• The Journal of Korean Institute of Communications and Information Sciences
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• v.15 no.5
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• pp.399-405
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• 1990

Rapid Thermal Process(RTP) has been used to precisely control and study the reaction rate for the formation of refractory titanuium silicide. Samples were prepared by sputtering deposition layer of titanium on n-type, poly-deposit silicon wafers. The process were then sujected to a matrix of rapid time-temperature profile under nitrgen, argon gas ambient to precisely control the silicide formation. Reacted films were analyzed by the sheet resistance measursrement, SEM, ASR and X-ray diffraction. Results were shown that the resistivity of the silicide films are below 20u-cm and the thickness of silicide films are about two times than that of as-deposited titanium films. Silicidation ambient was likely to happen at the same tamperature-time condition for argon and nitrogen gas.

• The Journal of Korean Institute of Communications and Information Sciences
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• v.34 no.4C
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• pp.430-436
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• 2009

In this paper, we propose and describe our implementation of an automatic control system for the center wavelength of a fiber Bragg grating. The proposed system consists of a Fabry-Perot filter and cantilever structure controlled by a step motor interfacing computer. We consider the change of the center wavelength and the reflective spectrum shape for a given FBG according to the translation distance of the push stick and the cantilever thickness variation. The proposed system can control the center wavelength of a FBG with a resolution of 0.01 nm by applying compression or extension to the FBG. The proposed system has characteristics that keep the desired wavelength of the FBG with a variation of environmental conditions.

• Journal of the Institute of Electronics Engineers of Korea SC
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• v.48 no.1
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• pp.39-46
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• 2011

This paper presents the implementation and control of a mobile manipulator robot for indoor service. The robot has two arms for tasks and a mobile base for mobility. The robot is designed to have several characteristics. Firstly, the robot has the capability of changing the height of the robot. Secondly, the robot can be changed into a balancing mode of two contact points from mobile mode of four contact points. The robot has a balancing mode like an inverted pendulum robot as well as mobile robot mode. Lastly, as a novel concept, the robot is designed to have the capability of separating into two systems, the robot ann and the mobile robot as well. The mobile base can be separately used for a cleaning service.

• Physical Therapy Korea
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• v.9 no.4
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• pp.45-52
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• 2002

이 연구의 목적은 수직착지시 성에 따른 슬관절 가동범위의 차이를 알아보는 것이다. 연구 대상자는 20대의 건강한 성인 48명(남자 25명, 여자 23명)이었다. 연구 대상자에게 40 cm 높이에서 한발로 뛰어내리도록 하고, 2차원 동작측정 기구인 CMS-HS를 이용하여 수직착지시 슬관절의 굴곡각도, 최대 슬관절 굴곡각도, 슬관절의 가동 범위, 각속도를 측정한 후, 남 여 두 집단간의 차이를 알아보았다. 이때 사용한 분석방법은 독립적인 두 표본 t-검정이었으며 축차적(stepwise) 다변량회귀분석을 이용하여 체중과 신장을 조절한 상태에서 남여 간에 차이가 있는지를 분석하였다. 그 결과 수직착지시 슬관절의 굴곡각도에서는 유의한 차이를 보이지 않았으나, 최대 슬관절 굴곡각도, 슬관절의 가동 범위, 각속도에는 유의한 차이가 있었다(p<.05). 체중과 신장이 조절된 조건 하에서 여자는 수직착지시 최대 슬관절의 굴곡각도와 슬관절의 가동범위가 남자보다 작았다. 이러한 결과를 통하여 수직착지시 여자가 남자보다 슬관절 손상의 빈도가 높은 이유 중의 하나는 여자가 슬관절을 덜 굴곡시킴으로 인해 바닥의 충격을 더 많이 받기 때문이라는 가능성을 발견하였다.

• Proceedings of the Korean Institute of Electrical and Electronic Material Engineers Conference
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• 2002.08a
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• pp.41-46
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• 2002

본 논문은 냉, 난방 디지털 온도 조절계(SPC 50)의 Etl의 편차 정 동작에 관한 구현장치 제작과 비례 미.적분기가 At 및 비 At기능에서 설정온도를 $100^{\circ}C$를 유지하는데 기인된 전압전류 및 전력데이터 획득의 요인과 비례미적분 정수 및 노 개선점을 연구하였다. 설정온도를 유지하는 온도변화는 At기능에서 $96.7^{\circ}C\sim102^{\circ}C$ 이며, 비At 기능에서는 $97.6^{\circ}C\sim100.2^{\circ}C$이었다. 온도유지 전압변동은 At기능에서 2V~217V이며, 비 At기능에서 20V~217V 이었다. At와 비 At 기능에서 설정온도 $100^{\circ}C$을 유지하는데 온도를 냉각시키는 환풍기가 온. 오프 되는 시간차는 20초 정도 발생하였다. 온도차 및 전압차는 두 기능간에 비례 미. 적분값 설정이 자동 및 수동이냐에 따라서 차이를 보여주었다. 두 기능에서 설정된 온도값 유지에 따른 전압전류의 승압과 하강의 변동된 변환 데이터는 설정된 온도가 성취되어지는 시간차 및 설정값 유지의 특성을 요인으로 한 PID값과 노의 개선점에 길잡이가 된다.

• Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference
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• 2013.08a
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• pp.223.2-223.2
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• 2013

비정질 실리콘은 태양전지, 트랜지스터, 이미지 센서 등 다양한 분야에서 응용되고 있으며 새로운 박막 소자 개발을 위한 소재로서 많은 연구가 진행되고 있다. 하지만 소자개발에 있어 공정상에서 발생하는 비정질 실리콘 박막의 높은 응력(stress)은 소자의 특성을 떨어뜨리는 문제점을 갖는다. 따라서 우수한 특성의 소자 개발을 위해서는 보다 낮은 응력을 갖는 비정질 실리콘 박막 증착 및 공정 조건에 따른 응력 조절이 필요하다. 저응력의 비정질 실리콘 박막 증착은 보다 낮은 반응온도에서 증착속도를 최소로 하여 성장되어야 하는데 이는 플라즈마기상증착(Plasma enhanced chemical vapor deposition, PECVD) 시스템에 의해 가능하다. 따라서 본 연구에서는 PECVD 시스템을 사용하여 비정질 실리콘 박막을 증착하였고 그 특성을 분석하였다. 이 때 증착 온도, rf 파워, 공정 압력은 실험결과로부터 얻어진 낮은 박막 증착속도 하에서 안정적으로 증착이 가능한 조건으로 일정하게 유지하여 실험하였다. 공정 가스는 SiH4/He/N2의 혼합가스를 사용하였고 응력 조절을 위해 SiH4/He 가스비를 일정한 비율로 변화하여 비정질 실리콘 박막을 증착하였다. 증착된 박막의 두께 및 표면 특성은 field emission scanning electron microscopy 및 atomic force microscopy를 이용하여 분석하였고, energy dispersive X-ray 분석을 통하여 정량 및 정성적 분석을 수행하였다. 그리고 stress measurement system을 이용하여 박막의 응력을 측정하였고 X-ray diffraction 측정 및 ellipsometry 측정으로부터 증착된 박막의 결정성, 굴절률 및 oiptical bandgap을 분석하였다.

• Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference
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• 2013.08a
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• pp.201.2-201.2
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• 2013

원자층 증착법(ALD)을 통해 최적의 Al doped ZnO (AZO)박막을 얻기 위해 기판온도와 Al도핑농도 등의 공정변수를 조절하여 최적의 성막 조건 연구특성을 분석하였다. 증착당시 Zn와 Al의 precursors는 diethylzinc(DEZ), trimethylaluminum(TMA)을 각각 사용하였으며, reactants로는 Deionized water를 사용하였다. DEZ와 TMA의 증착비율을 통하여 1%에서 12%까지 Al의 도핑농도를 조절하였다. 이후 Hall effect measurement를 이용하여 기판온도와 Al도핑농도에 따른 AZO박막의 운반자 농도, 이동도, 저항을 분석했고, X-ray diffraction을 통하여 물리적 구조의 변화를 관측했다. 공정 최적화를 통하여 Al도핑농도의 변화가 AZO박막의 전기적 특성에 미치는 영향을 해석하였다. 또한, 공정의 최적화 이후 AZO박막을 나노 구조체 석영(quartz)기판위에 250도의 온도에서 Al ~3%의 농도로 10nm부터 150nm까지의 두께로 증착하였다. SEM 분석을 통해 나노 구조체 기판에 균일한 AZO 박막이 형성되었는지 확인하였고, AZO박막의 두께에 따른 전기적 특성 및 광 투과도를 측정한 결과 나노구조체 석영 기판위에 증착된 AZO박막은 가시광선 영역에서 80%이상의 광 투과도를 보였으며 ${\sim}10^{-3}{\Omega}cm$의 저항을 보였다.

• Journal of Dental Rehabilitation and Applied Science
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• v.31 no.2
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• pp.96-103
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• 2015

Purpose: The purpose of this study was to spectrophotometrically evaluate the influence of porcelain layer thickness and substructure. Materials and Methods: Four groups of porcelain specimens (metal and ceramic substructure) was prepared for analysis. Color parameters were measured with spectrophotometer and color difference (${\Delta}E*$) were calculated. T-test and one-way ANOVA test were used to find out significant difference and Tukey test was used to identify where the difference ware. Results: Increasing the thickness of porcelain decreased values (P < 0.05). Increasing the thickness of porcelain on ceramic substructure decreased the $a^*$ (P < 0.05) but, the $b^*$ were not statistically different. Total color difference (${\Delta}E*$) were below 1 when the difference of porcelain thickness were 0.5 mm. Conclusion: The thickness of porcelain are the factor effecting on color. This study will help the color are controlled by changing the thickness of porcelain clinically.

• Journal of Digital Convergence
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• v.11 no.12
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• pp.487-494
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• 2013

The purpose of this study was to determine the effect of mechanical horseback riding training on trunk control, balance function in stroke patients. 15 stroke patients were recruited for this study. The subjects were randomly assigned to two groups: experimental(n=7) and control(n=8). All subjects received a routine physical therapy. The mechanical horseback riding training was for 30 min in the case of the EG subjects. This study was carried out approximately 8 weeks from March 4 to May 3. The assessment tools of this study involved the trunk control test, postural assessment scale for stroke, Berg balance scale and timed up and go test. The measurements were recorded before the intervention and after the intervention. In the cases of the EG subjects and CG subjects, the variables measured after the intervention significantly differed from trunk control test, postural assessment scale for stroke, Berg balance scale and timed up and go test before the intervention (p<.05). Also, there were significant differences in trunk control test, postural assessment scale for stroke, Berg balance scale and timed up and go test at post test between the 2 groups (p<.05). The findings indicate that mechanical horseback riding training exerts a positive effect on trunk control, balance function in stroke patients. Further studies are required to generalize the result of this study.

• Journal of Korean Ophthalmic Optics Society
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• v.9 no.2
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• pp.463-471
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• 2004

The Fabry-Perot interferometer filters for UV meter were designed using the design program of optical thin films. From the data obtained, two filters were fabricated. The transmittance of two filter were measured by spectrophotometer in order to analysis their optical property. The transmittance was controlled by the thickness of Ag reflector and the wavelength of the transmission was controlled by the thickness of $SiO_2$ spacer. The two UV filters were fabricated by the RF magnetron sputtering which are the multilayers of [air/$SiO_2$(174.6 nm)|Ag(78 nm)|$SiO_2$(68 nm)|Ag(78 nm)|Cr(5 nm)|glass] and [air/$SiO_2$(174.6 nm)|Ag(S8 nm)|$SiO_2$(56 nm)|Ag(58 nm)|Cr(S nm)|glass]. One filter has the maximum transmittance of 6% at the about 370nm and it has the transmittance of below 0.2% at 400nm. The other filter can be found that the transmittance is increased as the thickness of Ag is decreased and the wavelength of the transmission is controlled by the thickness of $SiO_2$ spacer layer.