• Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference
• /
• 2011.02a
• /
• pp.39-39
• /
• 2011

반도체 생산의 주요 공정 중 하나인 세정 공정은 공정 중 발생하는 여러 가지 부산물에 의한오염을 효과적으로 제거하여 수율 향상에 큰 영향을 미친다. 현재 주로 쓰이는 세정 공정은 습식 세정 공정으로 화학 약품을 이용하지만 패턴 손상 및 웨이퍼 대구경화에 따른 문제 등이 대두되어 이를 대체할 세정 공정의 도입이 요구되고 있다. 이에 따라 건식 세정에 대한 관심이 증가하고 있으며 에어로졸 세정이 대표적 공정으로 개발 되었으나 마이크로 단위의 발생 에어로졸 입경으로 인해 패턴 손상 문제를 해결하지 못하였다. 이러한 문제점을 극복하기 위하여 응축에 의해 형성되는 입자 크기를 줄이는 것에 관한 연구가 진행되어 왔고, 대응 방안으로 개발된 것이 가스 클러스터 세정이다. 가스 클러스터란 작동 기체의 분자가 수십, 수백 개 뭉쳐있는 형태 (cluster)를 뜻하며 이 때 형성된 클러스터는 수 nm 크기를 가진다. 그리고 짧은 시간의 응축에 의해 수십 nm 크기까지 성장하게 된다. 즉, 입자로 성장할 수 있는 시간과 환경을 형성하지 않음으로써 작은 크기의 클러스터에 의해 패턴 사이의 오염물질을 물리적으로 제거하고 다시 기체상 물질로 환원되어 부산물을 남기지 않는 공정이다. 이러한 작동 환경을 조성하기 위해서는 진공도와 노즐 출구 속도에 대한 설계 단계부터의 이론적 연구를 통한 입자 크기 예측과 세정 조건에 따라서 발생하는 클러스터의 크기 분포 특성을 측정하는 것이 필수적이다. 따라서 본 연구에서는 실시간 저압 환경에서의 측정이 가능하며, 다양한 크기의 입자를 실시간으로 측정할 수 있는 particle beam mass spectrometer (PBMS)를 이용하여 세정 공정 중 발생하는 클러스터의 크기 분포를 측정하는 연구를 수행하였다. 클러스터의 측정은 노즐에 유입되는 유량과 냉매 온도를 변수로 하여 수행하였다. 각각의 조건에 따라서 최빈값은 오차범위 내에서 일정한 것을 확인하였으며, 50 nm 이하의 값으로 가스 클러스터 공정이 패턴 손상 없이 오염입자를 제거할 수 있음을 실험적으로 확인할 수 있었다. 또한 유량의 증가에 따라 세정에 사용되는 클러스터의 입경이 증가하며, 냉매 온도가 낮아질수록 클러스터 입경이 증가하는 경향을 확인할 수 있었다. 클러스터 크기는 오염 입자와의 충돌에 의해 작용하는 힘으로 오염입자를 제거하는 메커니즘을 사용하는 가스 클러스터 세정 장치에 있어 중요성이 크다 할 수 있으며 추후 지속적 연구에 의한 세정 기술의 최적화가 기대된다.

• Journal of the Korean Geotechnical Society
• /
• v.33 no.9
• /
• pp.23-34
• /
• 2017

In order to develop urban underground spaces, even microcracks should be reinforced. In this paper, the grouting injection performance for microcracks was investigated considering the viscosity and particle size of the grouting materials, injection pressure, and crack width. There are two types of typical grouting materials used for filling micro-cracks. One is a chemical liquid grouting material which is a solution type and the other is a cementitious grouting material which is a suspension type. The injection performance of the grouting materials for microcracks is generally influenced by the viscosity, and the injection performance of the cementitious grouting material is additionally affected by the particle size. From laboratory tests, the viscosity was calculated inversely to provide a suitable viscosity measurement method for each grouting material. The groutability ratio based on the relationship between the crack width and the particle size was evaluated to estimate the grouting feasibility of the cementitous grouting material through microcracks.

• Journal of the Korean Geographical Society
• /
• v.32 no.4
• /
• pp.435-444
• /
• 1997

Bars in a river bed show the flow of the river, the shape of a river bar can be easily measured in any river. The purpose of this study is to research the morphological characteristics of river bars. The case study area is the lower Golgi River, six bars were examined. All six bars are gravel bars with a grain size in excess of 2 millimeters. Four of the bars are longitudinal bars, in which the direction of the bar follows the river current. After analyzing the gravel in the bars, it was determined that as the gravel flows down the river, gravel grain size decreases while grain roundness increases. The shape of bar varies locally according to flow regime, channel slope, and w/d ratio.

• Proceedings of the Korea Water Resources Association Conference
• /
• 2006.05a
• /
• pp.2016-2022
• /
• 2006

생태계에서 식생의 중요성은 식물이 일차적인 생산자로서의 역할뿐만 아니라 홍수 조절과 토양 등 지형의 여러 가지 환경요인을 변화시킨다. 일정 구간의 식물상과 식생분포는 그 하천의 환경요인과 밀접하게 연관되어 있으며, 환경요인의 변화에 따라 식물상과 식생도 영향을 받게 된다. 특히, 홍수 전 후에는 수중 및 수변에 분포하는 식물들에게 극히 민감하게 작용되고, 그 영향도 광범위하게 나타난다. 자연생태계에 있어 식생의 변화양상은 환경요인의 변화에 따라 달리 형성된다. 즉, 일정지역의 식물상과 식생은 지형, 토양(하상 입경의 크기), 수리 특성 등과 밀접하게 연관되어 있으며 이들 요인이 변하면 식물상과 식생도 영향을 받아 식물군락의 공간적 분포범위가 구별된다. 특히, 하천에서는 유수에 의한 지형 형성 과정이 역동적이며, 유수량과 수위의 계절적 변화가 심하여 식생의 구조, 공간적 분포가 다양하게 나타난다. 우리는 서울의 대표적인 도심 하천 중 하나인 도림천을 대상으로 조사하였다. 도림천을 4구간으로 홍수전($4{\sim}7$월), 홍수 후($8{\sim}10$월)로 나누어 월별로 식생의 분포와 거동특성, 수리 수질적인 특성에 대해 결과를 도출하였으며, 연구 결과를 통해 식생 별 하상입경의 변화와 하상변동, 세굴 및 퇴적 등을 분석하였다.

• Journal of the Korean Society of Hazard Mitigation
• /
• v.9 no.1
• /
• pp.115-121
• /
• 2009

It is to use effectively for stream channel and watershed management as the prediction and the analysis of bed changes characteristics in the Seomjin river downstream. The necessary data (section, bed composition material, pivot point water elevation, coefficient of roughness) with regard to analysis of the bed changes characteristics were based upon the survey data and analysis results in the Seomjin river maintenance basic plan. The prediction of bed changes was also completed with HEC-6 model. The study results were summarized as follows: The main factor of bed changes in the Seomjin river downstream can be decided by extreme extraction of bed aggregate rather than the change of hydrological data. According to the analysis of bed stability based on the relation between friction velocity and representative grain size, and the relation between dimensionless tractive force and representative grain size, the Seomjin river downstream appears to be increased overall. The bed composition material in the stream channel of the Seomjin river of 2003 year shows higher composition rate of gravel and lower composition rate of sand as compared to those of 1989 year. According to result that the prediction of bed changes, it is estimated that the bed will be risen approximately 1.5 m to the place up to 9 km from the estuary, have been repetitively risen and fallen up to 1 m to the place between $9{\sim}21\;km$ section, and fallen about 0.5m to the place between $22{\sim}25\;km$ section. As a result, the bed of the Seomjin river downstream can be decided to be risen gradually. However, since the prediction of this study is based on the assumption that there will be no forced aggregate picking, the bed changes can be much greater than expected when there is a massive aggregate picking as it had happened before.

• Journal of Environmental Science International
• /
• v.22 no.5
• /
• pp.563-570
• /
• 2013

Roughness coefficient was computed for review of applicability based on measurement of the representative grain diameter reflecting channel characteristics of Han Stream. After field survey, collection of bed material, and grain analysis on the collected bed material, roughness coefficient was computed using representative grain and existing empirical equation for roughness coefficient. Value of roughness coefficient calculated using equation by Meyer-Peter and Muller (1948) was 0.0417 for upstream, 0.0432 for midstream, and 0.0493 for downstream. As a result of comparing the computed roughness coefficient to other empirical equations for review of applicability, the coefficient was larger in Strickler (1923) equation by 0.006. Smaller coefficient was shown by Planning Report for River Improvement Works. Equation by Garde and Raju (1978) was larger by 0.004, and equations by Lane and Carlson (1953) and by Meyer-Peter and Muller (1948) were larger by 0.001. Such precise roughness coefficient is extremely important when computing the amount of flood in rivers to prevent destruction of downstream embankments and property damages from flooding. Since roughness coefficient is a factor determined by complicated elements and differs according to time and space, continued management of roughness coefficient in rivers and streams is deemed necessary.

• Proceedings of the Korea Water Resources Association Conference
• /
• 2007.05a
• /
• pp.638-642
• /
• 2007

댐 운영이 하류하천의 하도와 생태계에 미치는 영향권 범위를 설정하고, 영향정도를 정량화하고자 하는 연구는 그 중요성에도 불구하고 상당히 미흡한 실정이다. 본 연구에서는 댐 운영이 하류 하천에 미치는 영향을 지형학적, 수리 수문학적, 환경 생태학적, 사회적 영향권으로 구분하여 다각적인 측면을 고려한 댐 하류하천 영향권 범위 설정 기준을 제시하고자 한다. 첫째, 지형학적인 영향권 범위는 댐으로 인한 유사 공급 차단, 토시공급 능력 감소와 하상변동, 하상의 장갑화 현상과 같은 하상토 대표입경의 변화 등으로 설정한다. 둘째, 수리 수문학적인 영향권 범위는 홍수파 전달, 하도의 홍수조절효과, 홍수조절비, 유황변동 등으로 설정한다. 셋째, 환경 생태학적인 영향권 범위는 수질 변화, 하도내 식생분포 변화, 어류서식처 변화 하천 코리도의 토지이용 변화 등으로 설정한다. 그리고 홍수량에 따른 댐 하류하천의 홍수범람지구 및 댐 방류로 인한 하류하천 홍수소통 장애요인 등의 요인에 의한 사회적 측면에서의 영향권 범위를 설정한다. 본 연구에서 제시하고자 하는 영향권 범위 설정방법은 정성적인 의미가 크다. 따라서 댐 운영이 하류하천에 미치는 영향요인을 세부적하고 정량화 하는 연구가 지속적으로 시행되어야 할 것이다.

• Journal of Environmental Impact Assessment
• /
• v.28 no.5
• /
• pp.492-506
• /
• 2019

Heavy metal contaminants in the shooting range are mostly present in a warhead circle or a metal fragment present as a particle, these fine metal particles are weathered for a long period of time is very likely that the surface is present as an oxide or carbon oxide. In particular, lead which is a representative contaminant in the shooting range soil, is present as more fine particles because it increases the softness and is stretched well. Therefore, by physical washing experiment, we conducted a degree analysis, concentration of heavy metals by cubic diameter, composition analysis of metallic substances, and assessment of applicability of gravity, magnetism and floating selection. The experimental results FESEM analysis and the measurement results lead to the micro-balance was confirmed thatthe weight goes outless than the soil ofthe same size in a thinly sliced and side-shaped structure according to the dull characteristics it was confirmed that the high specific gravity applicability. In addition, the remediation efficiency evaluation results using a hydrocyclone applied to this showed a cumulative remediation efficiency of 71%,twice 80%, 3 times 91%. On the other hand, magnetic sifting showed a low efficiency of 17%,floating selection -35mesh (0.5mm)target soil showed a relatively high efficiency to 39% -10mesh (2mm) efficiency was only 16%. The target treatment diameter of soil washing should be 2mm to 0.075mm, which is applied to the actual equipment by adding an additional input classification, which would require management as additional installation costs and processes are constructed. As a result, it is found that the soilremediation of shooting range can be separately according to the size of the warhead. The size is larger than the gravel diameter to most 5.56mm, so it is possible to select a specific gravity using a high gravity. However, the contaminants present in the metal fragments were found to be processed by separating using a hydrocyclone of the soil washing according to the weight is less than the soil of the same particle size in a thinly fragmented structure.

• Proceedings of the Korea Air Pollution Research Association Conference
• /
• 2003.05b
• /
• pp.113-114
• /
• 2003

1 $\mu\textrm{m}$ 이하의 환경 나노입자는 대표적인 대기오염물질로 알려져 있고, 대기환경뿐만 아니라 호흡기 장애나 암을 유발시키는 등 인체에도 나쁜 영향을 미친다. 그러므로, 공기 중에 부유하는 환경 나노입자의 측정 및 평가는 매우 중요하다. 최근에는 대기 에어로졸의 입경별 질량농도분포 측정에 다단 임팩터가 널리 사용되고 있으며, 신뢰할 수 있는 데이터를 얻기 위해서는 임팩터의 입자채취 특성을 정확히 파악해야 한다.(지준호 등, 2001) 이러한 임팩터는 입자의 관성을 이용하여 입자크기를 분류하므로 주로 크기가 1 $\mu\textrm{m}$ 이상인 조대입자의 분류에 사용되었으나, 최근 1 $\mu\textrm{m}$ 이하의 나노입자에 대한 관심이 높아짐에 따라 저압이나 미세 오리피스를 사용하여 미세입자를 분류할 수 있는 임팩터가 개발되어 널리 사용되고 있다. (중략)

• Membrane Journal
• /
• v.5 no.1
• /
• pp.1-15
• /
• 1995

대기오염 문제가 국가적인 사회문제로 대두되면서 대기오염 방지장치의 수요가 급증하고, 점차 강화되는 환경오염 규제로 인하여 고효율의 오염방지장치에서 대표적인 집진장치 기술은 대기 및 실내오염 제어뿐만 아니라, 정확성이 높은 첨단 클리룸 수요의 증가 등으로 인하여 산업체의 각 분야에서 필수적이면서도 기본적인 기술이다. 대기중의 분진은 분자의 응축 및 핵생성 등에 의하여 발생되는 매우 미소한 입자($0.05{mu}{ extrm{m}}$단위)와 일반공장 및 작업장 등에서 발생되는 분진(0.1~$10{mu}{ extrm{m}}$) 그리고 바람에 의한 지표면의 흙, 모래 등에 의한 비교적 큰 분진 등의 광범위한 조성과 입경분포를 가진다. 이 가운데, 특히 산업발달에 따라 불가피하게 생성되며, 대기오염의 주종을 이루면서 인체에 가장 유해한 분진입자는 산업체의 오일 및 석탄연소 보일러, 자동차, 제철/제강 및 시멘트 플랜트 등으로 배출되는 미세입자들이며, 앞으로 이들의 제어에 관한 연구가 지속적인 관심의 대상이 될 것이다.