• Proceedings of the Materials Research Society of Korea Conference
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• 2011.05a
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• pp.66.1-66.1
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• 2011

반도체를 비롯하여 LCD, OLED와 같은 디스플레이 (FPD: Flat Panel Display) 분야는 국가 선도 사업으로써 발전을 거듭해오고 있다. 하지만 기술의 성숙도가 높아짐에 따라 최근 중국과 대만 업체와의 경쟁이 심화되고 있으며, 더불어 환경문제가 큰 이슈로 떠오르고 있어 신기술 개발을 통한 생산 수율 향상 및 친환경 공정 개발의 중요성이 커지고 있다. 반도체, 디스플레이 공정에서 생산 수율 저하의 주요 원인으로써 공정 중 발생하는 미세 오염 입자를 들수 있다. 반도체 및 디스플레이 공정에서 세정 기술은 전체 기술의 30% 이상을 차지하며 생산 수율 및 제품의 품질에도 큰 영향을 주는 공정이다. 세정 공정은 일반적으로 습식 세정 공정이 낮은 공정비용을 바탕으로 널리 적용되어 왔으나, 기판의 대형화와 패턴의 미세화에 따라 정밀한 세정 스펙이 요구되며 더불어 막대한 양의 초순수와 화학액의 사용으로 인한 공정비용 증가와 환경 규제 강화에 따른 폐수 처리의 문제에 직면하고 있다. 이에 따라 폐수의 양을 줄이며 건조공정을 필요로 하지 않아 공정비용을 줄일 수 있는 건식 세정 공정에 대한 연구가 활발히 진행 되고 있다. $CO_2$ snow jet 세정 기술은 건식 공정으로써 $CO_2$ 가스를 특수하게 제작된 분사 노즐에서 고압으로 가스를 분사하여 이 때 발생되는 순간적인 감압에 의한 단열 팽창으로 생성된 $CO_2$ snow 입자가 기판 표면의 오염물과 물리적 충돌을 하어 세정이 이루어지는 기술이다. 특히 $CO_2$ 세정은 환경과 인체에 무해하며 공정 후 바로 승화하기 때문에 추가적인 폐수처리 공정 등이 필요하지 않고, 건식 공정으로써 수세(Rinse) 공정을 필요로 하지 않기 때문에, 공정비용을 크게 줄일 수 있으며 물반점 발생을 방지 할 수 있는 친환경 건식 공정으로써의 장점을 가지고 있다. 본 연구에서는 자체적으로 개발한 $CO_2$ snow jet을 바탕으로 하여 다양한 공정조건을 변화시켜 세정효율을 측정하는 한편, 최적화 하기 위한 연구를 진행하였으며 더불어 $CO_2$ snow의 세정력을 정량적으로 평가하기 위한 연구를 진행하였다. 실험을 통해 가장 효과적으로 $CO_2$ snow 입자를 배출 할 수 있는 공정 조건으로써 5 bar의 캐리어 가스 압력을 사용하여, 세정력에 가장 큰 영향을 줄 수 있는 분사 노즐과 기판 사이의 거리 및 분사 노즐의 각도 등을 변화시켜 각 조건에 따른 세정효율을 평가하였다. 세정 오염물은 Silica, PSL 표준 입자(Duke scientific, USA)를 정량적으로 웨이퍼에 오염 시킨 후, 파티클 스캐너(Surfscan 6500, KLA-Tencor, USA)를 이용하여 세정 전 후의 오염입자 개수 변화를 통해 정량적으로 세정효율을 평가하였다. 본 연구를 통하여 $CO_2$ snow jet를 이용한 친환경 고효율 건식 세정 공정 메커니즘을 분석하였으며, 노즐과 기판 사이의 간격 및 분사 노즐의 각도 등을 최적화 한 세정 공정을 얻을 수 있었다.

• Korean Journal of Optics and Photonics
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• v.25 no.6
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• pp.301-310
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• 2014

Recently, the fringe-field switching (FFS) mode in liquid crystal displays has been used mainly for high image quality and high-resolution liquid crystal displays (LCDs). In this review paper, the fundamental switching principle of the FFS mode, with its excellence over other LC modes in electro-optic performance, will be described. In addition, the development history, present technical issues, and future of the FFS LCD will be discussed.

• Journal of the Korea Academia-Industrial cooperation Society
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• v.10 no.1
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• pp.39-45
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• 2009

The CRT(Cathode Ray Tube) displays have been substituted for FPDs(Flat Panel Displays) such as LCD(Liquid Crystal Display) and PDP(Plasma Display Panel) because they have a convex surface, large volume and heavy weight. The productivity of FPDs is greatly dependent on the area of thin glass panel with $0.6{\sim}0.8mm$ thickness because FPDs are manufactured by cutting a large-scaled thin glass panel with patterns to the required product dimensions. So FPD's industries are trying to increase the area of thin glass Panel. Through FEM(Finite Element Method) analysis and fluid analysis, we developed an non-contact and air-floating conveyor system which consists of transport-module, distributor, horizontal/vertical changer and controller for the 7th generation glass panel (2,200mm in width, 1,870mm in length and 0.7mm in thickness). The design technology developed in this study can be effectively applied to a conveyor system for a larger-scaled thin glass panel.

• Transactions of the Korean Society of Mechanical Engineers A
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• v.36 no.2
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• pp.173-178
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• 2012

Currently, active research is being performed on printing of electronic devices such as RFID devices, flexible displays, solar cells, and e-paper. This technique has several advantages over existing technologies such as lithography and etching. In particular, RFID devices, flexible displays, solar cells, and e-paper require flexibility and a mass production system. Thus, attention is being focused on the roll-to-roll process. High quality should be guaranteed in the roll-to-roll printed electronics systems, and good thickness and roughness qualities must be ensured. Experimental design was applied to this problem to analyze the main effects and interaction effects of various factors. Matching technology between the nip roll characteristics and the quality of the print pattern in roll-to-roll printed electronics systems was proposed to improve the printing quality.

• Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference
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• 2014.02a
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• pp.141.2-141.2
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• 2014

크라이오 펌프는 반도체 임플란타 공정, OLED 분야, 신소재 개발, 표면분석 및 처리, 의료분야, 입자가속기, 핵융합 등 다양한 진공분야에 응용되는 고진공용 극저온펌프이다. 특히 향후 디스플레이 분야에서 OLED가 시장을 주도할 것으로 예상되는 가운데, 점점 대형화 되어가는 OLED 장비에 가장 적합한 고진공 펌프로써 크라이오 펌프가 주목을 받고 있다. OLED 디스플레이 제조공정 중에서도 화소형성 공정을 위한 챔버는 특별히 진동특성에 민감하다. 유기물 증착공정을 진행하기 위해서 글라스 전단에 쉐도우 마스크를 설치하는데, 글라스의 크기가 증가하면서 초래된 처짐문제 그리고 장비의 진동특성과 글라스와 마스크 사이의 간섭문제 등이 제품의 수율에 큰 영향을 미치면서 향수 시급히 해결해야 할 필수 과제로 주목 받고 있다. 그러나 대부분의 상용 크리이오 펌프는 G-M형식의 냉동기를 장착하기 때문에 그 원리 상 제조사에 관계없이 일반적으로 큰 진동특성을 가진다. 이에 GVT에서는 OLED 공정에 적합한 보다 정숙하고 진동특성이 개선된 550 mm구경의 크라이오 펌프 개발을 진행하였다. 그 결과 펌프의 성능은 동종 경쟁모델과 동등 이상의 수준을 유지하고 진동성분은 동종모델 대비 50%이상 개선된 펌프를 개발할 수 있었다. 그리고 시장에 보다 좋은 제품을 출시하기 위해서 현재 성능과 진동특성을 계속해서 튜닝 중에 있다. 진동개선은 크게 2가지 방향으로 진행되었는데, 첫째는 펌프 측면에서 진행한 것이고 둘째는 냉동기 측면에서 진행한 것이다. 후자는 현재 대외비로 개발을 진행 중에 있으며 본 발표에서는 전자에 관한 것으로 펌프 측면에서 진동특성을 개선한 부분이다. 결국 크라이오 펌프의 진동은 진동원인 냉동기에서 발생하는 것이므로 냉동기와 펌프를 구조적으로 고립시키는 방법을 사용하였다. 즉, 냉동기와 펌프 사이에 댐핑 시스템 플랜지를 장착하여 진동원인 냉동기로부터 진동성분이 펌프 측으로 전달되는 것을 차단한 것이 본 기술의 핵심이다. GVT에서는 당 기술로 국내특허등록을 완료하였다(특허-10-1289394_진동 저감을 위한 댐핑 플랜지 조립체 및 이를 갖는 크라이오 펌프).

• The KIPS Transactions:PartA
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• v.10A no.2
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• pp.165-172
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• 2003

In this paper, we constructed horizontal and vertical virtual spaces using the projection table and the projection wall. We then implemented a system that stereoscopically visualizes three-dimensional (3D) buildings in the virtual environments in accordance with the user's viewing point. The projection table, a kind of horizontal display equipment, is effectively used in reproducing operations on a table or desk as well as in areas that require bird-eye views because its viewing frustum allows to view things from above. On the other hand, the large projection wall, a kind of vertical display equipment, is effectively used in navigating virtual spaces because its viewing frustum allows to take a front view. In this paper, we provided quick interaction between the user and virtual objects by representing major objects as detail 3D models and a background as images. We also augmented the reality by properly integrating models and images with user's locations and viewpoint in different virtual environments.

• Journal of Industrial Convergence
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• v.18 no.6
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• pp.33-39
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• 2020

The multi-screen image system could make the audiences appreciate contents without special devices by expansively composing the images played on a single screen to many facets suitable for the use, which could provide the great immersiveness to the audiences. Based on the recent interest in realistic images, it is produced as films through the multi-projection technology such as Screen X or Escape, and it is developed into the media that could deliver stories and information. Also, the size of display tends to gradually get larger while the image quality is improved to high definition. Thus, the development is accelerated in the form of Digital Signage that could play the high definition image contents by solidly composing many HD or UHD display screens. Moreover, through the convergence of digital technologies, it is developed into the higher value-added industry that could have two-way communication. This study aims to understand the developmental history of multi-screen image from 1950 to the present, technical analysis, and the production method, and then to research how to minimize the image degradation when playing the contents, in various platforms using the multi-screen image.

• 한국HCI학회:학술대회논문집
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• 2008.02a
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• pp.779-784
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• 2008

가상현실 시스템에서 체험자가 현실과 같은 몰입을 느끼기 위해서는 하드웨어를 통한 가상환경 구축과 체험자와의 상호작용이 중요하다. 본 논문에서는 위치 추적 시스템(Motion Tracking System), Wand(3D Mouse) 및 HoloPoint 등 다양한 VR 인터페이스를 통해 체험자의 움직임, 위치, 동작을 인식하고 대형 멀티 디스플레이 시스템을 통해 입체영상을 제공하는 가상환경을 구축하고 체험자가 원하는 정보를 상호작용(Interaction)으로 제공할 수 있는 가상 캠퍼스 안내 시스템을 구현하고자 한다. 가상 캠퍼스 구축은 캠퍼스의 지형, 건물 및 구조물들의 정확한 형상을 얻기 위해 3D 스캐너를 이용하였고 획득된 데이터는 일련의 과정들을 거쳐 3D 모델로 생성된다. 이렇게 생성된 모델을 재배치 및 최적화하기 위해 모델링 소프트웨어를 사용하였다. 구축된 가상 캠퍼스와 위치 추적 시스템 및 Wand의 연동을 위해 VR 프로그래밍 하여 체험자의 움직임 및 동작을 콘텐츠에 그대로 적용시켰다. 여기에 키오스크 유형의 HoloPoint를 이용하여 체험자의 손동작으로 상호작용하는 안내시스템도 구축하였다. 상호작용 가능한 가상캠퍼스 안내 시스템은 가상현실 시스템 구축에 대한 또 다른 방법과 활용 예를 제시함으로써 가상전시관 및 가상체험관 등에 활용될 수 있을 것으로 기대된다.

• Journal of Satellite, Information and Communications
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• v.11 no.1
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• pp.41-45
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• 2016

Recently, Signage technology is widely used for advertisements and promotional announcements located on the rooftop or around large buildings and near the roads as well. In addition in many places it is installed and operational financially costly because it uses a lot of energy to control the advertising images. Smart Signage technology developed interaction between the user and the possible need in signage. In this paper, we propose a specific user distance image control technologies that can be used in smart signage. Also, to control the content according to the user whether or provide a technique for controlling the display. Designing technology for it, and the performance was verified by implementing them.

• Proceedings of the Korea Society for Simulation Conference
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• 2002.11a
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• pp.109-113
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• 2002

본 연구에서는 서로 다른 형태의 VR 디스플레이 장비인 가상워크벤치와 프로젝션 월을 연동한 이종협업 가상환경을 구축하고 이러한 환경에서 단일 빌딩을 모델링 하는 전과정을 입체적으로 시뮬레이션 할 수 있는 어플리케이션에 대하여 소개한다. 수평 형태의 가상워크벤치 상에서는 건축가와 일반 사용자 혹은 견습 디자이너가 함께 참여하여 빌딩의 형태 및 색상, 재질 등을 인터랙티브하게 변화시키면서 디자인 된 모델을 단계별로 입체 시뮬레이션 할 수 있도록 하였다. 대형의 스크린을 기반으로 하는 수직형 프로젝션 월에서는 디자인 된 빌딩의 입면도를 시뮬레이션하고 빌딩의 외부 및 주변 환경을 네비게이션 할 수 있도록 하여 동일한 모델을 서로 다른 시점에서 관찰하고 의견을 교환하여 이를 모델링에 반영할 수 있도록 하였다.