• Title/Summary/Keyword: 나노정밀도

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Precision-structural Design for Scanning Probe Microscopes (주사탐침현미경을 위한 정밀 구조 설계)

  • Lee, Moo-Yeon;Shim, Jae-Sool;Lee, Dong-Yeon
    • Journal of the Korea Academia-Industrial cooperation Society
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    • v.11 no.11
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    • pp.4095-4099
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    • 2010
  • Nano-measurement systems such as scanning probe microscopes should be protected against external disturbances. For the design of a scanning probe microscope, the external vibrations need to be characterized and the vibrational properties of the structural frame itself should be modeled. Also, the influences of the external vibration on the apparatus need to be known for its utmost precision. In this paper, the combined vibrational-characteristics of the floor and the structural frame are analyzed and experimentally investigated.

A Design of Dynamic Structure Database for Ultra Precision FAB. Structure based on Semi-Empirical Method (준 경험적 기법에 의한 차세대 초정밀 FAB. 구조물의 통합 동적 구조 데이터베이스 설계)

  • Lee, Hyun-jun;Lee, Kyong-oh;Lee, Gyu-seop
    • Proceedings of the Korea Information Processing Society Conference
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    • 2012.04a
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    • pp.868-871
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    • 2012
  • 반도체와 LCD 산업 분야, 나노급 공정 및 검사 기술이 요구되는 산업 분야의 수요 증가에 따라 초정밀 가공/생산/검사 장비를 설치, 운용하는 FAB. 구조물의 설계 요구가 층증대 되고 있다. 이에 따라 건물의 환경진동 규제치도 강화되고 있는 실정이다. 이와 같은, 대형 구조물에서 서브마이크로 수준의 미진동(微振動)을 제어하는 문제는 여전히 어려운 과제로 남아 있다. 이는 진동 응답을 결정하는 구조와 재료가 복잡하고 다양한 형태를 갖고 있는 반면, 다루어야 할 동적 응답은 극한적으로 작은 마이크로(micro) 이하의 값을 다루어야 한다. 그러므로, 기존에 이용되고 있는 해석과 실험의 결과만으로는 신모델 설계에 적용하는 것은 어렵다. 따라서, 본 논문에서는 이러한 영역의 경험적 데이터물을 체계적인 데이터베이스로 구축하여 새로운 동적 구조 설계 기술의 기반을 제공하고자 한다.

Stability Analysis According to Material Alteration on Micro Stage for Micro Cutting Machine (재질 변화에 따른 초정밀가공기용 마이크로 스테이지의 안정성 해석)

  • 김재열;곽이구;김항우
    • Transactions of the Korean Society of Machine Tool Engineers
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    • v.12 no.3
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    • pp.52-57
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    • 2003
  • In this paper, stability of ultra precision cutting unit is analyzed and this unit is the kernel unit in ultra precision processing machine. According to alteration of shape and material about hinge, stability investigation is performed Through this stability investigation, trial and error is reduced in design and manufacture, at the same time, we are accumulated foundation data for unit control.

Development of Micro/nanostructured Superhydrophobic Surface (마이크로/나노구조를 이용한 초발수 표면 특성 연구)

  • Lee, Ju-Yeong;Mun, Seong-Mo;Jeong, Yong-Su
    • Proceedings of the Korean Institute of Surface Engineering Conference
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    • 2013.05a
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    • pp.187-187
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    • 2013
  • 알루미늄 표면에 산/알칼리 에칭법을 이용하여 복합구조를 형성시키고 소수성 물질을 코팅한 후 접촉각과 구름각을 측정하여 초발수 특성을 확인하였다. 표면의 복합구조는 전자현미경을 이용하여 정밀하게 관찰되었고 표면의 구조 및 잔류물에 따른 초발수 특성의 변화를 관찰하였다. 이는 향후 다양한 기능성 코팅 소재 분야에 유용하게 적용될 수 있을 것으로 기대된다.

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지상세미나 - 정밀 광산업에서의 비구면 유리렌즈의 이해와 응용

  • 한국광학기기협회
    • The Optical Journal
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    • s.121
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    • pp.36-37
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    • 2009
  • 비구면 유리렌즈는 고성능, 고신뢰성과 더불어 기존 렌즈들의 한계였던 수차 및 선명도를 개선하고 고온고습에 강한 장점을 갖고 있다. 디지털카메라, 폰카메라, 정보저장기기, 스캐너, 프로젝터 등 고성능 고신뢰성을 요구하는 동시에 소형화 추세가 급속히 진행되는 디지털 이미징 시스템의 핵심부품으로 사용되고 있으며 다양한 응용분야에 활용될 전망이다. 본 고는 지난 3월 13일 창원컨벤션센터에서 (주)대호테크 주최로 열린 경남지역산업 중점기술개발사업 워크숍에서 초청강연을 한 재영솔루텍(주) 김동식 상무(나노광학사업부장)의 강연 내용을 요약 정리한 것으로 글로 기술하는 과정에서 다소 매끄럽지 못한 내용이 있을 수 있음을 밝혀둔다.

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The manufacture of Nd:glass by Using the sol-gel process (Sol-Gel 법을 이용한 Nd:glass의 제조)

  • Choi, Cheol-Ho;Kim, Jeong-Ho;Park, Yong-Pil
    • Proceedings of the KIEE Conference
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    • 2003.10a
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    • pp.140-141
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    • 2003
  • 졸겔법은 건식공정에서 습식공정으로 마이크로 단위에서 나노 단위로의 전환을 의미하는 정밀세라믹스의 제조공정에 새로운 개념으로서 세라믹스의 초기 제조공정에 표면이나 계면을 조절함으로써 재료내에 이들로 인해 발생하는 불균질을 제거하여 우수한 물성의 세라믹스를 얻고자 하는 것이다. 본 논문에서는 고출력 레이저 발진용 매질로 각광받고 있는 Nd:glass를 기존의 건식공정인 용융법대신 습식공정인 sol-gel process를 이용하여 제조하고자 연구하였다.

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Servo System Design of Probe Data Storage (탐침형 정보 저장 장치의 서보 시스템 설계)

  • Min, Dong-Ki;Hong, Seung-Bum
    • Proceedings of the KIEE Conference
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    • 2005.07d
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    • pp.2501-2503
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    • 2005
  • 탐침형 정보 저장 장치는 원자 현미경의 원리를 이용한 차세대 고밀도 저장장치로 여겨진다. 정보의 크기가 수십 나노미터 이하이므로 정밀한 위치 제어 알고리즘이 필수적이다. 본 논문에서는 별도의 위치 센서없이 복수개인 탐침을 이용하여 원하는 데이터 위치로 이동하는 servo algorithm, 정보 추종을 위한 tracking algorithm 및 위치 검출용 탐침의 수를 줄이고 최적 제어기 설계를 위한 노이즈 특성 안정화를 위한 servo code 설계법을 제안하고 제어기 설계법을 제안한다.

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InterOpto 2006 참관 및 일본 기술연수 이모저모

  • Korea Optical Industry Association
    • The Optical Journal
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    • s.105
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    • pp.44-48
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    • 2006
  • 한국광학기기협회는 한·일 광학기술협력사업의 일환으로 기술세미나, 기술지도, 기술연수 등 다양한 사업을 펼치고 있는 가운데 올해에도 국내 광학업체에서 기술연수단을 구성하여 일본‘InterOpto 2006’참관과 광학세미나 청강, 오하라광학 주식회사 및 니콘 주식회사 견학, 일본 동북대에서의‘차세대 초정밀 광학부품 나노가공’기술교육 등의 연수를 실시했다. 본 고에서는 이번 연수 참가자들의 연수 보고서 내용을 토대로‘InterOpto 2006’ 전시 경향 및 세미나 주요 내용, 오하라광학 공장 현황에 대해 정리해 보았다.

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