반도체 제조 공정 중 FAB공정은 수많은 단위공정들로 이루어져 있고, 한 Lot에 대한 모든 공정을 진행하는 데에는 약 1개월 이상이 소요된다. 반도체 산업의 특성상 고객이 원하는 제품을 최단 시간 내에 생산을 해서 적기에 제품을 공급해야만 최대의 수익을 올릴 수가 있다. 그러므로 FAB공정의 공기단축은 반도체 생산에서 중요한 부분이 된다고 할 수 있다. 본 연구는 FAB공정 중 단위공정과 단위공정 사이에서 이루어지는 작업을 라인자동화를 통한 새로운 모델을 적용해서 단위공정에서 소요되는 시간을 단축함으로써, 반도체 제조의 생산성향상 및 공기단축을 목적으로 한다.
반도체 Wafer Fabrication 공정은 무수한 공정과 복잡한 Lot의 흐름 등으로 다른 제조 형태에 비해 효율적인 관리가 대단히 어려운 부문이다. 본 연구는 반도체 Fab을 대상으로 주어진 생산 소요량과 목표 공기를 효율적으로 달성하기 위한 Shift 단위의 생산 일정계획을 대상으로 하였다. 특히, 전 공정 및 장비를 고려하기보다는 Bottleneck인 Photo 공정의 Stepper를 중심으로, 공정을 Layer단위로 묶어, 한 Shift에서 어떻게 Stepper를 할당하고 생산계획을 할 것인가를 결정하기 위한 2단계 방법론을 제시하고, Stepper 할당 및 계획에 필요한 3가지 알고리즘들을 제시하였다. 이 기법들을 소규모의 예제들에 대해 적용한 결과와 최적해와의 비교를 통하여 그 성능을 평가하였다.
오류역전파 신경망을 인산형 연료전지의 조업변수인 산소 및 수소 유량, 작동온도에 대하여 학습시켜 연료전지 모델을 구성하였다. 또한 구성된 모델을 이용하여 다양한 조업조건에서의 단위전지 성능을 예측하여 이를 실험결과와 비교하였으며, 학습된 신경망을 ASPEN PLUS의 단위공정으로 도입하여 50kW 출력의 연료전지 공정을 구성한 후 조업변수에 대한 영향을 살펴보았다. 3개의 층으로 구성된 오류역전파 신경망은 학습단계상수와 모멘텀이 각각 0.7 및 0.9인 경우 단위전지 성능곡선을 가장 정확히 학습하였으며, 이에 의하여 구성된 신경망 모델은 수소 및 산소의 유량, 온도의 변화에 따른 단위전지 성능곡선의 변화를 정확히 예측하였다. 연료전지 전체공정의 모사에서는 개질기의 경우 $600^{\circ}C$의 상압에서 수증기/탄화수소 비율이 2.6일 때, 연료전지의 경우 작동온도가 190~20$0^{\circ}C$일 때 연료전지의 출력이 최대값을 나타내었으며, 단위전지의 전기화학적 효율은 약 45%, 수소이용률은 약 61%, 발전시스템 전체의 효율은 18%이었다.
현대는 생산성 향상을 위하여 이런 방법이 사용되는데 그중 공장 측면에서는 공장 자동화를 함으로서 생산성 향상을 기하는 방법을 사용하고 있다. 공장 자동화의 첫 단계는 각 단위 공장의 자동화이다. 우리나라 현황을 보면 소수의 발전된 공장의 경우 라인의 자동화가 구축되어 있으며 대다수의 기업은 단위 공정의 자동화 장치가 설치되고 있다. 그러나 현재 설치된 장비로서 더 이상의 생산성을 높이기 위해서는 각 단위 공정간의 협력 또는 공조체계 및 사무자동화와의 인계가 이루어져야 한다. 이에 본 논문에서 제시된 공정 감시 제어 SYSTEM은 각 공정의 자동화를 이루고 각 단위 공장의 자동화를 이루고 각 단위 공정을 MAIN COMPUTER와 연결하여 모든 공정을 MASTER SYSTEM화하여 통계처리 및 감시 기능을 하고자 하여 생산성을 향상시키고자 한다.
전기로 분진에서 조산화 아연을 회수하는 리싸이클링 공정을 검토하기 위하여 국내 및 해외에서 가동되는 전기로분진 처리공정을 구성 단위공정별로 분석하였다. 이로부터, 조업 중인 공장 별로 가동 시기 및 공장 환경에 따라 세부 구성설비에 커다란 차이가 있음을 알 수 있었다. 따라서 새로운 전기로분진 처리설비를 설계하거나 도입할 때 필요한 설비와 반응측면에서의 기본적인 검토 인자들을 도출하였다.
공정연계를 최소호하는 IGCC 시스템에 대한 개념설계를 수행하였다. 공정분석은 상용코드인 ASPEN PLUS를 이용하였다. 가스화기의 적절한 운전조건을 찾기위하여 가스화기를 경계조건으로 하는 액서지 민감도분석을 통하여 투입되는 슬러리와 산소의 조건을 결정하였다. 또한 , 생성가스 냉각시 현열을 최대한 회수학 ldn하여 , 열교환망을 통하여 급수를 에열하고 가스화플랜트의 각 부분에 공급하도록 공정을 구성하였다. 여분의 가열된 급수는 갑압증발시켜 복합사이클에서 동력을 생성시키는데 사용되어진다. 이와 같은 시스템은 , 가스터빈 -ASU-가스화플랜트의 공기에 의한 공정연계와, HRSG-가스냉각 및 정제시스템 간의 증기연계를 가능한 적게함으로써 공정의 운전성과 경제성을 최적으로 유지할 수 있다. 본 연구에서 제시하는 공정의 경우에, 열효율이 약 39%(고위발열량 기준)으로 나타났으며, 단위 기기 및 단위공정들의 최적화를 통하여 40%의 효율달성이 가능할 것이다.
건설공사에서 공정관리는 중요하다. 특히 공동주택의 경우 입주일이라는 절대공기의 준수가 매우 중요하다. 이와 같은 공정관리를 위해 공동주택공사에서는 공종별 진도관리가 필요하며, 이는 진도율 산정을 통하여 일정계산 및 기성 산정의 척도로서 사용되고 있다. 현재 국내의 공동주택 건설현장에서 사용되고 있는 대부분의 진도율 산정방식은 경험과 개략적인 수치에 의한 판단에 의존하는 경우가 많아공정의 계획과 공정의 지연시 합리적 만회 대책의 수립이 어려움등 한계를 보이고 있다. 이와 같은 문제를 해결하기 위하여 본 연구에서는 단위작업에서의 물량 달성율과 투입 노무량을 이용한 진도율 산정방식을 제시하고 있다. 즉, 단위작업 진도율은 단위작업에서 수집된 투입 노무량을 층단위의 전체 투입노무량 중의 가중치로 환산하고 이를 물량달성도($\%$)와 곱하여 산출된다. 같은 방법으로 본 연구에서 제시하고 있는 작업분류체계의 상위단계인 층 진도율, 동 진도율을 산출하게 된다 공동주택공사의 골조공사를 대상으로 단위작업, 층, 동 진도율 산정방법을 예시로서 제시하고 있다. 이와 같은 진도율은 향후 단위작업의 노무생산성과 달성물량에 대한 실적데이터의 축적이 이루어질 경우 보다 합리적이고 과학적인 공정관리의 근간이 될 것으로 기대된다.
폴리에스테르 직물의 염색가공공정은 직물의 종류 및 용도에 따라 매우 다양하다. 최근에는 각종 신합섬 및 기능성을 갖는 제품의 등장으로 인해 기존의 공정이 세분화되어 적용되고, 각 공정의 조건 또한 복잡하다. 폴리에스테르 직물의 최종 물성은 이러한 단위공정의 영향을 크게 받는다. 동일한 생지를 사용한 직물의 경우에도 염색가공 공정 및 공정 조건에 따라 큰 차이를 나타내는 것으로 판단된다. 하지만 실제 생산 현장에서는 이러한 물성에 대해 객관적인 계측 없이, 최종 가공이 끝난 제품을 대상으로 몇몇 기술자의 경험에 의해 주관적으로 생산된 제품의 품질을 평가하고 있다. (중략)
졸겔법은 건식공정에서 습식공정으로 마이크로 단위에서 나노 단위로의 전환을 의미하는 정밀세라믹스의 제조공정에 새로운 개념으로서 세라믹스의 초기 제조공정에 표면이나 계면을 조절함으로써 재료내에 이들로 인해 발생하는 불균질을 제거하여 우수한 물성의 세라믹스를 얻고자 하는 것이다. 본 논문에서는 고출력 레이저 발진용 매질로 각광받고 있는 Nd:glass를 기존의 건식공정인 용융법대신 습식공정인 sol-gel process를 이용하여 제조하고자 연구하였다.
반도체 제조분야에서는 소자의 고집적화와 특수용도 IC의 수요증대, 제조기술의 급속한 발전과 제조업체간 경쟁심화 등으로 복잡한 제조공정의 합리적인 관리와 고가의 공정장비 이용률 증대, 수율 및 생산성 향상을 위하여 제조공정 자동화가 활발하게 추진되고 있다. 본고는 반도체공정 자동화용 통신규격인 SECS 프로토콜을 이용하여 단위공정 장비를 상위 제어 시스팀에서 원격 감시제어하기 위한 시스팀 설계 방법에 관하여 기술한다.
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[게시일 2004년 10월 1일]
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