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고전압 전력반도체 소자 개발을 위한 단위공정에서 식각공정과 이온주입공정의 영향 분석 (Analysis of the Effect of the Etching Process and Ion Injection Process in the Unit Process for the Development of High Voltage Power Semiconductor Devices)

  • 최규철;김경범;김봉환;김종민;장상목
    • 청정기술
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    • 제29권4호
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    • pp.255-261
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    • 2023
  • 파워반도체는 전력의 변환, 변압, 분배 및 전력제어 등을 감당하는데 사용되는 반도체이다. 최근 세계적으로 고전압 파워반도체의 수요는 다양한 산업분야에 걸쳐 증가하고 있는 추세이며 해당 산업에서는 고전압 IGBT 부품의 최적화 연구가 절실한 상황이다. 고전압 IGBT개발을 위해서 wafer의 저항값 설정과 주요 단위공정의 최적화가 완성칩의 전기적특성에 큰 변수가 되며 높은 항복전압(breakdown voltage) 지지를 위한 공정 및 최적화 기술 확보가 중요하다. 식각공정은 포토리소그래피공정에서 마스크회로의 패턴을 wafer에 옮기고, 감광막의 하부에 있는 불필요한부분을 제거하는 공정이고, 이온주입공정은 반도체의 제조공정 중 열확산기술과 더불어 웨이퍼 기판내부로 불순물을 주입하여 일정한 전도성을 갖게 하는 과정이다. 본 연구에서는 IGBT의 3.3 kV 항복전압을 지지하는 ring 구조형성의 중요한 공정인 field ring 식각실험에서 건식식각과 습식식각을 조절해 4가지 조건으로 나누어 분석하고 항복전압확보를 위한 안정적인 바디junction 깊이형성을 최적화하기 위하여 TEG 설계를 기초로 field ring 이온주입공정을 4가지 조건으로 나누어 분석한 결과 식각공정에서 습식 식각 1스텝 방식이 공정 및 작업 효율성 측면에서 유리하며 링패턴 이온주입조건은 도핑농도 9.0E13과 에너지 120 keV로, p-이온주입 조건은 도핑농도 6.5E13과 에너지 80 keV로, p+ 이온주입 조건은 도핑농도 3.0E15와 에너지 160 keV로 최적화할 수 있었다.

한국만화에 있어 대상의 사실적 표현과 그래픽 노블의 연관관계에 대한 연구 - 권가야의 <남한산성>작품을 중심으로 - (A Study of the Relationship between Realistic Expression of Objects and Graphic Novel in Korean Comics - Focused on the work by Kwon, Ga-Ya -)

  • 박희복;김광수
    • 만화애니메이션 연구
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    • 통권37호
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    • pp.361-392
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    • 2014
  • 회화에 있어서 대상을 사실적으로 표현한 작품들은 19세기 중반 프랑스에서 G.쿠르베가 당시의 아카데미즘 화풍에 반항하면서 사실주의를 주창하였고 이에 동조하는 H.도미에나 F.밀레와 같은 화가들에 의해 사실주의풍의 작품들이 본격적으로 제작되었다. 이후 사실주의는 미술을 비롯해서 문학영역 전반에까지 확대되었고 예술작품과 문학작품에 지대한 영향을 주었다. 만화 또한 회화의 한 형식으로서 그 역사적 맥락을 같이하며 사실주의적인 만화가 당시의 화가나 만화가들에 의해 제작되어지기 시작하였다. 이러한 사실주의 만화(Realism Comics)는 사실에 기초해서 이야기를 다룬 만화로서 내용적으로는 당대의 사회적 현실을 객관적으로 묘사하고 재현시키는 것이 가장 중요한 목적중의 하나였지만 시각적 측면 즉, 대상의 표현 면에서는 반드시 사실적이라고 단정 지어 말할 수는 없었다. 그러던 중 1980년대 이후 미국과 유럽을 중심으로 만화와 소설의 중간 형식을 띈 그래픽 노블이 탄생하게 되었다. 그래픽 노블은 슈퍼 히어로물이 넘쳐나던 미국 만화시장에 문학성과 예술성이 강한 형식과 양식을 갖추고 나타났으며, 그 주요 특징으로는 내용적으로나 시각적으로나 매우 사실적으로 표현되어 있다는 점이다. 이는 마치 그 서사구조나 그림들이 그래픽으로 연출된 소설이나 문학작품을 보는 듯 복잡하고 섬세하며 예술적 작품성까지 지니고 있다. 그래픽 노블에서 보여 지는 사실적 표현의 특징들은 이전의 만화작품과 비교하여 볼 때 상당히 큰 차이점들을 발견할 수 있다. 시대의 유행을 따르기보다는 개성이 강한 작가주의적 그림 스타일의 특색을 보이며, 작품의 완성도가 상당히 높으면서도 독창적이고 실험적인 표현기법이나 방식들로 인해 회화나 일러스트와 같이 예술작품으로 인정받기 시작했다는 점에서 주목할 만하다. 최근 국내에서도 헐리우드 블록버스터 영화가 잇따라 개봉되어 흥행에 성공하면서부터 원작 그래픽 노블에 대한 관심과 수요가 증가되었다. 따라서 많은 원작 그래픽 노블이 번역되어 판매되기 시작하였고 이러한 세계적인 흐름과 유행에 발맞추어 한국의 일부 작가들이 그래픽 노블류의 작품들을 제작하기 시작하였다. 그러나 그래픽 노블을 표방하며 제작되어진 국내 작품들을 살펴보면 그 형식과 정통성 측면에서 여러 가지 견해가 있다. 이러한 시점에서 본 연구는 한국적 그래픽 노블의 대표적 작품이라고 할 수 있는 권가야의 <남한산성>에 초점을 맞추었으며, 특히, 대상의 사실적 표현이라는 시각적 측면에 중점을 두고 그 특징들과 유사성 등을 분석해보고자 한다. 본 연구를 통해 국내 그래픽 노블에 대한 정체성과 현주소를 되짚어보고 미국이나 유럽 그리고 일본의 그래픽 노블과는 차별화된 우리만의 독창적인 소재를 개발, 활용함으로써 한국적 그래픽 노블이 경쟁력을 갖춘 만화의 한 장르로 더욱 발전할 수 있도록 모색하는 계기가 되었으면 한다. 더 나아가 침체되어 있는 국내 만화시장에 새로운 활력소가 되기를 희망한다.

전립선암 치료 시 Tomoimage에 기초한 Setup 오차에 관한 고찰 (Daily Setup Uncertainties and Organ Motion Based on the Tomoimages in Prostatic Radiotherapy)

  • 조정희;이상규;김세준;나수경
    • 대한방사선치료학회지
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    • 제19권2호
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    • pp.99-106
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    • 2007
  • 목 적: 방사선치료 중 환자의 자세나 해부학적 구조상 장기의 움직임과 치료 시 환자를 조준하면서 치료부위의 변화가 다양하게 발생할 수 있다. 이와 같은 요인은 종양부위나 정상조직에 대한 선량분포에 영향을 미치게 된다. 이는 치료계획용전산 화장비에 의해 계산된 선량이 실제임상 치료 시 서로 다른 선량이 조사될 수 있다. 인체의 생리학적인 움직임과 장기 내의 움직임 등은 고정기구나 정확한 환자의 치료준비에 의해서 치료조준의 정확성을 높일 수 있다. 본 연구의 목적은 토모영상을 통해 육안적종양체적(Gross tumor volume, GTV)과 장기의 치료 간에 발생하는 차이점을 평가하고자 한다. 대상 및 방법: 본원환자로서 직장풍선을 이용하여 치료하는 전립선암 환자 3명을 대상으로 하였고, 3달 동안 영상 자료를 수집 하였다. 각 환자마다 치료횟수 26회에 대한 토모영상을 획득하였고, 총 76회의 토모영상을 수집하였다. 각각의 토모영상은 전산화단층촬영모의치료(Computed tomography simulation, CT-simulation) 시의 중심점을 이용하였고, 매 치료 시 직장풍선에 60 cc의 공기주입 후 항문 가장자리에서 6 cm 깊이에 고정하여 전립선의 움직임을 고정시킨 후 치료 전에 토모영상을 획득하였다. 토모영상은 5 mm 두께로 영상을 획득하였다. 본 연구의 분석방법으로 CT-simulation와 MVCT (Megavoltage computed tomography, MVCT)의 융합을 위하여 납 볼을 이용하여, 토모치료의 3가지 영상융합방법으로 Bone technique, bone/tissue technique, full image technique을 이용하여 치료준비(setup)의 오차를 분석하였다. 영상융합은 눈에 보이는 납 볼 기준으로 융합하고, CT-simulation 시 획득한 영상에 MVCT에서 얻어진 영상을 융합하여, 뼈와 직장풍선, GTV을 매 치료 시 각각 비교하였다. 최초 CT-simulation 시 기준점을 중심으로 평균과 표준편차는 X, Y, Z, Roll에 대하여 각각의 환자를 분석하였다. 결 과: 분석결과 각각의 방법에 위해서 직장풍선의 변화는 확연히 다르게 나타났다. 정량적으로 뼈를 이용한 영상융합 결과 X방향으로 최대 8 mm, Y방향으로 4 mm의 움직임을 보였다. 직장풍선 기준으로 영상융합 한 결과 X, Y 방향으로 6 mm, 16 mm로 분석 되었다. 한 환자의 경우 16 mm 이상의 움직임을 보였는데, 이는 직장내의 공기나 분비물에 의한 움직임으로 분석 되었다. GTV 기준분석 결과 X 방향으로 2.7$\sim$6.6 mm, 4.3$\sim$7.8 mm가 Y방향으로 움직임을 보였다. 본 연구에서 Roll에 대한 분석결과 영상융합과 분석상에서 확연한 차이점은 없었다. 분석결과 뼈 기준의 분석결과 0.37$\pm0.36^{\circ}$, GTV 기준분석 결과 0.34$\pm0.38^{\circ}$의 회전을 보였다.

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