• Title/Summary/Keyword: 나노정밀도

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카본나노튜브의 유동장에서의 이동에 관한 Multi-physics 현상 해석

  • 권순근;김수현;유영은;한창수
    • Proceedings of the Korean Society of Precision Engineering Conference
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    • 2004.05a
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    • pp.143-143
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    • 2004
  • 탄소나노튜브는 고종횡비, 10nm이하의 매우 작은 직경, 높은 전기전도도 및 열전도도, 금속 및 반도체 특성 둥의 우수한 특성 때문에 많이 사용되고 있다. 최근에는 전기적 소자나 화학적, 기계적 센서 그리고 측정용 프로브로 사용될 목적으로 탄소 나노 튜브를 전극들 사이나 끝 단이 날카로운 탐침의 끝에 위치시키는 연구가 진행되고 있다. 탄소나노튜브를 끝 단이 날카로운 탐침의 끝에 위치시켜 CNT tip을 만드는 경우, 지금까지는 수동 조작(manipulation)에 의한 방법과, 화학기상증착법(Chemical Vapor Depsosition: CVD)에 의한 성장방법이 많이 사용되고 있다.(중략)

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Fabrication of Nano-bridge Using a Suspended Multi-Wall Carbon Nanotube (다중벽 탄소나노튜브를 이용한 나노 브리지 제작)

  • Lee, Jong-Hong;Won, Moon-Cheol;Seo, Hee-Won;Song, Jin-Woo;Han, Chang-Soo
    • Journal of the Korean Society for Precision Engineering
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    • v.24 no.3 s.192
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    • pp.134-139
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    • 2007
  • We report the suspension of individual multi-walled carbon nanotubes (MWNTs) from the bottom substrate using deep trench electrodes that were fabricated using optical lithography. During drying of the solution in dielectrophoretic assembly, the capillary force pulls the MWNT toward the bottom substrate, and it then remains as a deformed structure adhering to the bottom substrate after the solution has dried out. Small-diameter MWNTs cannot be suspended using thin electrodes with large gaps, but large-diameter MWNTs can be suspended using thicker electrodes. We present the statistical experimental results for successful suspension, as well as the feasible conditions for a MWNT suspension based on a theoretical approach.