• 제목/요약/키워드: 동역학적 분석

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수치 모델을 이용한 TSV 스퍼터링 장비의 특성 해석 (Characterization of a TSV sputtering equipment by numerical modeling)

  • 주정훈
    • 한국표면공학회:학술대회논문집
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    • 한국표면공학회 2018년도 춘계학술대회 논문집
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    • pp.46-46
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    • 2018
  • 메모리 소자의 수요가 데스크톱 컴퓨터의 정체와 모바일 기기의 폭발적인 증가로 NAND flash 메모리의 고집적화로 이어져서 3차원 집적 기술의 고도화가 중요한 요소가 되고 있다. 1 mm 정도의 얇은 웨이퍼 상에 만들어지는 메모리 소자는 실제 두께는 몇 마이크로미터 되지 않는다. 수직방향으로 여러 장의 웨이퍼를 연결하면 폭 방향으로 이미 거의 한계에 도달해있는 크기 축소(shrinking) 기술에 의지 하지 않고서도 메모리 소자의 용량을 증대 시킬 수 있다. CPU, AP등의 논리 연산 소자의 경우에는 발열 문제로 3D stacking 기술의 구현이 쉽지 않지만 메모리 소자의 경우에는 저 전력화를 통해서 실용화가 시작되었다. 스마트폰, 휴대용 보조 저장 매체(USB memory, SSD)등에 수 십 GB의 용량이 보편적인 현재, FEOL, BEOL 기술을 모두 가지고 있는 국내의 반도체 소자 업체들은 자연스럽게 TSV 기술과 이에 필요한 장비의 개발에 관심을 가지게 되었다. 특히 이 중 TSV용 스퍼터링 장치는 transistor의 main contact 공정에 전 세계 시장의 90% 이상을 점유하고 있는 글로벌 업체의 경우에도 완전히 만족스러운 장비를 공급하지는 못하고 있는 상태여서 연구 개발의 적절한 시기이다. 기본 개념은 일반적인 마그네트론 스퍼터링이 중성 입자를 타겟 표면에서 발생시키는데 이를 다시 추가적인 전력 공급으로 전자 - 중성 충돌로 인한 이온화 과정을 추가하고 여기서 발생된 타겟 이온들을 웨이퍼의 표면에 최대한 수직 방향으로 입사시키려는 노력이 핵심이다. 본 발표에서는 고전력 이온화 스퍼터링 시스템의 자기장 해석, 냉각 효율 해석, 멀티 모듈 회전 자석 음극에 대한 동역학적 분석 결과를 발표한다. 그림1에는 이중 회전 모듈에 대한 다물체 동역학 해석을 Adams s/w package로 해석하기 위하여 작성한 모델이고 그림2는 180도 회전한 서브 모듈의 위상이 음극 냉각에 미치는 효과를 CFD-ACE+로 유동 해석한 결과를 나타내고 있다.

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사고 유출 유해화학물질 추적을 위한 하천 흐름해석 모형 개발 (Development of River Flow Analysis Model for Tracking Hazardous Chemical Substances Released From Accident Spill)

  • 엄태수;안세혁;송창근
    • 한국수자원학회:학술대회논문집
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    • 한국수자원학회 2021년도 학술발표회
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    • pp.248-248
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    • 2021
  • 본 연구에서 개발한 하천흐름해석모형 HDM-2Di는 2차원 추적모형에 필요한 격자생성기(RAMS-G) 및 GUI (RAMS+)와 연계하여 요소망 생성기능 및 요소망 처리기능을 통해 실제 지형을 반영할 수 있는 전처리 과정을 수행할 수 있다. 장구간 하천에서 신속하고 정확하게 모의결과를 도출할 수 있도록 입출력 체계를 구조화하다. 또한 하천의 복잡한 지형과 자연 하천구조의 동역학적인 흐름환경을 효과적으로 재현할 수 있으며 흐름해석모의 결과인 2차원 평면상의 유속과 수심을 2차원 유해화학물질 추적모형(CTM-2D-TX)의 입력자료로 활용할 수 있도록 개발하였다. HDM-2Di 모형의 성능 검증을 위하여 정상류 및 준부정류, 부정류 조건 흐름해석 성능 테스트를 진행하였으며, 실제 자연하천의 물리적 구조를 재현한 사행수로 추적자 실험 결과와 모형 결과를 비교분석하였다. 또한 자연하천 적용을 위하여 구미보와 칠곡보 구간을 대상으로 ADCP 실측 결과와 상용모형인 Nays-2DH 모의 결과와의 비교를 통해 HDM-2Di 흐름해석모형의 정확성 및 적용성을 평가하였다.

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선박용 엔진 프레임 박스의 구조해석을 위한 기구학적 분석 (Kinematic Study for the Structural Analysis of the Frame Box of Vessel Engines)

  • 이재훈;최종호;조진래;이인수
    • 한국전산구조공학회논문집
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    • 제20권5호
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    • pp.565-572
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    • 2007
  • 본 논문에서는 S60MC-C 선박용 다실린더 엔진의 구조해석을 위한 기구학적인 분석에 대해 서술하였다. 구조해석을 위해 프레임박스에 작용하는 측력과 크랭크 저널베어링에 작용하는 반력이 필요하다. 각각의 동적인 작용력을 구하기 위해, 선박용 엔진 내부의 구동부를 마찰이 없는 평판의 운동으로 가정하고, 단실린더에 대해 동역학적인 평형관계를 이용하여 엔진 구동시의 크랭크 각도별 작용력을 구하였다. 단실린더에서의 하중조건을 바탕으로 특정 시점에서 각각의 실린더에 작용하는 하중을 구하기 위해 크랭크암의 각도의 차이를 이용하였다. 구조해석을 위해 프레임박스의 응력 변화에 큰 영향을 줄 것으로 판단되는 8개의 각도를 선정하였다.

모재-섬유 함침 비율에 따른 건설용 GFRP 기둥구조의 고유진동 특성 (Natural Frequency Characteristics of GFRP Pole Structures for Civil Structures with Different Fiber-Volume Fraction)

  • 이상열
    • Composites Research
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    • 제27권2호
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    • pp.66-71
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    • 2014
  • 본 연구는 GFRP 복합재료로 구성된 기둥 구조에 대하여 마이크로 역학 접근방법에 의한 섬유의 함침비율 변화에 따라 탄성계수를 예측하고 매크로 역학 기반으로 고유진동 특성을 분석하였다. 본 연구에서 제시하는 멀티 스케일 접근법에 의한 유한요소 모델은 해석의 정확성과 재료들 간의 상관관계를 상세하고 정확이 보여준다는 장점이 있다. 수치해석은 적층 갯수, 적층배열, 섬유함침비율의 변화에 따라서 고유진동의 변화를 분석하는데 중점을 두고 있다. 수치예제로부터 섬유와 모재의 재료비율은 거시적 동역학적 특성에 중요한 영향을 주고 있음을 알 수 있었다. 본 연구는 고유진동에 영향을 미치는 최적의 섬유와 모재 재료비율을 상세 분석하였으며, 해석 결과는 건설용으로서의 복합소재 기둥구조가 경제적이면서 우수한 동적 구조 성능을 만족하도록 설계하는데 기여할 수 있을 것으로 기대된다.

보 설치 구간에서의 퇴적물질 확산 모의를 위한 적정 모형의 검토 (The Review of Models for Effect of Sediment in Weir Section)

  • 박기정;정민재;김환석;김영;윤재영
    • 한국산학기술학회:학술대회논문집
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    • 한국산학기술학회 2012년도 춘계학술논문집 1부
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    • pp.348-351
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    • 2012
  • 4대강 살리기 사업 등 대형 사업의 건설 및 시행에 의한 환경적 영향에 대한 예측과 적절한 수질관리 대안을 마련하기 위해서는 적절한 수문 수질모델을 이용하는 것이 필수적이며, 국내 대형 국책 사업 또는 중요 환경영향평가에서는 계속적으로 수질모델이 사용되고 그 적용 범위는 더욱 증가 될 전망이다. 따라서 이들 수질 모델의 사용에 있어서 예측의 정확도 및 신뢰도를 제고하는 것은 매우 중요한 일이라 할 수 있을 것이다. 특히 4대강 살리기 사업에 의해 다수의 보가 하천 내에 건설되고 준설이 실시됨에 따라 하천 내의 수리 동역학적 특성 및 수질특성이 변화할 것으로 예상되며, 적절한 수질관리 대책을 수립하기 위해서는 사업에 의한 수리 및 수질 특성 변화를 예측하고 시나리오를 분석할 있는 모델링 시스템을 구축하는 것이 필수적이다. 따라서 본 논문에서는 보 건설에 따른 다양한 수리 및 수질 특성 변화를 예측하기 위해 모의 가능 모형들을 조사하고, 국 내외 적용사례 분석을 통해서 현재 가장 많이 적용되고 있는 모형들을 선별하였다. 이를 토대로 모형 별 성능을 비교 분석하여 모형별 적용성을 검토하였다. 검토결과 신설보 설치에 따른 하천 수리 특성의 변화, 부유물질 및 동반 오염물질에 의한 수질 변화 등의 고려가 가능하며, 동적상태 모형으로 하천에서의 불연속적인 흐름에 따른 모의, 수심방향으로의 모의가 가능한 EFDC 모형이 보 설치에 따른 국부적인 영향을 자세하게 파악하는데 가장 적절한 모형으로 파악되었다.

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Limit-cycle 항법의 동역학적 안정성 분석 (Analysis of Dynamic Stability of Limit-cycle Navigation Method)

  • 김동한;강수혁;이은진;고국원;남상엽
    • 전자공학회논문지 IE
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    • 제46권3호
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    • pp.33-41
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    • 2009
  • 본 논문에서는 Limit-cycle 항법의 안정성을 분석하고 path follwer를 제안한다. Limit-cycle 항법은 2차 비선형 함수의 특징을 이용하며, 빠른 이동로봇의 움직임을 제어하기 위해 제안되어졌다. Limit-cycle의 수렴반경과 방향을 조절하여 충돌 없이 장애물을 회피하고, 목표점에 도달할 수 있다. 하지만 지금까지 Limit-cycle 항법의 안정성은 연구되어지지 않았다. 따라서 본 논문에서는 이러한 안정성을 분석하고, Limit-cycle 항법을 로봇축구에 적용하여, 시뮬레이션과 실제 실험에서 제안된 방법을 검증한다.

지형기후학적순간단위유량도를 이용한 미계측 소유역의 유출특성 분석 (Runoff Characteristics Analysis using GCUH on Ungauged Small Basin)

  • 이상진;최현;이배성;정동국
    • 대한공간정보학회지
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    • 제14권2호
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    • pp.15-22
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    • 2006
  • 지형학적순간단위유량도 및 지형기후학적단위유량도를 이용하여 미계측 소유역의 특성을 분석하였다. 경북 감포지역 $5km^2$ 미만의 소유역을 중심으로 GIS 기법으로 수문특성인자를 도출하고, 지형학적순간단위유량도의 동역학적 매개변수인 특성속도를 호우사상별로 추정하여 지형기후학적 순간단위유량도 및 기타 집중시간 경험식과 비교한 결과 Kerby 및 Brasby-Williams공식이 소유역의 특성속도 산정공식으로 제시될 수 있는 것으로 분석되었다. 또한 확률 강우량으로부터 지형기후학적순간단위유량도의 첨두유량과 확률홍수량을 비교하는 방법과 여러 단위유량도 및 지형기후학적순간단위유량도에서 산정된 첨두유량을 실측자료와 비교한 결과 미계측 소유역의 적용 타당성이 확인되어 향후 돌발홍수 등 방재계획 수립 시 기준우량을 산정하는데 활용될 수 있을 것으로 판단된다.

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비교적 두꺼운 결정으로부터 얻은 일련의 비 초점 단계의 고전압 HRTEM 영상들에 대한 IWFR 분석의 유용성 실험 (Experiment of Usefulness of IWFR Analysis for High Voltage HRTEM Images with a Series of Defocus Steps Obtained from a Relatively Thick Crystal)

  • 오상호;김윤중;김황수
    • Applied Microscopy
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    • 제38권4호
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    • pp.363-374
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    • 2008
  • 이 논문에서는 비교적 두꺼운 결정에 대한 일련의 고 분해 영상들에 대한 IWFR 분석의 유용성을 실험하였다. 이를 위해 JEOL ARM 1300S를 이용하여 실리콘 결정의 30 nm 두께의 [01-1] 방위와 35 nm 두께의 [11-2]에 대한 일련의 비 초점 단계의 고 분해 영상들을 관찰하였다. 이로부터 두꺼운 시료에 대해서도 IWFR 분석 결과로부터 결정 밑 표면의 파동함수를 얻을 수 있음이 밝혀졌다. 그러나 강한 동역학적 산란에 의한 효과 때문에, 이 함수의 영상패턴은 시료의 원자열 구조의 패턴을 다만 정성적으로만 반영하고 있다. 그럼에도 불구하고 이 패턴은 결정구조의 중요한 단서를 제공할 것임은 의심의 여지가 없다

Poincare Section과 신경망 기법을 이용한 수문자료 분석 (Analysis of Hydrologic data using Poincare Section and Neural Network)

  • 나창진;김형수;김중훈;김응석
    • 한국수자원학회논문집
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    • 제35권6호
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    • pp.817-826
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    • 2002
  • 많은 학자들은 자료의 특성을 분석함으로써 장래를 예측하고자 끊임없이 노력하여 왔으며, 이는 아마도 확정론적 방법과 추계학적 방법으로 크게 대별할 수 있을 것이다. 그러나 예측을 하기 전에 먼저 자료의 특성을 파악하는 것은 모형 구축과 예측을 실행하는데 있어서 매우 중요하다 할 수 있다. 이러한 견지에서 최근 확정론적 방법으로 알려진 비선형 동역학적인 방법이 여러 분야에서 관심의 대상이 되고 있다. 본 연구에서는 비선형 동역학 시스템을 해석하기 위하여 Poincare에 의해 제안된 기하학적 방법을 이용하여 기존에 알려진 자료들과 실제 수문자료에 대한 특성을 비교 분석하였으며 자료의 특성에 따른 예측가능성을 판정하였다. 즉, Poincare section을 통해 Poincare map을 구축함으로써 자료의 특성을 파악하여 자료의 선형, 비선형성 뿐만 아니라 자료가 어떤 모형에 적합한지를 판단할 수 있었다.

한국의 지형학 연구 - 해안지형 일반 - (The Coastal Geomorphology in General of Korea - Research Trends and Issues -)

  • 김성환
    • 한국지형학회지
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    • 제19권1호
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    • pp.1-15
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    • 2012
  • 이 연구의 목적은 지금까지 한국의 지형학 연구에서 해안지형 일반주제에 대한 연구 성과를 정리하고 앞으로의 연구 과제를 제시하는 것이다. 한국지형학회가 창립된 1990년대를 기준으로 전 후 기간을 구분하여 해안지형 일반 연구 경향을 파악하였다. 이 연구에서 해안지형 일반 연구 주제는 간석지와 해안단구를 제외한 해안지형 전반을 가리킨다. 1990년대 이후의 연구 경향은 총 5개 한국의 지리학 관련 학회지에 발표된 연구의 양적 성과와 주제별 연구 동향을 분석하고 해안지형 연구와 관련한 방법론적 측면을 지형변화 측정과 퇴적물 분석으로 구분하여 정리하였다. 해안지형 연구는 다른 지형학 연구 분야와 마찬가지로 1970년대를 전후하여 시작되었으며, 1990년대 이후 타 지형학 분야의 연구가 확대되는 것과 마찬가지로 활성화되었지만, 해안지형 일반 주제에 대한 연구는 2000년대에 이르러서야 활발하게 진행되었다. 해안지형 일반 주제에 대한 연구는 해안사구에 대한 연구와 해안 관리와 관련된 연구가 주를 이루고 있다. 이것은 해안환경에 대한 사회적 관심의 대두와 관련이 깊으며 추후 지속적인 연구가 필요하다. 해안지형 연구와 관련한 방법론 정리에서는 지형학계가 극복해야할 한계점을 검토하였다. 지형변화와 퇴적물 분석 측면 모두에서 형태동역학적인 연구가 진행될 수 있도록 방법론을 개선해야 하는 것이 주요 과제이다.