• 제목/요약/키워드: 기계장비

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TRIZ기법에 의한 물류창고의 화재원인 및 4M에 따른 예방대책 분석 (Classification of Fire Causes in Warehouses Using the TRIZ Technique and Analysis of Preventive Measures Accordingto 4M)

  • 한상훈;공하성
    • 문화기술의 융합
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    • 제6권3호
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    • pp.401-412
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    • 2020
  • 이 연구는 TRIZ기법에 의한 물류창고 화재의 원인분석과 4M을 적용하여 화재예방대책을 제시하였다. 연구결과는 다음과 같다. 첫째, 창의적 문제해결기법인 TRIZ기법을 적용하여 물류창고 화재원인의 모순을 제시하였다. 둘째, 인적 요인, 물류창고의 화재대책으로 관리자의 안전 기준, 근로자 안전의식 강화, 샌드위치 패널의 작업자 시공기술 강화 등을 방안을 분석하였다. 셋째, 기계, 설비적 요인, 물류창고의 화재대책으로 안전시설, 안전장치 확대 설치, 화재 진압장비 도입 및 개발, 샌드위치 패널의 내화성능 향상방안을 제시하였다. 넷째, 작업, 환경적 요인, 물류창고의 화재대책으로 작업공법에 대한 안전수칙 및 관리감독 강화, 물건 적재 장소에 대한 방화구획설정, 성능위주설계 기반으로 한 방화구획의 설정방안을 제시하였다. 마지막으로, 관리적 요인, 물류창고의 화재예방대책으로 화재 위험도가 낮은 특정소방대상물, 화재안전기준을 적용하기 어려운 특정소방대상물에 샌드위치 패널이 불연재료 이상 재질 규정을 검토, 물류냉동 창고에 스프링클러설비를 설치, 샌드위치 패널 구조인 물류창고에는 바닥면적의 크기와 관계없이 자동설비의 설치를 의무화하되 소급적용하는 방안을 제안한다.

뉴 노멀 시대하 한국기업의 R&D투자가 산업간 기술파급에 미치는 영향 (The Impact of Enterprise R&D Investment on Inter-industry Technology Spillover in Korea under the new Normal Era)

  • 김선재;이영화
    • 한국콘텐츠학회논문지
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    • 제13권2호
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    • pp.390-399
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    • 2013
  • 본 연구는 금융위기 이후 새로운 질서로 부상되고 있는 뉴 노멀 시대하 한국 기업의 R&D투자가 각 산업에 미치는 기술파급효과를 생산유발효과, 전후방연관효과, 기술집약효과, 기술확산효과를 통하여 분석하였다. 분석결과 먼저, 생산유발계수가 높은 부문으로는 전문과학 및 기술서비스, 금속제품, 일반기계 등인 반면 비교적 작은 부문으로는 석유 및 석탄제품, 전력, 가스 및 수도 등으로 나타났다. 또한, 산업간 전 후방연관효과를 나타내는 감응도계수와 영향력계수는 비금속광물제품이나 수송장비 등의 부문에서 비교적 높게 나타나 이들 산업을 중심으로 R&D투자를 통한 기술혁신과 생산성 증대가 이루어진다면 여타 산업에 큰 파급효과를 유발하게 될 것으로 보인다. 기술파급효과인 R&D집약효과와 확산효과에서는 두 효과 모두 비교적 높은 부문은 전기 및 전자기기, 정밀기기, 그리고 전문과학 및 기술서비스부문으로 이들 산업으로부터 많은 기술이 체화되어 이전되고 있음을 알 수 있다. 특이한 사항으로 최근에 각광받고 있는 과학전문 및 기술서비스업은 집약효과 및 확산효과 모두에서 높은 R&D투자효과를 보여주고 있어 앞으로 이들 산업의 육성이 필요시 된다고 하겠다.

플랜트 프로젝트관리를 위한 EPC전자업무절차시스템 개발 (Development Of EPC Project Management Procedure Manual System For Plant Project Management)

  • 박범진;이민재
    • 한국건설관리학회:학술대회논문집
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    • 한국건설관리학회 2006년도 정기학술발표대회 논문집
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    • pp.487-491
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    • 2006
  • 최근 고도의 산업 사회로 발전함에 있어 산업설비(플랜트) 건설부문이 새로운 성장 엔진으로 발전하고 있으며 타 산업에 부품 및 장비조달, 고용창출, 첨단기술 적용 등을 동해 파급효과가 매우 큰 고부가가치 산업으로 국가 경제성장에 원동력이 되고 있다. 플랜트 산업은 기계, 재료, 화학, 전자, 생물, 지질, 토목 등 여러 가지 요소기술이 복합적으로 적용되고, 엔지니어링, 기자재 제작기술, 컨설팅, 파이낸싱 등 지식 서비스를 필요로 하며, 기자재 및 인력수출이 가능한 차세대 성장산업임에도 프로젝트 수행단계별 업무절차의 정립이 부족하고, 그 적용 또한 체계적이지 못했던 것이 사실이다. 따라서 관련 기술력에 대한 국가차원의 선진화 전략과 체계적인 프로젝트 수행단계별 절차의 수립이 요구되고 있다. 이에 본 논문은 국내외 13개 대형건설회사의 업무절차서를 수집하였고 수집된 업무절차서의 분석을 통해 현재 산업계에서 사용하고 있는 업무절차서의 문제점을 분석하고 개선방안을 도출하였다. 개선방안은 미국 PMI(Project Management Institute)의 프로젝트관리 지식체계의 모태인 PMBOK(Porjcet Management Body Of Knowledge)의 이론을 바탕으로 합리적이고 효율적인 프로젝트관리를 위해 필요한 관리요소들을 도출하였으며, 아울러, 미국 CMAA(Construction Mangement Association of America)의 건설사업관리 업무범위에 대한 정의를 활용 EPC프로젝트의 효율적인 관리를 위해 필요한 관리요소들을 도출하고 표준화를 하여 개선된 전자업무절차시스템을 정립하였다.

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MO-PACVD 및 복합 플라즈마 공정에 의한 내마모 내식성 코팅 (Wear and corrosion coatings by MO-PACVD and dual plasma processes)

  • 김선규
    • 한국표면공학회:학술대회논문집
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    • 한국표면공학회 1999년도 추계학술발표회 초록집
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    • pp.3-4
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    • 1999
  • 최근 산업이 고속도화, 고능률화 및 고정멸화의 추세로 발전함에 따라 우수한 내마모성, 인성, 고온 안정성 및 내구성을 갖는 공구 및 금형을 요구하게 되었다. 그러나 이와같은 성질들은 어떤 단일 재료에서는 얻을 수 없으며 적당한 기판공구나 금혈위에 내마모성 보호피막을 coating함으로 비교적 저렴하게 얻을 수 있다. 화학증착법으로 TiC, TiN등을 증착시킬때에는 $1000^{\circ}C$정도의 반응온도가 필요하며 이러한 증착온도는 모재가 초경합금일때는 문제가 안되나 강재일 경우 모재의 연화와 칫수변화의 문제를 야기시킨다. 최근에는 플라즈마를 사용하여 증착반응온도를 $550^{\circ}C$ 이하로 낮추는 플라즈마 화학 증착볍(PACVD)이 대두되고 있다. 그러나 이 방법어서 는 뚱착하려는 금속원소가 TiCl4의 형태로 공급되고 있으므로 생성된 층이 염소를 포함하고 있다. 이 층에 잔존하는 염소는 층의 기계적 성질을 저하시키고 층내의 stress를 유발시킨다. 또한 HCI개스의 생성으로 인하여 펌프 및 장비의 부식이 촉진 된다 이러한 결점을 극복하기 위하여 금속유기화합물 전구체(metallo-organic precursor)로 $TiCl_4$를 대체하고자 하는 연구가 활발하게 진행되고 있으며 본 연구실에서 이에 대하여 연구한 결과를 소개하고자 한다. diethylamino titanium을 전구체로 사용하여 $H_2,\;N_2,\;Ar$분위기하에서 pulsed d.c.를 사용하는 MO-PACVD에 의하여 $150~250^{\circ}C$의 저온에서 Al 2024 기판에 TiCN층 형 성을 하였다. 전구체 증발온도는 $74~78^{\circ}C$의 온도범위어야 하며 고경도의 코탱층은 54% duty, 14.2kHz, 450V의 조건에서 얻어졌으며 duty, 주파수, 전압이 증가함에 따라 경도는 저하되었다. 이때의 표면 morphology를 SEM으로 조사한바 dome structure가 크게 발달되었음을 알 수 있었다. 본 실험의 온도 범위내에서 얻은 TiCN 증착반응의 활성화에너지는 7.5Kcal/mol이었다. 증착된 TiCN층은 우수한 내마모섣을 나타내었으며 스크래치테스트 결과 17N의 엄계하중을 나타내었다. 본 연구에서 변화 시킨 duty, 주파수, 전압의 범위에서는 층의 밀착력은 크게 변화하지 않았다. titanium isopropoxide를 전구체로 사용하여 Hz, Nz 분위기하에서 d.c.를 사용하는 MO-PACVD에 의하여 Ti(NCO) 코팅층을 SKDll, SKD61, SKH9 공구강에 형성시키는 공정을 개발하였다. 최적의 Ti(NCO) 코탱층을 얻기 위해 유입전구체 부피%의 양은 향착압력의 5%를 넘지 않아야 되고 수소와 젤소 가스비가 1:1일 때 가장 높은 코팅층의 경도값을 나타내었다. 수소와 질소 가스비가 3:7일 때 TiFeCr(NCO)의 복화합물 코팅층이 형성됨을 알 수 있었고 500t의 증착온도에서 얻은 Ti(NCO) 코팅층이 높은 경도값과 좋은 내식성을 나타내었다. 또한 이와같은 Ti(NCO) 코팅공정과 본 실험실에서 개발한 확산층만 형성시키는 plsma nitriding 공정을 결합하여 복합코탱층을 형성하였는데 이 복합코팅층은 고경도와 우수한 내마모성, 내식성 뿐만 아니라 10)N 이상의 뛰어난 밀착력을 나타내었다. 현재 많이 사용되고 있는 PVD법은 step coverage가 좋지 않은 점과 cost intensive p process라는 단점이 있다. MO-PACVD법은 이러한 문제를 해결할 수 있는 방법으로서 앞으로 지속적인 도전이 요구되는 분야이다.

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아크 이온플레이팅법으로 증착된 CrN계 박막의 특성 및 내마모성에 대한 연구

  • 백운승;여현동;박신민;채병규;김규호;권식철
    • 한국표면공학회:학술대회논문집
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    • 한국표면공학회 1999년도 추계학술발표회 초록집
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    • pp.37-37
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    • 1999
  • Cr-N 계 박막은 경도가 높고 치밀한 층을 형성할 수 있으므로 현재 금형과 기계류 핵심부품의 내마모 및 내식성 향상을 위한 대표적인 물질로 많은 주목을 받고 있다. 본 연구에서는 아크 이온플레이팅 장비를 이용하여 질소분압, 바이어스 전원 등의 변화에 따른 Cr-N계 박막의 결정성 및 표면상태, 증착율, 그리고 내마모성을 조사하였다. Cr-N 계 박막을 증착하기 위해서 사용한 시편은 $20MM{\phi}{\times}4mmt$ 크기의 고속도 공구강 디스크이었으며, Trichloroethylene에서 5분간 초음파 세척을 한 후 건조하여 진공용기 내에 장착하였다. 박막을 증착하기전 시편의 표면을 깨끗하게 하기 위해서 Ar 이온 충격으로 플라즈마 전처리를 하였다. 증착된 Cr-N 계 박막의 두께는 CALOTEST와 XRF 두께 측정기를 이용하여 측정하였으며, 박막의 결정성과 내마모성은 X-선 회절분석기와 tribometer로 관찰하였다. 아크 전류를 변화시키면서 증착한 Cr-N 박막의 경우 층작율은 아크 전류가 50A에서 80A로 증가함에 따라 45nm/min에서 87nm/min으로 증가하였다. 그리고 바이어스 펄스의 duty-on 시간과 주파수가 증가할수도록 박막의 증착율은 감소함을 알 수 있었다. Duty-on 시간과 주파수의 증가는 기판에 오랫동안 이온의 충격을 가하므로서 상대적으로 가벼운 질소이온이 크롬과 결합하는 것을 방해하여 박막의 증착율이 감소할 것이다. 기판에 인가하는 바이어스 펄스의 duty-on 시간을 변화시키면서 증착한 Cr-N 박막에 대한 X-선 회절상을 조사한 결과 duty-on 시간이 20%인 경우에는 Crn(111), CrN(200)와 Crn(220) 피크 들만 나타나 입방정의 CrN 박막이 형성되었으며, duty-on 시간의 증가에 따라 $Cr_2N$ 상의 형성이 점점 많아져 80% duty-on 시간 경우에는 거의 CrN과 $Cr_2N$ 상이 공존하는 것으로 나타났다. 또한 duty-on 시간이 증가할수록 회절피크의 세기가 증가하여 결정화가 더 많이 진행되어짐을 알 수 있었다. 마찬가지로 바이어스 펄스이 주파수에 다른 결정성의 변화도 펄스의 주파수가 증가할수록 박막이 결정성이 좋아지고 $Cr_2N$ 상이 쉽게 형성되었다. 증착 진공도에 따른 결정성은 상대적으로 질소의 농도가 높은 낮은 진공도에서는 CrN 상이 주로 형성되었으며, 반대로 높은 진공도에서는 $Cr_2N$ 상이 많이 만들어졌다. 즉 $1.3{\times}10^{-2}Torr$의 증착 진공도에서는 CrN 상만이 보이는 반면 $9.0{\tiems}1-^{-2}Torr$ 진공도에서부터 $Cr_2N$ 상이 형성되기 시작하여 $5.0{\tiems}10^{-2}Torr$ 진공도에서는 두개의 상이 혼재되어 있음을 알 수 있었다. 박막의 내마모성을 조사한 결과 CrN 박막의 마찰 계수는 초기에 급격하게 증가한 후 0.5에서 0.6 사이의 값으로 큰 변화를 보이지 않았으며, $Cr_2N$ 박막도 비슷한 거동을 보였다.

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해체공사비 산정을 위한 품산정 기준과 전산시스템의 개발 (Development of a Computer System and Suggestion of Man-Hours for Demolition Cost Estimation)

  • 김효진;강인석;이동욱;김창학
    • 대한토목학회논문집
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    • 제34권3호
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    • pp.1007-1015
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    • 2014
  • 지속가능한 발전을 추구하는 최근의 추세에서 해체산업은 자원의 재활용이나 재생측면에서 중요성이 더욱 커져가고 있다. 주택건립 및 기존주택현황을 고려할 때 해체시장의 규모는 계속 증가될 것으로 예측되고 있다. 그러나 국내에는 해체공사의 발주 및 입찰에 기본이 되는 내역기준이 매우 미비한 실정이고, 공사비를 산정하기 위한 전산시스템도 개발되어 있지 못하다. 따라서 본 연구에서는 분별해체에 대한 시험시공 자료를 분석하여 분별해체공사의 일위대가 산정에 도움 될 수 있는 품 21개 항목과 현재 해체공사에 가장 많이 활용되고 있는 1.0m3 급 압쇄장비의 작업능력을 제시한다. 해체공사의 원활한 공사비 견적을 위해 해체공사에 특화하여 단가정보, 단가관리, 표준일위대가관리, 일위대가표, 내역서 작성, 보고서 작성 시스템을 개발하였다. 공사비 견적 시스템은 기계식해체와 발파식해체에 공통 적용가능토록 구성하였다. 본 시스템의 가장 큰 특징은 표준 WBS를 활용하여 비용견적을 수행하는 것이다. WBS는 표준 일위대가표 및 표준 DB와 연계되어 견적에 경험이 없는 사용자도 견적작업을 수행할 수 있는 장점을 갖게 된다.

국제유가 변동이 수출물가에 미치는 비대칭적 영향 (Asymmetric Impacts of the Crude Oil Price Changes on Korea's Export Prices)

  • 홍성욱;김화년
    • 한국산학기술학회논문지
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    • 제17권4호
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    • pp.663-670
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    • 2016
  • 본 논문은 국제유가 변동이 한국의 제조업 품목별 수출물가에 미치는 비대칭적 영향을 분석했다. 수출의존도가 큰 한국 기업들에게는 국제유가 변동을 수출물가에 얼마나 전가할 수 있는가의 여부가 중요하다. 수출물가에 대한 유가 변동의 전이 정도는 산업별로 다를 것이기 때문에 본 연구에서는 제조업 중 8개 산업의 모형을 각각 추정했다. 분석을 위한 모형으로 비선형 자기시차(Nonlinear Autoregressive Distributed Lag) 모형을 이용했다. 이 모형을 이용 시 국제유가의 상승기와 하락기를 구분하여 장단기 수출물가에 미치는 전이 효과의 차이를 테스트할 수 있다. 국제유가가 상승과 하락 시 모든 품목의 수출물가도 상승과 하락하는 양(+)의 전이효과가 나타났으나, 일부 품목에서는 그 영향이 비대칭적으로 나타났다. 일반기계와 수송장비 등 5개 품목에서는 단기적 비대칭성이 나타났으며, 석유 및 석탄제품과 섬유 및 가죽제품의 경우 단기적 비대칭뿐만 아니라 장기 비대칭이 나타났다. 국제유가가 1% 상승 시 석유 및 석탄제품의 수출단가는 장기적으로 0.992% 상승하나 하락 시에는 수출단가가 0.977% 하락하여 통계적으로 유의한 비대칭성이 있는 것으로 분석되었다. 따라서 이러한 국제유가가 수출물가에 주는 비대칭적 영향을 고려해 기업의 전략과 정부의 수출 정책을 수립해야 할 것이다.

상하굴절형 내진패드를 설치한 수배전반 방재기술에 관한 연구 (A Study on the Disaster Prevention Technology of the Switchboard with Upper and Lower Bending Type Seismic Pads)

  • 이태식;석금철;이재원;김태진;김재권;조원철
    • 한국방재안전학회논문집
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    • 제10권1호
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    • pp.85-90
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    • 2017
  • 본 연구는 빌딩과 공공시설에 설치되는 중요 전기 시설물인 수배전반이, 규모 8.3급 지진에도 국내최초로 정상적으로 작동될 수 있도록, 전기를 사용하는 각종 시설물 및 기계장치의 전원공급 및 제어하는 수배전반 하부에 상하굴절형 내진패드를 설치하여, 수배전반 하부구조 보호와 상부에 케이블 단락방지 등이 가능하도록 하여, 상하좌우 모든 지진파에 잘 적응되는 내진형 수배전반 제조기술로 한국전력이 기준으로 제시한 GR-63-CORE(규모 8.3 급) 내진성능을 만족하는, 내진형 수배전반 방재기술이다. 연구 성과로서, 전기 및 통신 기반시설을 보호할 수 있게 되어 지진발생시 전기시설을 정상상태로 복구하는 시간을 단축하는데 기여할 수 있고, 지진발생시 전기공급 시설의 파괴로 인한 화재발생을 방지할 수 있어 일본의 경우처럼 대규모 지진 발생시 발생하는 화재의 확산을 최소화하여 인명피해와 재산피해를 최소화할 수 있으며, 시민들이 대규모 지진을 겪은 후에도 일상생활로 신속히 복구할 수 있는 전기기반시설을 확보 등에 기여할 수 있다. 또한, 통신 및 전산실의 장비의 내진을 확보하기 위하여, 본 기술이 적용될 수 있고, 나아가 지진시 기반이 흔들려 시설기능이 정지될 수 있는 분야에도 다양하게 적용될 수 있을 것이다.

교량의 동적 특성 분석을 위한 가속도 데이터의 해석 (Analysis of Measured Acceleration Data to Obtain Dynamic Characteristics of Bridges)

  • 이선구;이성우
    • 한국전산구조공학회:학술대회논문집
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    • 한국전산구조공학회 1995년도 가을 학술발표회 논문집
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    • pp.111-121
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    • 1995
  • 교량의 내하력이나 건전도 평가에 있어서 중요한 역할을 하는 동적 매개변수들을 계측함에 있어서, 계측장치를 포함하는 적절한 계측계획 뿐만 아니라 계측된 자료를 처리하는 과정이 계측결과로부터 정확한 자료를 구하는 데 큰 영향을 미친다. 특히, 동적변위를 계측시 고정점을 확보할 수 없는 경우에는 변위계의 설치가 곤란하여 변위웅답의 계측에 어려움을 겪고 있으며, 가속도의 적분을 통해 이를 구하는 경우도 이산처리 과정에서 주요한 진동수 성분이 누락될 수 있어 실제 거동과 크게 다를 수 있다. 동적계측에서 주로 측정되는 가속도 기록에는 가속도계나 기록장비의 특성에 따라 또는 자료의 이산화 과정에서 오차들이 발생하게 된다. 계측기계의 특성에 따른 오차는 계측기 제작기술의 발달로 어느 정도 보정이 되고 있지만, 이산화 과정의 오차는 지금까지 정확한 보정을 하지 못해 가속도 기록을 이용하는 데 한계가 있었다. 따라서, 가속도 기록의 수치처리 과정에서 발생할 수 있는 오차가 언급되며, 특히 이산화 처리과정에서 표본화 주파수를 적절하게 선정할수 있는 방법을 제시한다. 제안된 방법을 이용할 경우, 동적하중에 따른 변위응답을 가속도 기록으로부터 정확하게 구할 수 있으므로, 교량 또는 동하중을 받는 대형 구조물의 건전도 평가에 크게 기여할 수 있을 것으로 사료된다.

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마그네트론 스퍼터링에 의해 제조된 CrAlSiN 박막의 화학성분에 따른 온도저항계수와 미세구조

  • 문선철;하상민;김상호
    • 한국진공학회:학술대회논문집
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    • 한국진공학회 2013년도 제44회 동계 정기학술대회 초록집
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    • pp.100-102
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    • 2013
  • Magnetron-sputtering법을 사용하여 기존에 연구하였던 CrAlN (Cr 7:Al 3)박막에 Si를 첨가하여 Si의 함량 변화에 따라 미세구조와 화학적 결합상태, 온도저항계수(TCR) 및 산화저항의 영향과 기계적특성 개선을 통한 multi-functional heater resistor layer로써의 가능성을 연구하였다. CrAlSiN 박막의 Si 함량에 변화에 따라 온도저항계수 변화를 확인하였으며 X-선 회절 분석(XRD) 패턴 분석결과 CrAlSiN 박막의 결정구조가 Bl-NaCl 구조를 가지고 있는 것을 확인하였으며 SEM과 AFM을 통한 표면 및 미세구조 분석결과 Si의 함량이 증가할수록 입자가 조밀해짐을 알 수 있었다. 최근 digital priting technology의 핵심 기술로 부각되고 있는 inkjet priting technology는 널리 태양전지뿐만 아니라 thin film process, lithography와 같은 반도체 공정 기술에 활용 할 수 있기 때문에 반도체 제조장비에도 사용되고 있으며, 현재 thermal inkjet 방식을 사용하고 있다. Inkjet printing technology는 전기 에너지를 잉크를 배출하기 위해 열에너지로 변환하는 thermal inkjet 방식을 사용하고 있는데, 이러한 thermal inkjet 방식은 기본적으로 전기저항이 필요하지만 electrical resistor layer는 잉크를 높은 온도에서 순간적으로 가열하기 때문에 부식이나 산화 등의 문제가 발생할 수 있어 이에 대한 보호층을 필요로 한다. 하지만, 고해상도, 고속 잉크젯 프린터, 대형 인쇄 등을 요구되고 있어 저 전력 중심의 잉크젯 프린터의 열효율을 방해하는 보호층 제거에 필요성이 제기되고 있다. 본 연구는 magnetron-sputtering을 사용하여 기존의 CrAlN 박막에 Si를 합성하여 anti-oxidation, corrosion resistance 그리고 low temperature coefficient of resistance 값을 갖는 multi-functional heater resistor layer로써 CrAlSiN 박막의 Si 함량에 따른 효과에 초점을 두었다. 본 실험은 CrAlN 박막에 Si 함량을 4~11 at%까지 첨가시켜 함량의 변화에 따른 특성변화를 확인하였다. 함량이 증가할수록 amorphous silicon nitride phase의 영향으로 박막의 roughness는 감소하였으며 XRD 분석결과 (111) peak의 Intensity가 감소함을 확인하였으며 SEM 관찰시 모든 박막이 columnar structure를 나타내었으며 Si함량이 증가할수록 입자가 치밀해짐을 보여주었다.Si함량이 증가할수록 CrAlN 박막에 비하여 면저항은 증가하였으며 TCR 측정결과 Si함량이 6.5 at%일 때 가장 안정한 TCR값을 나타내었다. Multi-functional heater resistor layer 역할을 하기 위해서, CrAlSiN 박막의 원소 분포, 표면 거칠기, 미세조직, 전기적 특성 등을 조사하였다. CrAlN 박막의 Si의 첨가는 크게 XRD 분석결과 주상 성장을 억제 할 수 있으며 SEM 분석을 통하여 Si 함량이 증가할수록 Si3N4 형성이 감소하며 입자크기가 작아짐을 확인하였다. 면저항의 경우 Si 함량이 증가함에 따라 높은 면저항을 나타내었으며 Si함량이 6.5 at%일 때 가장 낮은 TCR 값인 3120.53 ppm/K값을 보였다. 이 값은 상용되고 있는 heater resistor보다 높지만, CrAlSiN 박막이 더 우수한 기계적 특성을 가지고 있기 때문에 hybrid heater resistor로 적용할 수 있을 것으로 기대된다.

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