Proceedings of the KIEE Conference (대한전기학회:학술대회논문집)

The Korean Institute of Electrical Engineers (대한전기학회)
권호 표지

Study on the Electric Property of multilayered $BaTiO_3$ thin film using t Reliability test

절연 신뢰성 평가를 이용한 다층구조 $BaTiO_3$ 박막의 전기적 특성 평가

  • 오정훈 (한국과학기술연구원 정보재료.소자연구센타) ;
  • 김영식 (한국과학기술연구원 정보재료.소자연구센타) ;
  • 이윤희 (한국과학기술연구원 정보재료.소자연구센타) ;
  • 박창엽 (연세대학교 전기공학과) ;
  • 오명환 (한국과학기술연구원 정보재료.소자연구센타)
  • Published : 1997.07.21
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Abstract

서로 다른 두께를 가진 다층구조 $BaTiO_3$ 박막의 절연신뢰성을 time-zero dielectric breakdown (TZDB) 기법과 time-dependent dielectric breakdown (TDDB) 기법을 사용하여 평가하였으며 통계적 방법을 이용하여 그 결과를 분석하였다. 다층구조 $BaTiO_3$ 박막은 rf-magnetron sputtering 방법으로 ITO가 코팅된 유리기판 위에 형성되었다 TZDB 측정 결과, 박막의 두께가 증가 할수록 최고 빈도수를 보이는 항복전기장의 세기는 낮아지는 것으로 확인되었으며, 두께에 따라 다른 항전기장의 분포를 보였다. TDDB 결과로부터 박막의 두께 증가에 파라 안정적인 시간거동 특성이 확인되었으며 이것은 항전기장의 분포 특성과 관계가 있는 것으로 보인다.

Keywords