• Title/Summary/Keyword: 금속패턴

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Sub-micron패턴 형성을 위한 축대칭 이온광학계의 성능해석

  • Lee, Jong-Hyeon;Jang, Won-Ik;Yu, Hyeong-Jun
    • ETRI Journal
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    • v.11 no.1
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    • pp.75-88
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    • 1989
  • 액체금속 이온원에서 추출된 이온빔을 웨이퍼 위에 접속하기 위한 이온광학계에 있어서 축대칭 판형 전극의 전위분포를 계산하는 해석적인 방법을 제시하였다. 이 방법은 이온궤적, 수차 및 이온빔 직경등의 광학 특성을 보다 빠르게 계산할 수 있는 computer code의 개발에 이용되었다. 계산된 광학특성은 Burghard의 결과와 잘 일치하였으며, 기존의 Orloff.lens,Kurihara lens의 aperture 직경을 변화시켜 색수차를 줄이면 이온빔의 직경이 20% 정도 감소되었다. 또한 두개의 렌즈로 이루어진 이온광학계에 대한 전산모사를 통하여 일반적으로 collimated mode가 crossovered mode에 비해 작은 빔직경을 가지며, 5KeV, 50keV의 빔에너지에서 각각 Orloff lens/Orloff-reversed lens, Kurihara lens/Orloff-reversed lens로 조합된 경우가 빔직경의 관점에서 유리함을 알 수 있었다.

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고강도 LTCC 소재에서 glass 조성의 영향

  • Gu, Sin-Il;Sin, Hyo-Sun;Yeo, Dong-Hun;Kim, Jong-Hui;Park, Eun-Tae;Nam, San
    • Proceedings of the Korean Institute of Electrical and Electronic Material Engineers Conference
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    • 2008.06a
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    • pp.61-61
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    • 2008
  • 이동 통신의 급격한 발전에 따라 이동통신 기기의 부품들이 소형화되고 다양한 기능이 요구되어지고 있다. 이동 통신용 부품은 패턴의 미세화와 비아 수의 증가 등 고집적화로 인한 강도 요구로 LTCC 소재의 사용이 증가되고 있다. 또한 glass의 조성이 결정상 생성 및 복합체의 미세 구조에 영향을 미칠 것으로 기대되지만 유리의 조성에 관한 연구는 아직 미비하다. 본 연구에서는, anorthite를 생성시키는 LTCC composite용 glass에서 융점 및 Tg에 영향을 주는 것으로 알려진 B와 Zn의 양을 변화시키고 2가 금속(Mg, Sr, Ba)원소를 첨가함에 따라 compostite에서 아노사이트 상을 비롯한 결정상의 생성과 이에 따른 미세구조의 변화를 살펴 보았다. 조성변화에 따라 제조된 glass는 Tg를 측정하고, 제조된 glass를 $Al_2O_3$ filler와 혼합하여 tape casting 공정으로 시트를 제작하였다. 제조된 시트를 소결한 후에, 강도, 유전 특성, 밀도를 측정하였다. 소결체는 미세구조와 상분석을 통해 LTCC 소재와 글래스 조성과의 상관관계를 확인하고자 하였다.

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A Study of Substrate Surface Treatment and Metal Pattern Formation using Inkjet Printing Technology (잉크젯 프린팅 기술을 이용한 기판 표면처리와 금속 패턴 형성에 관한 연구)

  • Jo, Yong-Min;Park, Sung-Jun
    • Journal of ILASS-Korea
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    • v.17 no.1
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    • pp.20-26
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    • 2012
  • Inkjet printing is one of the direct writing technologies and is able to form a pattern onto substrate by dispensing droplets in desired position. Also, by inkjet technology manufacturing time and production costs can be reduced, and procedures can be more efficient. To form a metal pattern, it must be harmonized with conductive nano ink, printing process, sintering, and surface treatment. In this study, micro patterning of conductive line has been investigated using the piezoelectric printhead driven by a bipolar voltage signal is used to dispense $20-40{\mu}m$ diameter droplets and silver nano ink which consists of 50 nm silver particles. In addition, hydrophobic treatment of surface, overlap printing techniques, and sintering conditions with changing temperature and times to achieve higher conductivity.

실리콘 태양전지의 후면 점접촉 구조를 위한 Al 확산에 의한 국부 후면전계의 제조

  • Lee, Jun-Seong;Gwon, Sun-U;Song, Cheong-Ho;Park, Seong-Eun;Park, Ha-Yeong;Song, Ju-Yong;Park, Hyo-Min;Yun, Se-Wang;Kim, Dong-Hwan
    • Proceedings of the Materials Research Society of Korea Conference
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    • 2009.05a
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    • pp.54.2-54.2
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    • 2009
  • 결정질 실리콘 태양전지의 알루미늄 후면전극이 패시베이션층의 공극을 통하여 확산됨으로써 국부 후면전계(local back surface field)가 형성되는 후면 점접촉 구조를 제조하였으며, 이에 대한 공정조건 및 특성을 연구하였다. 후면 패시베이션층은 실리콘 기판과 금속전극사이에 삽입됨으로써 표면 재결합속도를 낮추고, 후면 반사도를 높여 광흡수 경로를 증가시킬 수 있다. 고가의 사진식각기술 대신에 저가의 단순한 공정인 레이저 식각기술을 사용하여 후면 패시베이션층에 균일하고 잘 정렬된 공극 패턴을 형성할 수 있었다. 레이저 식각 조건 및 소성조건에 따른 Al 확산 국부 후면전계의 단면 형상을 주사전자현미경(SEM)을 사용하여 관찰하였으며 이에 대한 전기적, 광학적 특성 변화를 조사하였다.

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Analysis of target classification performances of active sonar returns depending on parameter values of SVM kernel functions (SVM 커널함수의 파라미터 값에 따른 능동소나 표적신호의 식별 성능 분석)

  • Park, Jeonghyun;Hwang, Chansik;Bae, Keunsung
    • Journal of the Korea Institute of Information and Communication Engineering
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    • v.17 no.5
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    • pp.1083-1088
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    • 2013
  • Detection and classification of undersea mines in shallow waters using active sonar returns is a difficult task due to complexity of underwater environment. Support vector machine(SVM) is a binary classifier that is well known to provide a global optimum solution. In this paper, classification experiments of sonar returns from mine-like objects and non-mine-like objects are carried out using the SVM, and classification performance is analyzed and presented with discussions depending on parameter values of SVM kernel functions.

Electric properties of metal complex powders for electrodes on display (디스플레이 전극용 복합분말의 전기적 특성)

  • Lee, Jae-Wook;Choi, Jong-Hack;Lee, Jeong-Eun;Park, Seong-Yong;Lee, Byoung-Yoon;Jeong, In-Bum
    • Proceedings of the Korean Institute of Electrical and Electronic Material Engineers Conference
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    • 2007.06a
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    • pp.317-317
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    • 2007
  • 현재 급격히 증가하는 디스플레이 산업은 업체간 시장 선도를 위하여 기술 및 가격경쟁이 매우 심화되고 있다. 이러한 추세로 디스플레이 소재산업은 신 재료, 대체 재료의 연구가 활발히 진행되고 있으나, 전극재료 분야에서는 그 성과가 미미한 실정이다. 본 연구에서는 기존에 사용되어지던 귀금속 전극재료를 금속 복합재료로 대체하여 저가격의 전극재료를 개발하는데 중점을 두었다. 용액환원반응법에 의해 제조된 다앙한 크기 및 조성의 복합분말을 이용하여 인쇄용 전극 페이스트를 만들고, 페이스트의 물리적 특성, 인쇄 특성, 패턴 전극 특성 등을 분석하여 디스플레이 전극용 대체 재료로의 가능성을 검토하였다.

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An Analysis of the Acoustic Radiation Characteristics from the Acoustic Transducer (압전세라믹스를 이용한 음향트랜스듀서의 음향방사특성 해석)

  • 노현택;고영준;박재성;남효덕;장호경
    • Proceedings of the Korean Institute of Electrical and Electronic Material Engineers Conference
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    • 2000.07a
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    • pp.703-706
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    • 2000
  • The acoustic characteristics radiated from the acoustic transducer with metal-piezoceramic laminated circular plate were simulated. The Vibrational modes of metal-piezoceramic laminated circular plates were calculated by using the finite element method. After meshing the inside closed boundary of the acoustic transducer, the pressure gradients and the isotaric lines were calculated for the various frequencies. It has been observed that the characteristics of the sound pressure calculated for the various frequencies. Also, the directivity patterns and the sound pressure radiated from the acoustic transducer were calculated by 2-dimensional analysis.

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Image Processing in Deciphering the Letter Written in Rocks by Experiment of Sample Texts (영상신호처리에 의한 금석문 음각문자 판독 - 샘플시료를 이용한 실험을 통하여)

  • Hwang, Jae-Ho
    • Proceedings of the KIEE Conference
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    • 2003.11c
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    • pp.765-768
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    • 2003
  • 금속이나 암석에 음각(陰角)으로 각인된 문자나 그림들은 날씨나 주변 빛 환경에 따라 시각으로 입력되는 정보에 큰 차이를 보인다. 이를 이미지검출장치를 통해 읽어드려 디지털 이미지 신호로 만들고자 할 때는 더욱 그 정도가 심하여 대상체가 위치하는 빛 환경이나 검출기 특성에 각별한 신경을 써야한다. 자연광이나 전구 그리고 기후나 날씨에 의해 조성되는 빛 환경은 조도(照度), 조사각도(照射角度), 그림자 및 대상체 표면 상태 등이 중요한 결정 인자들이다. 빛 환경이 디지털 이미지 질(質)에 끼치는 영향을 최소화하기 위한 실험실 차원의 빛환경조정실을 구축하였다. 외부 유입 광선을 모두 차단하고 지향성이 있는 조명에 의해서만 대상체에 빛이 조사되도록 하고 디지털 카메라로 대상체의 이미지를 담았다. 음각 문자를 새긴 샘플석문(石文)을 제작하고 실험실 안의 정량화된 빛환경 하에서 석문의 이미지를 취득하였다. 전처리 과정을 통해 노이즈를 제거하고 이미지의 질을 향상시켰다. 처리된 이미지를 분석하여 문자영역과 바탕영역의 신호패턴을 추출한 다음 룩업 테이블, 조도 레벨 슬라이징, 중첩의 원리 및 Morphology 등의 기법을 알고리즘화하여 2진 형태의 음각문자를 판독 및 복원하는데 성공하였다.

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Micro-pattern Fabrication of Amorphous Alloy by Laser Beam Machining (비정질 합금의 마이크로 패턴 레이저 가공)

  • Kim, Haan;Park, Jong Wuk
    • Journal of the Korean Society of Manufacturing Process Engineers
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    • v.21 no.4
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    • pp.77-83
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    • 2022
  • Amorphous alloys exhibit excellent mechanical properties; therefore, application technology development is being attempted in various fields. However, industrial use of application technology is limited owing to the limitations in fabrication. In this study, micropattern fabrication of an amorphous alloy was conducted using laser beam machining. Although microhole fabrication is possible without the deformation of the amorphous phase through nanosecond pulsed laser beam machining, there are limitations in the generation of recast layers and spatters. In cover plate laser beam machining (c-LBM), a cover plate is used to reduce the thermal deformation and processing area. Therefore, it is possible to fabricate holes at the level of several micrometers. In this study, it was confirmed that recast layers are hardly generated in c-LBM. Furthermore, square-shaped micropatterns were successfully fabricated using c-LBM.

Formation of GaN microstructures using metal catalysts on the vertex of GaN pyramids (금속촉매를 이용한 GaN 피라미드 꼭지점 위의 마이크로 GaN 구조 형성)

  • Yun, W.I.;Jo, D.W.;Ok, J.E.;Jeon, H.S.;Lee, G.S.;Jung, S.K.;Bae, S.M.;Ahn, H.S.;Yang, M.
    • Journal of the Korean Crystal Growth and Crystal Technology
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    • v.21 no.3
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    • pp.110-113
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    • 2011
  • In this paper, we propose a new method for the fabrication of GaN microstructures formed only on the vertex of GaN pyramid by using of metal catalysts. GaN pyramidal structures were selectively grown on 3 ${\mu}m$ $SiO_2$ dot patterns followed by thin film deposition of Au and Cr only on the vertex area of the GaN pyramids with precisely controlled photolithography. After the metal deposition, the samples were loaded in the MOVPE reactor for the growth of GaN microstructures for 10 minutes. Temperature for the growth of the GaN microstructures was changed from $650^{\circ}C$ to $750^{\circ}C$. Rod type GaN microstructures were grown in the direction of vertical to the six {1-101} facets and the shape of the GaN microstructures was changed depend on the type of metal.