• Title/Summary/Keyword: 구조적 안정도

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FTS (Facing Target Sputtering)장비를 이용한 알루미늄 무기산화막 박막에 관한 연구

  • Bang, Seung-Gyu;Lee, Dong-Uk;Bae, Gang;Kim, Hwa-Min;Son, Seon-Yeong;Jeong, Sang-Gwon
    • Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference
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    • 2012.02a
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    • pp.169-169
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    • 2012
  • 현재 디스플레이 시장은 LCD (Liquid Crystal Display), PDP (Plasma Display Panel) 등과 같이 평판 디스플레이가 주류를 이루고 있으며 현재에는 기존의 디스플레이와는 달리 잘 휘어지고 높은 투과성을 가지는 플렉시블 디스플레이에 대한 연구가 활발히 진행 중이다. 하지만 이러한 플렉시블 디스플레이에 사용되는 플라스틱 기판의 경우 용제에 대한 화학적 저항성 및 기계적인 안정성이 취약한 점과 대기중의 수분이나 산소가 플라스틱 기판을 통하여 소자내로 침투하게 되어 금속전극을 산화시키거나 기포 또는 흑점 등과 같은 비 발광 영역이 확산되어 소자의 수명을 단축시키는 치명적인 단점을 가진다. 이에 본 실험에서는 고밀도 플라즈마 형성이 가능하고 저온공정이 가능한 FTS (Facing Target Sputtering) 장비를 이용하여 Polyethylene terephthalate (PET) 기판위에 낮은 수분 투과율 또는 산소 투과율을 갖는 양질의 무기 산화막을 적층하기 위해 저 투습도 및 기계적인 경도 향상을 위한 비 반응성 박막으로 $Al_20_3$층을 Ar분위기에서 증착하였고 그 위에 박막의 stress 감소, 유연성 향상을 위한 반응성 박막으로 Al을 Ar과 $O_2$를 비율별로 증착하여 비교 실험하였다. 이와 같이 제작된 무기산화막들을 Uv- spectrophotometer를 이용하여 광학적 특성을 조사한 결과 가시광 영역에서 모두 80% 이상의 높은 투과율을 나타내었으며, 그 외 XRD (X-ray Diffraction)를 사용하여 결정성을 확인, SEM (Scanning Electron Microscope), AFM (Atomic Force Microscope)을 이용하여 박막의 구조와 표면향상 및 표면조도를 측정한 결과 모든 박막에서 밀집도가 좋으며 거칠기가 작은 것으로 확인되었다. 마지막으로 수분 투과율(WVTR)을 알아보기 위해 Mocon (Permatran W3/31)장비를 이용하여 측정한 결과 $1.0{\sim}3.0{\times}10^{-3}g/m{\cdot}day$의 낮은 수분 투과율을 볼 수 있었다. 이러한 측정 결과로 볼 때 향후 FTS 장비를 이용하여 양질의 플라즈마를 형성하여 알루미늄 무기산화막을 이용한 고밀도 다층막을 형성하면 더욱 낮은 수분투과율을 갖는 가스차단막을 제작할 수 있을 것으로 보여지며 반도체 소자 및 디바이스의 Pachaging으로도 사용가능 할 것이라 사료된다. 본 연구는 한국산업기술진흥원에서 지원하는 2011년도 지역산업기술개발사업의 연구수행으로 인한 결과물임을 밝힙니다.

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SIMS Depth Profiling Analysis of Cl in $TiCl_4$ Based TiN Film by Using $ClCs_2^+$ Cluster Ions

  • Gong, Su-Jin;Park, Sang-Won;Kim, Jong-Hun;Go, Jung-Gyu;Park, Yun-Baek;Kim, Ho-Jeong;Kim, Chang-Yeol
    • Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference
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    • 2012.02a
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    • pp.161-161
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    • 2012
  • 질화티타늄(Titanium Nitride, TiN)은 화학적 안정성이 우수하고, N/Ti 원소 비율에 따라 열전도성 및 전기전도성이 변화하는 특성을 가지고 있어서 Metal Insulator Silicon (MIS) 나 Metal Insulator Metal (MIM) capacitor의 metal electrode 물질로 적용되고 있다. $TiCl_4$$NH_3$ gas를 이용하여 $500^{\circ}C$ 이상의 고온 조건에서 Chemical Vapor Deposition (CVD) 법으로 TiN 박막을 증착하는 방식이 가장 널리 사용되고 있으나, TiN 박막 내의 Chlorine (Cl) 원소가 SiO2 두께와 누설전류 밀도를 증가시키는 요인으로 작용하므로 Cl의 거동 및 함량 제어를 통한 전기적인 특성의 향상 평가가 요구되고 있다[1-3]. 본 실험에서는 $SiO_2$ 위에 TiN을 적층 한 구조에서 magnetic sector type의 Secondary Ion Mass Spectrometry (SIMS)를 이용하여 Cl 원소의 검출도 개선 방법을 연구하였다. 일반적인 $Cs^+$ 이온을 이용하여 $Cl^-$ 이온을 검출할 경우에는 TiN 하부에 $SiO_2$가 존재함에 따른 charging effect와 mass interference가 발생되는 문제점이 관찰되었다. 이를 개선하기 위해 Cl과 Cs 원소가 결합된 $ClCs^+$ cluster ion을 검출하는 방법을 시도하였으나, Cl- 이온 검출 방식에 비해 오히려 낮은 검출도를 나타내었으나 Cl 원소가 속하는 halogen 족 원소의 높은 전자 친화도 특성을 이용한 $ClCs_2^+$ cluster ion을 검출하는 방법[4]을 적용한 경우에는 $ClCs^+$ 방식에 비해 검출도가 3order 개선되는 결과를 확보하였으며, 이 결과를 토대로 Cl dose ($atoms/cm^2$) 와 Rs (ohm/sq) 간의 상관 관계에 대해 고찰하고자 한다.

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Structural and thermal analysis of electrochemically Li intercalated synthetic graphite (전기 화학적으로 리튬이 층간 삽입된 인조흑연의 구조와 열적 특성 분석)

  • Oh, Won-Chun
    • Analytical Science and Technology
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    • v.14 no.3
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    • pp.197-202
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    • 2001
  • The characteristics of the electrochemically Li intercalated synthetic graphite were determined from the studies with XRD method, DSC and solid $^7Li-NMR$ spectrophotometric analysis. From the results of X-ray diffraction method, it was found that the compounds in the stage 1 structure were predominantly formed. The enthalpy and entropy changes of the compounds can be obtained from the differential scanning calorimetric analysis results. From these results, it was found that exothermic and endothermic reactions of lithium intercalated into synthetic graphite are related to thermal stability of lithium ion between carbon graphene layers. From the $^7Li-NMR$ data, scientific observation found that bands are shift toward higher frequencies with increasing lithium concentration because non-occupied electron shells of Li increased in charge carrier density. Line widths of the Li intercalated synthetic graphite compounds decreased slowly because of non-homogeneous local magnetic order and the random electron spin direction for substituted Li.

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Fabrication of n-ITO/p-PSL heterojunction type photodetectors and their characteristics (n-ITO/p-PSL 이종접합형 광검출 소자의 제조 및 그 특성)

  • Kim, Hang-Kyoo;Shin, Jang-Kyoo;Lee, Jong-Hyun;Song, Jae-Won
    • Journal of Sensor Science and Technology
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    • v.4 no.1
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    • pp.3-8
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    • 1995
  • n-ITO/p-PSL heterojunction photodetector have been fabricated on the Si wafer by using ITO(indium tin oxide) and PSL(porous silicon layer). They were anodized selectively by using silicon nitride and Ni-Cr/Au and were passivated by using ITO as well as being isolated by using mesa structure. With white light from 0 to 3000 Lux, the photocurrent varied linearly with incident light intensity. The reverse characteristics of fabricated devices were very stable up to a bias voltage of -40V and dark current density was about $40nA/mm^{2}$. When the device was exposed by Xe lamp whose wavelength range from 400nm to 1100nm, the maximum photo responsivity was about 0.6A/W between 600 and 700nm. Variation of the characteristics of fabricated devices after 5 weeks was negligible.

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Response of Rock Trout to the Colored Lights (색광에 대한 쥐노래미의 반응)

  • 양용림
    • Journal of the Korean Society of Fisheries and Ocean Technology
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    • v.20 no.1
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    • pp.6-10
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    • 1984
  • The author carried out an experiment to find out the response of rock trout, Hexagrammos otakii (Jordan et starks) to the color lights. The experimental tank (360L$\times$50W$\times$55H cm) was set up in a dark room. Six longitudinal sections with 60cm intervals are marked in the tank to observe the loction of the fish. Water depth in the tank was kept 50cm level. Light bulbs of 20W at the both ends of the tank projected the light horizontally into the tank. Two different colored filters were selected from four colors of red, blue, yellow, and white, and they were placed in front of the light bulbs to make different colors of light. Light intensity were controlled by use of auxiliary filters intercepted between the bulb and the filter. The fishes were acclimatized in the dark for 50 minutes before they were 3employed in the experiment. Upon turning on the light, the number of fish in each section was counted 40 times in 30 second intervals, and the mean of the number of fish in each section was given as the gathering rate of the fish. The colors favourited by the fish was found in the order of white, yellow, red and blue in day time, and red, yellow, blue and white at night time. The gathering rate of fish on illumination period was small and comparatively fluctuated with stability. The difference of the gathering rates on two different colors of light was great.

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Embedded Inductors in MCM-D for RF Appliction (RF용 MCM-D 기판 내장형 인덕터)

  • 주철원;박성수;백규하;이희태;김성진;송민규
    • Journal of the Microelectronics and Packaging Society
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    • v.7 no.3
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    • pp.31-36
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    • 2000
  • We developed embedded inductors in MCM-D substrate for RF applications. The increasing demand for high density packaging was the driving forces to the development of MCM-D technology. Most of these development efforts have been focused on high performance digital circuits. However, recently there is a great need fur mixed mode circuits with a combination of digital, analog and microwave devices. Mixed mode modules often have a large number of passive components that are connected to a small number of active devices. Integration of passive components into the high density MCM substrate becomes desirable to further reduce cost, size, and weight of electronic systems while improving their performance and reliability. The proposed MCM-D substrate was based on Cu/photosensitive BCB multilayer and Ti/Cu is used to form the interconnect layer. Seed metal was formed with 1000 $\AA$ Ti/3000 $\AA$ Cu by sputtering method and main metal was formed with 3 $\mu\textrm{m}$ Cu by electrical plating method. The multi-turn sprial inductors were designed in coplanar fashion. This paper describe the manufacturing process of integrated inductors in MCM-D substrate and the results of electrical performance test.

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A study on the Wellness Change of Life in the Baby Boomer Generation (베이비부머 세대 삶의 웰니스 변화에 관한 연구)

  • Jang, Yu-Mi;Hur, Young-Lim;Jung, Myun-Sook
    • Journal of Digital Convergence
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    • v.13 no.3
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    • pp.215-220
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    • 2015
  • This study attempts to find how the government policies regarding population aging may affect the life patterns of the baby boomers and what factors play a significant role in providing life wellness. This study uses the data provided by Korea Welfare Panel Study published between the years 2006 and 2011. First, according to the analysis of the data from Korea Welfare Panel Study in the year 2006, the factors affecting the life wellness are family relations, health and social relations. However, between the years 2007 and 2009, the major factor is not the present income providing security or life satisfaction. Second, the next significant factor in improving the wellness of life is family relations after health or occupation. Therefore, the government should provide them with re-employment programs prior to their retirement through which baby boomers can find employment similar or different to their present occupations. For improving the wellness of life, the most significant factor is family relations.

Muscle Activity of Cycling Movements at Different Pedal Shaft Widths (사이클 운동시 페달 샤프트 너비에 따른 근육 활동 비교)

  • Lee, Min-Hyung;Chae, Woen-Sik;Kim, Jung-Ja
    • Korean Journal of Applied Biomechanics
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    • v.14 no.1
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    • pp.173-182
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    • 2004
  • 본 연구의 목적은 사이클 운동 시, 3가지 다른 길이의 페달 샤프트 (표준형, 5.08 cm, 10.16 cm)가 근육활동에 미치는 영향을 근전도 측정을 통해 비교 분석하는데 있다. 사이클링을 활동적으로 하는 여학생 5명을 피험자로 선택하여 대퇴지근(RF), 외측광근(VL), 내측광근(VM) 대퇴이두근(BF)을 표면전극을 사용하여 관찰하였다. 자료 분석을 위해 두 대의 S-VHS 카메라 (Panasonic Digital 5000)를 사용하여 사이클링 동작을 촬영하였다. 연구의 목적을 위해 각 조건에 대한 표준화된 평균 및 최대 근전도치가 계산되어졌다. 각각의 변인에 대해 페달 샤프트의 길이에 따른 근전도치의 차이점을 분석하기 위해 반복측정에 의한 일원변량분석을 사용하였으며, 통계적 유의성이 있을 경우 Newman-Keuls 사후검증을 실시하였다. 일반적으로 5.08 cm 길이의 페달 샤프트를 사용했을 경우 표준형의 페달 샤프트와는 다르게 모든 하지근의 적분 근전도치가 줄어드는 것으로 나타났다. 페달 샤프트의 길이가 길어짐에 따라 외측광근의 적분 근전도치가 통계적으로 유의하게 낮게 나타났고, 5.08 cm 길이에서 대퇴이두근의 적분 근전도치가 통계적으로 유의하게 낮게 나타났다. 페달 샤프트 길이에 따른 최대 근전도치의 통계적 유의성을 찾을 수 없었지만, 일반적으로 5.08 cm 길이의 페달 샤프트를 사용할 때 최대 근전도치가 가장 낮게 나타났다. 본 연구의 결과, 페달 샤프트의 길이가 하지근의 활동정도와 형태를 변화시킨다는 것을 알 수 있었으며, 하지관절의 부하에 영향을 미치는 것으로 사료되어진다. 이에 따라, 개인의 해부 구조학적인 면을 고려한 페달 샤프트의 길이 조절은 효율적이며 안정적인 사이클링 동작을 수행하는데 많은 도움이 될 수 있을 것이다.

Preparation and Characterization of Sulfonated Poly(Arylene Ether Sulfone) Random Copolymer Reinforced Membranes for Fuel Cells (연료전지용 술폰화 폴리아릴렌에테르술폰 랜덤공중합체 강화복합막의 제조 및 특성)

  • Ahn, Juhee;Lee, Chang Hyun
    • Membrane Journal
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    • v.26 no.2
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    • pp.146-151
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    • 2016
  • Sulfonated poly (arylene ether sulfone) (SPAES) random copolymers have merits such as high proton conductivity, relatively low production cost, and thermochemical resistance when applied as polymer electrolyte membranes for fuel cells. However, it is difficult to directly employ SPAES copolymers into practical fuel cell membrane applications owing to their low chemical stability and dimensional instability under harsh operation conditions. A plausible solution is to impregnate SPAES copolymers into support films (e.g., electrospun polyimide support) with interconnected pore structures and high thermochemical toughness. In this study, a SPAES copolymer with a swivel group, which induces high free volume for fast ion transport, is chosen as ionomers to prepare pore-filling membranes (PFMs). The feasibility of the resulting membranes is evaluated via membrane characterizations.

Ultrasound Related Anatomy and Biomechanics of Shoulder Joint (초음파 영상과 관련된 견관절 해부학 및 생역학)

  • Kim, Yang-Soo;Lee, Jae-Young
    • The Journal of Korean Orthopaedic Ultrasound Society
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    • v.1 no.2
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    • pp.112-116
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    • 2008
  • Ultrasonography of shoulder joint recently enlarges its utility since the knowledge of the shoulder disease is increased by numerous researches. Ultrasonography is not only noninvasive, safe, and relatively cheap, but also an unique modality that can monitor tendon movement during shoulder motion. Sonographic examination generally starts from the front side of the shoulder joint and finishes at back side in sitting position. Many structures in shoulder joint such as muscles, ligaments, glenoid labrum, bone, and especially rotator cuff tendon can be examined by ultrasonography. The rotator cuff is a motion unit consisted with subscapularis, supraspinatus, infraspinatus, and teres minor muscles. It functions as fulcrum and compresses the humeral head onto the glenoid, and steers for shoulder joint.

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