• Proceedings of the Korean Institute of Surface Engineering Conference
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• 2011.05a
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• pp.125-125
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• 2011

티타늄 화합물은 뛰어난 물리적 특성과 인체 무해성을 가지고 있어 생체, 내식 및 내마모 재료 등에 널리 응용되고 있으며, 금(gold)색의 색상 구현을 통해 미적 기능성 향상을 위한 표면처리 분야에도 많은 관심을 받고 있다. 본 연구에서는 아크 방전법을 이용해 밀착력이 우수한 다층 TiN 박막을 제조하고 미세조직 변화에 따른 특성을 알아보고자 한다.

• Proceedings of the Korean Institute of Surface Engineering Conference
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• 2014.11a
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• pp.22-22
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• 2014

아연(Zn)을 대체할 수 있는 물질계 인 알루미늄(Al)과 마그네슘(Mg)을 본 연구에서는 전자빔 증착을 이용하여 냉연 강판 위에 다층으로 코팅하고 열처리를 실시하여 전자현미경 및 글로우방전 분광기를 이용한 코팅층의 특성 분석 및 염수 분무시험을 통해 내식성을 평가하였다.

• Proceedings of the Korean Institute of Surface Engineering Conference
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• 2012.05a
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• pp.346-346
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• 2012

탄소 탄소 복합재료(C/C Composites)는 모재의 성분이 탄소로 구성되어 있어 약 $500^{\circ}C$이상의 산화분위기에서는 쉽게 산화되는 결점을 가지고 있다. 본 연구에서는 내산화성을 향상시키기 위한 방법으로서 Plasma Spray 코팅방법을 사용하여 다층 코팅막을 형성시킨 후 $1500^{\circ}C$에서 10시간동안 산화시험을 하였다.

• Korean Chemical Engineering Research
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• v.59 no.4
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• pp.639-643
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• 2021

In this study, fluorinated ethylene propylene (FEP) nanoparticle as an adhesive for fabricating a three-dimensional multilayered microfluidic device was studied. The formation of evenly distributed FEP nanoparticles layer with 3 ㎛ in thickness on substrates was achieved by simple spin coating of FEP dispersion solution at 1500 rpm for 30 s. It is confirmed that FEP nanoparticles transformed into a hydrophobic thin film after thermal treatment at 300 ℃ for 1 hour, and fabricated polyimide film-based microfluidic device using FEP nanoparticle was endured pressure up to 2250 psi. Finally, a three-dimensional multilayered microfluidic device composed of 16 microreactors, which are difficult to fabricate with conventional photolithography, was successfully realized by simple one-step alignment of FEP coated nine polyimide films. The developed three-dimensional multilayered microfluidic device has the potential to be a powerful tool such as high-throughput screening, mass production, parallelization, and large-scale microfluidic integration for various applications in chemistry and biology.

• Korean Journal of Optics and Photonics
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• v.35 no.1
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• pp.1-8
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• 2024

Explicit expressions for the transmission pseudo-ellipsometric constants and transmittance of a semi-transparent glass substrate coated with thin films are presented to determine the optical constants of a very weakly absorbing thin film coated on a glass substrate. The intensity of the multiply reflected light inside the semi-transparent substrate is superposed incoherently and the light absorption by the substrate is properly treated, so that modeling analysis of thin films coated on a semi-transparent substrate can be performed with increased accuracy. The extinction coefficient derived from transmittance analysis is compared to that from ellipsometric analysis in the weakly absorbing region, and the difference between the two extinction coefficients is discussed in relation to the sensitivities of the transmittance and ellipsometric constants. This transmittance analysis, together with ellipsometric analysis, is applied to a glass substrate coated with a SiN thin film, and it is shown that the thickness and complex refractive index of the SiN thin film can be determined accurately, even though the extinction coefficient is very small.

• Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference
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• 2011.02a
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• pp.75-75
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• 2011

전이금속(transition metal) 질화물(nitride)은 높은 경도, 내마모성, 부식 저항성 그리고 내열성 등과 같은 우수한 기계적 물성 때문에 많은 연구가 되어 왔다. 이 중 질화 티타늄은 높은 경도, 내식 및 내마모의 우수한 기계적 특성으로 공구(tool)와 같은 제품의 수명 향상을 위한 표면 코팅으로 사용되어 왔으며, 금(gold)색의 미려한 색상을 이용한 제품의 외관 표면처리, 정형외과 및 치과용 보형물의 수명 및 안정성 향상 등 다양한 분야에 응용 되고 있다. 본 연구에서는 Cathodic Arc 코팅 방식을 이용하여 질화 티타늄을 합성하였으며, 경사 코팅에 따른 단층 및 다층 피막(3-layer)의 미세조직 변화와 그 물성을 평가하였다. 아크 소스에 장착된 타겟은 99.5%의 Ti 타겟을 사용하였고, 시편과 타겟 간의 거리는 약 31 cm이며, 시편은 알코올과 아세톤으로 초음파 세척 된 냉연강판과 SUS 304를 사용하였다. 시편을 진공용기에 장착하고 ~10-6 Torr까지 진공배기를 실시하고, Ar 가스를 진공용기 내로 공급하여 ~10-4 Torr에서 시편에 bias (Pulse : 400V)를 인가한 후 아크를 발생시켜 약 5분간 청정을 실시하였다. 플라즈마 청정이 끝나면 시편에 인가된 bias를 차단하고 코팅하였다. 경사 코팅을 위한 시편의 회전각은 $30^{\circ}$, $45^{\circ}$, $60^{\circ}$이며, 질화 티타늄의 두께는 약 $3{\mu}m$로 동일하게 코팅 하였다. 경사 코팅된 박막의 경우는 동일 시간 코팅하였을 경우 경사각이 커질수록 두께가 감소하였다. 경사각에 따라 코팅 층이 성장하였고, Bias를 인가 할 경우에는 경사 입사의 효과가 상쇄됨이 관찰되었다. 또한 경사 코팅에 의해 제조된 티타늄 질화물의 경도는 저하 되었으며, $30^{\circ}$와 $60^{\circ}$에 비해 $45^{\circ}$ 경우 경도 저하가 가장 적었다. 결론적으로 Cathodic 아크 코팅 방법으로 질화티타늄을 합성하였고, 경사 코팅을 통해 박막의 미세조직 변화를 확인 하였다. 본 연구에서 얻어진 결과를 이용하여 다양한 구조로 박막의 성장을 유도 할 수 있으며, 이를 통해 경도, 내마모성, 내식성 등의 물성을 변화시킬 수 있는 장점을 가질 것으로 예상된다.

• Proceedings of the KIEE Conference
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• 1997.07d
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• pp.1232-1235
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• 1997

서로 다른 두께를 가진 다층구조 $BaTiO_3$ 박막의 절연신뢰성을 time-zero dielectric breakdown (TZDB) 기법과 time-dependent dielectric breakdown (TDDB) 기법을 사용하여 평가하였으며 통계적 방법을 이용하여 그 결과를 분석하였다. 다층구조 $BaTiO_3$ 박막은 rf-magnetron sputtering 방법으로 ITO가 코팅된 유리기판 위에 형성되었다 TZDB 측정 결과, 박막의 두께가 증가 할수록 최고 빈도수를 보이는 항복전기장의 세기는 낮아지는 것으로 확인되었으며, 두께에 따라 다른 항전기장의 분포를 보였다. TDDB 결과로부터 박막의 두께 증가에 파라 안정적인 시간거동 특성이 확인되었으며 이것은 항전기장의 분포 특성과 관계가 있는 것으로 보인다.

• Membrane Journal
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• v.8 no.1
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• pp.22-28
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• 1998

Multi-layered gelatin films were used for the preparation of diagnostic membranes to measure blood glucose concentration. Diffusion rates of glucose through multi-layer gelatin films were monitored to obtain blood-glucose level by using glucose dehydrogenase and diaphorase. The effects of coating edge distance, enzyme quantities, film thickness, and outside temperature on the maximum diffusion rates of glucose were examined.

• Proceedings of the Korean Institute of Surface Engineering Conference
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• 2012.11a
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• pp.52-52
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• 2012

• Proceedings of the Korean Institute of Surface Engineering Conference
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• 2003.05a
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• pp.6-6
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• 2003