Numerical analysis of CZ growth process for sapphire crystal of 300 mm length: Part I. Influence of hot zone structure modification on crystal temperature (300 mm 길이의 사파이어 단결정 대한 CZ성장공정의 수치해석: Part I. 핫존 구조 변경이 결정 온도에 미치는 영향)
-
- Journal of the Korean Crystal Growth and Crystal Technology
- /
- v.23 no.6
- /
- pp.265-271
- /
- 2013