• Journal of the Korean Society for Precision Engineering
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• v.29 no.3
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• pp.266-272
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• 2012

This paper has aims to share fundamental knowledge for magnetic abrasive polishing and to mainly introduce recent research results. In order to enhance a magnetic flux density for nonferrous materials, advanced magnetic abrasive polishing system which is called 2nd generation system was established by electro-magnet array table, and the effectiveness of the electromagnet array table was evaluated in real polishing experiments. To increase adhesiveness of the abrasives in high speed polishing, a silicone gel agent was proposed and carbon nanotube particles as new magnetic abrasives were applied in the magnetic abrasive polishing. In addition, a strategy for optimal step-over determination by heuristic algorithm was introduced for applying large size workpiece. Curved surfaces having a uniform radius were simulated and tested with installed electro-magnet array table.

• Journal of the Korean Society for Precision Engineering
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• v.27 no.8
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• pp.84-90
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• 2010

In focused ion beam (FIB) fabrication processes the ion beam intensity with Gaussian profile has a drawback for high resolution machining. In this paper, the fabrication method to modify the beam profile at substrate using silt mask is proposed to increase the machining resolution at high current. Slit mask is utilized to block the part of beam and transmit only high intensity portion. A nano manipulator is utilized to handle the silt mask. Geometrical analysis on fabricated profile through silt mask was conducted. By utilizing proposed method, improvement of machining resolution was achieved.

• The Optical Journal
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• s.105
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• pp.49-56
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• 2006

한국광학기기협회에서는‘한·일 광산업 기술협력’을 보다 효율적으로 추진하기 위하여 해마다 일본 연수기관 및 기업에 대한 현장연수를 실시하고 있는 가운데, 올해는 처음으로 지난 8월에 일본정밀공학회(JSPE)에서 주최하는‘차세대 초정밀광학부품 나노가공기술연수’를 실시했다. 연수기관은 일본 센다이 소재의 동북대학(Tohoku University)으로 구리야가와 츠네모토 교수가 교육을 담당했다. 주요 연수 내용으로는 마이크로 광학부품가공/초정밀 비구면 렌즈 가공/전기점성유체를 이용한 비구면 렌즈 코아 연마/특수광학렌즈 SPDT 가공/초고속 가공/마이크로 AJM 가공/마이크로 초음파가공이며 본 고에서는 직접 연수에 참가 못한 독자들을 위해 연수내용을 번역 게재하고자 한다. 이달에는 제1장 연삭가공의 기초 게재를 시작으로 11월호에 이어서 나머지 2,3,4장 교육과정내용을 게재할 예정이다.

• Proceedings of the Korean Society of Precision Engineering Conference
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• 2002.10a
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• pp.128-131
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• 2002

Three Dimensional measuring system using optical interference is greatly needed for semiconductor surface or optical surface. The application of this system are : MEMS product, semiconductor surfaces, optical components, precise machined surface, etc. In this paper, Interferometry based measurement system is introduced, which is nondestructive and noncontact inspection system. This system have relatively many advantage, compared with AFM/STM, SEM, Stylus, etc. The developed system can measure the surface topography with high precision and resolution, and with few seconds. And the associated software algorithm is also developed for the ultra precision 3D measuring surface. Various samples that is measured using this system is showed in the latter of this paper.

• Proceedings of the Korean Society of Precision Engineering Conference
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• 2004.05a
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• pp.139-139
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• 2004

나노테크놀로지의 발전과 함께, 간섭계를 이용한 정밀 계측의 중요성이 더욱 더 높아지고 있다. 본 방법은, 간섭성을 가진 레이저의 파장을 계측의 척도로서 기준 평면으로 사용되는 참조면에 대한 상대 측정에 의해, 3차원 형상을 계측하는 것이다. 고로, 본 논문에서는 간섭계를 이용한 계측에서 고정밀도를 실현하기 위해서는 참조면의 교정이 중요하다는 기본적인 생각을 기초로, 참조면 오차(참조면의 이상적 평면으로부터의 차이)를 주로, 광학 부품에 의한 파면의 왜곡 등을 포함한 간섭계 시스템의 계통 오차를 결정하는 방법을 검토한다.(중략)

• Proceedings of the Korean Society of Precision Engineering Conference
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• 2004.05a
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• pp.148-148
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• 2004

전 세계적으로 컴퓨터 및 이동통신의 급속한 발전과 함께 전자, 통신부품을 비롯한 각종 부품들의 초소형화, 고기능화가 요구되고 있다. 이러한 추세에 따라 수 $\mu\textrm{m}$ 의 크기와 수 nm의 정밀도를 갖는 MEMS기술과 NANO 기술에 대한 연구가 활발히 전개되고 있다 MEMS 기술의 경우기존의 생산, 가공 공정과는 완전히 다른 반도체공정을 기반으로 한 리소그래피(lithography) 기술이나 전기도금(electroplating) 등의 기존 기계공학적 생산, 가공 방법을 넘어선 기술을 사용하게 되며 NANO 기술 역시 분자, 원자 단위를 기초로 한 AFM(atomic force microscope) 기술과 임프린팅(nanoimprinting) 기술 등의 새로운 기술을 접목시키는 생산 방법을 사용한다.(중략)

• Journal of the Korean Society for Precision Engineering
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• v.27 no.6
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• pp.7-16
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• 2010

Physical fundamentals of ultrashort femtosecond lasers are addressed along with emerging applications for precision manufacturing and metrology. Femtosecond lasers emit short pulses whose temporal width is in the range of less than a picosecond to a few femtoseconds, thereby enabling extremely high peak-power machining with less thermal damages. Besides, the broad spectral bandwidth of femtosecond lasers constructed in the form of frequency comb permits absolute distance measurements leading to ultraprecision positioning control and dimensional metrology.

• Journal of the Korean Society for Precision Engineering
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• v.15 no.9
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• pp.152-157
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• 1998

Since early 1960s, the high precision machining technology, so called ultra-precision technology or nano technology, has been developed in many Held based on single point diamond turning technology. The major application of this technology is the optical components with aspherical surfaces. Now a days, customer requires the smaller and lighter optical elements, such as camera video and etc., with higher performance for convenience. So, the manufacturer focuses on the ultra-precision technology. Thus, this technology becomes the major target to challenge the advanced barrier for the next machining technology.

• Proceedings of the Korea Information Processing Society Conference
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• 2012.11a
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• pp.1245-1248
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• 2012

반도체와 LCD 산업분야, 나노급 공정 및 검사기술이 요구되는 산업분야의 수요증가에 따라 초정밀 가공/생산/검사 장비를 설치, 운용하는 FAB. 구조물의 설계요구가 증대되고 있으며, 건물의 환경진동 규제치도 강화되고 있는 실정이다. 이와 같은 대형 구조물에서의 서브 마이크로 수준의 미진동(微振動)을 제어하는 문제는 진동 응답을 결정하는 구조와 재료가 복잡하고 다양한 형태를 갖고 있는 반면, 다루어야 할 동적 응답은 극한적으로 작은 마이크로 이하의 값을 다루어야 하기 때문에 매우 어렵다. 따라서 기존에 이용되고 있는 해석과 실험의 결과만으로는 신모델 설계에 적용하기 어렵다. 따라서, 본 논문에서는 실험적 데이터와 경험적 데이터들을 기반으로 구축된 데이터베이스를 이용하여 새로운 초정밀 FAB. 동적 구조 설계 시스템을 구현한다.

• The Transactions of the Korean Institute of Power Electronics
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• v.9 no.5
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• pp.485-490
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• 2004

This paper presents a new interpolation algorithm for measuring high resolution position information which is prepared to a nino servo control motor using analog quadrature encoder. In the past, there are large capacity of memory(ROM or RAM) and two high price and resolution A/D(Analog-to-Digital Converter) for sensing two quadrature signals from a analog sinusoidal encoder interpolation. But high resolution of position from sinusoidal encoder can be obtained by using only small capacity of memory, one A/D converter and comparator. Experimental results show that the proposed algorithm is useful for measuring high resolution position.