• 한국기계연구소 소보
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• s.14
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• pp.61-71
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• 1985

• Journal of the KSME
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• v.48 no.4
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• pp.49-50
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• 2008

• 월간 기계설비
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• no.8 s.217
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• pp.81-85
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• 2008

• 월간 기계설비
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• no.8 s.217
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• pp.60-63
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• 2008

• 월간 기계설비
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• s.164
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• pp.36-40
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• 2004

• Journal of the KSME
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• v.52 no.5
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• pp.40-45
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• 2012

이 글에서는 반도체 산업에서 기계공학의 중요성과 반도체 공정 기술의 변화와 함께 요구되는 입자제어 기술의 현황에 대해 소개하고자 한다.

• 월간 기계설비
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• s.321
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• pp.70-71
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• 2017

• 월간 기계설비
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• s.321
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• pp.68-70
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• 2017

• 월간 기계설비
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• s.321
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• pp.67-68
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• 2017

• 월간 기계설비
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• s.323
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• pp.29-34
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• 2017