• 한국광학회:학술대회논문집
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• 한국광학회 1997년도 Advance Program of 14th optics andquantum Electronics conference, 1997제14 회 광학 및 양자전자 학술 발표회 논문 요약집
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• pp.65-65
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• 1997

• 한국정밀공학회지
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• 제26권11호
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• pp.77-84
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• 2009

Alignment error of the BGA lithography equipment is mainly caused by the dimensional change of the BGA panel which is generated during the manufacturing processes. To minimize the alignment error, 'mark alignment' algorithm in place of 'center alignment' algorithm was proposed and the optimal solution for the algorithm was derived by simple analytic form. The developed algorithm distributes evenly the alignment error over the whole panel which was evaluated by the numerical simulation. Finally, the developed algorithm was implemented to the controller of the lithography equipment and the alignment error was measured at the fiducial mark location. From the measurement, it is also concluded that the developed alignment algorithm be effective to reduce the maximum value of alignment error.

• 대한전기학회:학술대회논문집
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• 대한전기학회 1999년도 추계학술대회 논문집 학회본부 C
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• pp.1164-1166
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• 1999

본 연구에서는 3차원 회전체 구조물을 제조하기 위해 회전노광장치를 설계하여 제작하고 마이크로렌즈 제작용 X-선 마스크와 PMMA 기판을 정밀하게 회전시켜 노광함으로써 3차원의 마이크로렌즈를 제작하였다. 제작된 마이크로렌즈의 크기는 직경이 $50{\sim}700{\mu}m$이었고, 또한 이러한 방법으로 원통형 렌즈, 계란형 렌즈 등을 제작함으로써 X-선 사진식각공정으로 정밀도가 높은 다양한 3차원의 회전체 구조물을 제조하는 방법을 제시하였다.

• 대한전기학회:학술대회논문집
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• 대한전기학회 1999년도 하계학술대회 논문집 G
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• pp.3276-3278
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• 1999

LIGA 기술을 제품의 대량생산에 적용하기 위해서는 한번에 넓은 면적을 노광할 수 있는 X-ray 마스크가 요구된다. 기존에 널리 사용되고 있는 SiN 멤브레인 마스크는 내구성이 좋지 않고 면적을 크게하기 어렵다. 따라서 본 연구에서는 이러한 단점을 보완하기 위해 상용 graphite sheet를 이용하여 X-ray 마스크를 제작하였다. 제작된 graphite 마스크와 SiN 마스크를 이용하여 동일한 조건에서 X-ray 노광 실험을 하였고 마스크의 외형변화를 관찰하였다. 그 결과 SiN 마스크는 에너지 2.3GeV, 평균 전류 110mA에서 약 18시간 만에 파괴되었으나 graphite mask는 60시간 경과 후에도 육안상의 변화는 관찰되지 않았다. 또한 graphite 마스크를 이용하여 제작된 미세구조물의 치수측정결과 오차가 $1{\mu}m$ 미만인 정밀한 구조물 제작이 가능함을 확인하였다.

• 한국정밀공학회:학술대회논문집
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• 한국정밀공학회 2003년도 추계학술대회 논문요약집
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• pp.141-141
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• 2003

• 한국재료학회:학술대회논문집
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• 한국재료학회 2001년도 추계 학술발표강연 및 논문개요집
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• pp.64-64
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• 2001

• 광학세계
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• 통권148호
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• pp.44-44
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• 2013

필옵틱스가 지난 10월 24일 신사옥 준공식을 열었다. 필옵틱스는 노광 및 레이저 장비 분야에서 차별화된 설계능력과 독보적인 기술을 보유한 업체로, 수원 첨단 산업 3단지로 사옥을 확장 이전하고 최첨단 장비와 생산 설비를 구축 완료했다.

• 인포메이션 디스플레이
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• 제10권5호
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• pp.33-38
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• 2009

• 한국세라믹학회:학술대회논문집
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• 한국세라믹학회 2003년도 추계총회 및 연구발표회 초록집
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• pp.57.1-57
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• 2003

• 한국재료학회:학술대회논문집
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• 한국재료학회 2002년도 추계학술발표강연 및 논문개요집
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• pp.69-69
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• 2002