Relative quantitative evaluation of mechanical damage layer by X-ray diffuse scattering in silicon wafer surface (실리콘 웨이퍼 표면에서 X-선 산만산란에 의한 기계적 손상층의 상대 정량 평가)
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- Journal of the Korean Crystal Growth and Crystal Technology
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- v.8 no.4
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- pp.581-586
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- 1998