Proceedings of the Materials Research Society of Korea Conference (한국재료학회:학술대회논문집)

Materials Research Society of Korea (한국재료학회)
권호 표지

Study on Ru/Mo/Si reflective multilayer mirror for EUV Lithography

극자외선 노광공정용 Ru/Mo/Si 반사형 다층박막 미러의 증착에 관한 연구

  • 김형준 (한양대학교 신소재공학부) ;
  • 이승윤 (한양대학교 신소재공학부) ;
  • 김태근 (한양대학교 신소재공학부) ;
  • 강인용 (한양대학교 세라믹공학과) ;
  • 정용재 (한양대학교 세라믹공학과) ;
  • 안진호 (한양대학교 신소재공학부)
  • Published : 2002.11.01
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Abstract

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