인가, 정확한 등가직렬저항(ESR)의 연결, 급속한 충전 및 방전의 제어, 충분한 유전정접의 여유(margin) 확보 등이 중요한 요소이다.

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A new polydimethylsiloxane microfluidic system integrated with micropump and microvalve (마이크로 펌프와 밸브가 집적된 polydimethylsiloxane microfluidic system)

  • Yoo, Jong-Chul;Moon, Min-Chul;Kim, Ju-Ho;Kang, C.J.;Kim, Yong-Sang
    • Proceedings of the KIEE Conference
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    • 2005.07c
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    • pp.2374-2376
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    • 2005
  • 본 연구에서 제안한 microfluidic system은 열공압 방식으로 구동되고 indium tin oxide (ITO) 및 polydimethylsiloxane(PDMS)로 제작하여 공정이 간단하고 비용이 저렴하여 일회용으로 사용이 가능하며 투명한 장점을 갖는다. 또한 마이크로 펌프는 인-채널 구조의 마이크로 밸브와 동일한 공정으로 제작하였다. 제안된 마이크로 펌프는 인-채널 구조의 마이크로 밸브와 같은 기판 위에 쉽게 집적하여 제작할 수 있다. 마이크로 펌프의 pumping rate는 인가 펄스 전압의 주파수와 duty비를 변화시켜 최적화하였다. Duty 비가 1%이고 주파수가 2 Hz일 때 최대 pumping rate를 보였으며 이때 pumping rate는 26.18nl/min이였다. 마이크로 밸브는 ITO 히터에 전력을 인가함으로서 유량의 on/off 제어가 잘 됨을 확인할 수 있었고 유체를 closing하기 위해 필요한 전력은 100mW이다.

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로터스 금속의 제조 기술 및 응용

  • Hyeon, Seung-Gyun
    • Proceedings of the Materials Research Society of Korea Conference
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    • 2012.05a
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    • pp.57.1-57.1
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    • 2012
  • 금속을 용해 응고시킬 때 생성되는 소위, 주조 결함이나 소결금속 내의 기공은 재료의 성능이나 강도를 현저하게 낮추는 결함으로서 예전부터 기피되어 왔다. 또한, 재료공정에 있어서도 여하의 기공이나 기포가 없는 치밀한 고강도 및 고기능성 재료를 개발하는 것에 최대한의 주의와 관심을 기울여 왔다. 반면에 자연계의 천연물이나 인공물을 둘러보면 그 대부분이 다공질임을 쉽게 눈치챌 수 있다. 예를 들어 목재, 지엽 등의 생물을 시작해서 콘크리트 등의 인공물, 우리 체내의 뼈도 전형적인 다공질구조로 구성되어 있다. 이러한 구조로부터 재료의 재질제어 이외에 구조제어라는 새로운 어프로치를 고려할 수 있고, 최근 들어, 금속재료에 있어서도 이러한 다공질 구조에 관한 연구가 활성화되어 충격흡수재, 생체재료, 베어링재료 등의 다양한 응용이 전개되고 있다. 원주상의 방향성 기공을 갖는 로터스 금속의 제조 원리는 용융금속의 높은 가스용해도와 고체금속의 낮은 가스고용도의 차이를 이용하여 응고할 때 고용되지 않는 가스원자가 기포를 형성시키는 것이다. 수소용해도는 모든 금속에 있어서 온도상승에 따라 증가하지만 융점에 있어서 용해도의 불연속적 증가를 나타내며 응고할 때 고액계면에서 다량의 가스를 방출하고 기공 생성을 야기한다. 특히, 고 액상에 있어서 수소용해도 차가 큰 마그네슘, 니켈, 철, 동 등은 기포를 생성하기 쉽다. 또한 기공의 배열구조를 제어하기 위해 일방향응고법를 이용하여 기공에 방향성을 부여한다. 외관상 기공구조가 연근뿌리를 닮은 것으로 부터 로터스 금속이라는 명칭이 널리 알려져 있다. 이와 같은 제조방법에 의해 로터스 금속은 기공 방향, 기공크기, 기공률을 자유롭게 제어할 수 있고 우수한 기계적 성질이 기존의 발포금속, 소결금속과 전혀 다른 특성을 가지고 있다. 이러한 기공구조는 용해온도, 응고속도, 분위기 가스압, 불활성가스와의 혼합체적비 등의 제어를 통해서 조절할 수 있다. 이와 같이 제조한 방향성 다공질금속은 BT (인플란트, 생체적합성, 저탄성, 경량), ST (초음속기엔진부품, 경량), IT (고성능수냉모듈), ET(고온촉매, 필터)의 분야로의 응용을 기대한다.

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Performance Lmprovements of Self-Similar Traffic Congestion Control of Multiple Time Scale Under in TCP-MT network (TCP-MT 네트워크에서 다중 시간 간격을 이용한 자기유사성 트래픽 혼잡제어 성능개선)

  • Na Ha-Sun;Kim Moon-Hwan;Ra Sang-Dong
    • The Journal of Korean Institute of Communications and Information Sciences
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    • v.30 no.12C
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    • pp.1239-1247
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    • 2005
  • It is important to improve TCP performance in Self-similar TCP network where signalling between the same end nodes through bidirectional traffic routes. In wireless link, the traffic limitation pattern occurred in two or more TCP connections is applied into MPEC video control as multi time-interval congestion control. For TCP update variable, we extend TCP and perform as function call, and we study a method of relating TCP with LTS module controlling with the information type that is overcoming the limit of feedback loop determined by RTT. For comparison, we measure the TCP throughput without LTS and verify the fairness by means of meta control. The improved TCP performance is shown by that the number of connections of traffic congestion control increases when RTT increases.

Study on Removal Efficiency of Complex Wastewater from Agricultural and Industrial Plant for Advanced Treatments (고도처리를 위한 농공단지 복합폐수의 처리효율 특성에 관한 연구)

  • Seo, Tae Won;Kim, Moon Suk;Park, Young Dal;Cho, Wook Sang
    • Journal of the Korea Organic Resources Recycling Association
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    • v.20 no.2
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    • pp.53-65
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    • 2012
  • This study was focused on removal efficiency of complex (or mixed) wastewater from agricultural and industrial plant for advanced treatments by HBR-II process, that was well known to be suitable to the treatment of livestock wastewater. The main purpose of this study was intended to evaluate the applicable feasibility of the HBR-II for revamping the present activated sludge process to the advanced one. And also, the settling study including the batch typed experimental column tests was performed to evaluate the coagulation stability of organic colloidal particles in wastewater. The mid-scale plant of HBR-II process between pilot and laboratory was used for this study. As F/M ratio remains constant in the range of 0.20~0.25 $BOD_5/Kg{\cdot}MLSS/Day$, the efficiency of biological treatment increased. It has been shown that the results of biodegradation study were, for removal efficiency(%), $BOD_5$ 98.4%, $COD_{Mn}$ 92.9%, SS 97.5%, T-N 91.3%, T-P 82.3%, respectively, which were relatively higher than other processes. From this study, HBR-II process would be well applied to the biological treatment of agricultural and industrial complex wastewater.

Production and Process Monitoring of 5-Aminolevulinic Acid (ALA) by Recombinant E. coli II. process Monitoring by a 2-Dimensional Fluorescence Sensor (유전자 재조합 대장균에 의만 5-Aminolevulinic Acid (ALA)의 생산 및 공정 모니터링 II. 2차원 형광센서에 의안 공정 모니터링)

  • 이종일;정상윤;임용식;정상욱
    • KSBB Journal
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    • v.19 no.1
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    • pp.27-32
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    • 2004
  • 2-Dimensional fluorescence sensor has a wide range of excitation and emission wavelengths, that some biogenic fluorphors in a biological process can be monitored simultaneously. The production processes of 5-aminolevulinic aicd (ALA) by recombinant E. coli BL21 (DE3) pLysS harboring plasmid pFLS45 were on-line monitored by a 2-dimensional fluorescence sensor The characteristics of fluorescence spectrum was dependent upon physical and biological factors of a bioprocess such as culture pH, cell mass etc. Some off-line data were correlated to the fluorescence intensity well, which was monitored at some combination of excitation and emission wavelengths by the 2-dimensional fluorescence sensor.

Design of a Thermal Energy Harvesting Circuit with MPPT Control (MPPT 제어 기능을 갖는 열에너지 하베스팅 회로 설계)

  • Yoon, Eun-Jung;Kim, Su-Jin;Park, Kum-Young;Oh, Won-Seok;Yu, Chong-Gun
    • Journal of the Korea Institute of Information and Communication Engineering
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    • v.16 no.11
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    • pp.2487-2494
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    • 2012
  • In this paper, a thermal energy harvesting circuit with MPPT control is designed. MPPT(Maximum Power Point Tracking) control function is implemented using the linear relationship between the open-circuit voltage of a thermoelectric generator(TEG) and its MPP voltage. The designed MPPT control circuit traces the maximum power point by periodically sampling the open circuit voltage of a TEG, makes the reference voltages using sampled voltage and delivers the maximum available power to load. Simulation results show that the maximum power efficiency of the designed circuit is 94%. The proposed thermal energy harvesting circuit is designed with $0.35{\mu}m$ CMOS process, and the chip area except PAD is $1168.7{\mu}m{\times}541.3{\mu}m$.

Plasma-assisted nitrogen doping on CVD-graphenes

  • Lee, Byeong-Ju;Jeong, Gu-Hwan
    • Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference
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    • 2013.08a
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    • pp.278.2-278.2
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    • 2013
  • 그래핀은 우수한 전기적, 기계적, 광학적 특성들로 인하여 전자소자, 센서, 에너지 재료 등으로의 응용이 가능하다고 알려진 단 원자층의 탄소나노재료이다. 특히 그래핀을 전자소자로 응용하기 위해서는 캐리어 농도, 전하 이동도, 밴드갭 등의 전기적 특성을 향상시키거나 제어하는 것이 요구되며, 에너지 소재로의 응용을 위해서는 높은 전기전도도와 함께 기능화를 통한 촉매작용을 부여하여 효율을 향상시키는 것이 요구된다. 일반적으로 화학적 도핑은 그래핀의 전기적 특성을 제어하는 효율적인 방법으로 알려져 있다. 화학적 도핑의 방법으로 질소, 수소, 산소 등 다양한 이종원소를 열처리 또는 플라즈마 처리함으로써 그래핀을 구성하는 탄소원자를 이종원자로 치환하거나 흡착시켜 기능화 처리된 그래핀을 얻는 방법들이 제시되었다. 이중 플라즈마를 이용한 도핑방법은 저온에서 처리가 가능하고, 처리시간, 공정압력, 인가전압 등 플라즈마 변수를 변경하여 도핑정도를 비교적 수월하게 제어할 수 있다는 장점을 가지고 있다. 본 연구에서는 열화학기상증착법으로 합성된 그래핀을 직류 플라즈마로 처리함으로써 효율적인질소도핑 조건을 도출하고자 하였다. 그래핀의 합성은 200 nm 두께의 니켈 박막이 증착된 몰리브덴 호일을 사용하였으며, 원료가스로는 메탄을 사용하였다. 그래핀의 질소 도핑은 평행 평판형 직류 플라즈마 장치를 이용하여 암모니아($NH_3$) 플라즈마로 처리하였으며, 플라즈마 파워와 처리시간을 변수로 최적의 도핑조건 도출 및 도핑 정도를 제어하였다. 그래핀의 질소 도핑 정도는 라만 스펙트럼의 G밴드의 위치와 반치폭(Full width at half maximum; FWHM)의 변화를 통해 확인하였다. NH3 플라즈마 처리 후 G밴드의 위치가 장파장 방향으로 이동하며, 반치폭은 감소하는 것을 통해 그래핀의 질소도핑을 확인하였다.

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방향성 다공질금속의 제조 및 기계적성질

  • Hyeon, Seung-Gyun;Nakajima, Hideo
    • Proceedings of the Materials Research Society of Korea Conference
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    • 2009.11a
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    • pp.19.2-19.2
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    • 2009
  • 금속을 용해 응고시킬 때 생성되는 소위, 주조 결함이나 소결금속 내의 기공은 재료의 성능이나강도를 현저하게 낮추는 결함으로서 예전부터 기피되어 왔다. 또한, 재료공정에있어서도 여하의 기공이나 기포가 없는 치밀한 고강도 및 고기능성 재료를 개발하는 것에 최대한의 주의와 관심을 기울여 왔다. 그렇지만, 우리가 자연계의 천연물이나 인공물을 둘러보면 그 대부분이다공질임을 쉽게 눈치챌 수 있다. 예를 들어 목재, 지엽등의 생물을 시작해서 콘크리트 등의 인공물, 우리 체내의 뼈도 전형적인 다공질구조로 구성되어 있다. 이러한 구조로부터 재료의 재질제어 이외에 구조제어라는 새로운 어프로치를 고려할 수 있고, 최근 들어, 금속재료에 있어서도 이러한 다공질구조에 관한 연구가활성화되어 충격흡수재, 생체재료, 베어링재료 등의 다양한응용이 전개되고 있다. 특히, 원주상의 방향성 기공을 갖는 로터스금속은 기존의 복잡한구조의 다공질금속보다 뛰어난 기계적 성질을 갖는다. 이러한 다공질금속은 일방향응고할 때 생성하는 과포화가스원자를 석출시켜 기공을 일방향으로 성장시킨다. 즉, 융점에서의 고상과 액상의 가스 용해도 차를 이용하는 것으로서 응고시에 고용할 수 없는 가스원자가 기공을 형성한다. 이와같이 제조한 방향성 다공질금속은 BT (인플란트, 생체적합성, 저탄성, 경량), ST (초음속기엔진부품, 경량), IT (고성능수냉모듈), ET(고온촉매, 필터)의 분야로의 응용이 기대된다. 본 강연에서는 방향성 다공질금속의 제조법, 특성 및 응용을 포함하여그 동안의 연구성과 및 앞으로의 과제 등을 소개하고자 한다.

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