• 제목/요약/키워드: 노광기

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선형 CCD 센서를 적용한 ArF 파장대 웨이퍼 에지 노광장비의 제어에 관한 연구 (A Study on the Control Algorithm for the 300[mm] Wafer Edge Exposure of ArF Type using A Linear CCD Sensor)

  • 박홍래;이철규
    • 조명전기설비학회논문지
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    • 제22권6호
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    • pp.148-155
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    • 2008
  • 본 논문에서는 웨이퍼 에지 노광장비에 핵심 부분인 웨이퍼의 편심오차의 측정알고리즘과 플랫/노치의 방향을 해석하는 알고리즘을 제안하였다. 또한 새로 제안된 알고리즘을 전산 시뮬레이션을 통해 그 유효성을 확인하였으며 제작된 웨이퍼 에지 노광기에 적용하여 실제 장비에 적용 가능함을 확인하였다. 제안된 알고리즘을 위해 필요한 웨이퍼 에지 위치 검출방식에 있어 과거의 접촉식 방법을 사용함으로서 발생하는 파티클의 오염을 제거하기 위해 선형 CCD 센서를 적용한 비접촉 방식의 데이터 측정법을 적용함으로서 파티클의 오염을 제어 할 수 있었다.

UVA LED를 이용한 근접 노광용 렌즈 설계 기술 연구 (A Study of Lens Design Technique for Proximity Exposure Using a UVA LED)

  • 이정수;조예지;이현화;공미선;강동화;정미숙
    • 한국광학회지
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    • 제30권4호
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    • pp.146-153
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    • 2019
  • 노광기는 회로 패턴을 원하는 위치에 전사시켜주는 장비로 패턴을 광학적 특성의 변형 없이 기재 상에 나타내기 위해서는 노광광학계의 특성이 매우 중요하다. 따라서 미세회로 패턴을 형성하기 위해서는 조사 면적에 작은 발산각으로 입사되어야 한다. 또한, 광원에서 나온 빛이 감광제와 균일하게 반응해야 하기 때문에 높은 광효율과 조도 균일도를 가져야 한다. 본 논문에서는 협각 구현의 문제점을 해결하기 위한 방법으로 반사형 타입인 파라볼라 반사경과 비구면 렌즈 설계를 진행하였고, 배열 후 시뮬레이션 분석 결과 광속 각도, 균일도, 최대조도가 목표 성능을 만족하는 것을 확인하였다.

애니메이션에 나타난 풍자성 연구 -<대화의 차원>과 <이웃>을 중심으로 (The Study of Satire Shown in Animation -Focusing on and )

  • 최돈일
    • 만화애니메이션 연구
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    • 통권44호
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    • pp.143-161
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    • 2016
  • 이번연구에서는 작가주의 애니메이션의 역할을 중심으로 연구하였다. 작가주의 애니메이션은 대중적 기호나 특정한 집단의 이익과 입장에 구애받지 않고 작가의 예리한 시선으로 그 사회의 부조리를 재치 있고 통렬하게 풍자하여 사회의 긍정적인 변화를 유도하는 정화제 역할을 한다. 이러한 관점에서 애니메이션을 사회적 의미생산 도구로서 활용한 작가들 중 얀슈반크마이에르(Jan Svankmajer)의 <대화의 차원>(Dimensions of Dialogue, 1982)과 노만 맥라렌(Norman Mclaren)의 <이웃>(Neighbours, 1952)에 나타난 풍자성을 연구해 본 결과 다음과 같은 특징과 의미를 알 수 있었다. 첫째, <대화의 차원>은 이미지의 분절에 의한 연출과 옴니버스구성을 통해 인간사회의 부조리한 모순을 상징적이면서도 파격적으로 풍자 한 애니메이션이다. 풍자에 있어서도 역사, 사회, 인간에 대한 냉소적인 공격성이면에는 개량적 교훈의 메시지를 담고 있었다. 또한 소외된 세계, 혼돈스러운 형상, 부조리한 것의 유희 등 얀 슈반크마이에르만의 그로테스크한 이미지를 통해 작가의 초현실적인 절대적 현실성과 영상의 몰입도를 극대화하였다. 둘째, <이웃>은 인과관계에 의한 사건적 스토리구조로 실사촬영에 의한 픽실레이션기법을 통해 실사영화와는 차별화되는 비실사동영상의 핵심개념을 적용한 텍스트적인 애니메이션이라고 할 수 있다. 선한 인간이 물질의 욕망 앞에서 대립과 갈등을 넘어 극한의 폭력적 광기로 변질되는 과정을 슬랩스틱 한 과장된 동작과 유머로 블랙코미디 적으로 풍자하였다. 두 애니메이션에서 나타난 풍자방식은 휴머니즘과 도덕적 불감증에 대한 공격성에 있어, 무겁게 느낄 수 있는 내용을 반어적 웃음을 유발하는 작가의 독특한 이미지스타일과 상징어법을 통해 전달하고 있었다. 즉 작가는 애니메이션을 통해 공격대상 대한 파괴보다는 도덕적 관점에서 부정의 형식을 통해 건강한 사회변화를 위한 긍정의 의지를 담고 있는 것이다. 이렇듯 두 작품에서 나타난 풍자성은 애니메이션의 사회적 기능과 예술적 영향력을 극대화시키는 작가적 알레고리임을 알 수 있었다.