• 제목/요약/키워드: 구동주파수

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고주파수 축전 결합 플라즈마에서 플라즈마 변수들이 전기장 분포에 미치는 영향에 대한 연구

  • 강현주;최우영;정진욱
    • 한국진공학회:학술대회논문집
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    • 한국진공학회 2012년도 제42회 동계 정기 학술대회 초록집
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    • pp.493-493
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    • 2012
  • 평행평판 축전 결합 플라즈마는 증착이나 식각 등 많은 공정장비에서 사용된다. 이때 구동주파수를 높여주거나 리액터의 크기를 증가시킬 경우, 플라즈마 밀도가 불균일해진다. 플라즈마 밀도는 플라즈마 내 전기장 분포의 균일도와 관련이 있는 것으로 전기장 분포를 균일하게 만드는 것은 매우 중요하다. 이전 연구에서는 충돌 주파수(공정 압력)가 전기장의 분포에 미치는 영향에 대해 발표하였다 [1]. 본 연구에서는 구동 주파수, 충돌 주파수(공정 압력), 플라즈마 주파수(플라즈마 밀도)가 전기장 분포에 미치는 영향을 알아보았고, 이들의 상관관계를 분석하였다. 플라즈마 주파수(플라즈마 밀도)와 충돌 주파수(공정 압력)는 전기장 분포의 균일도에 영향을 주는 변수이지만 이 둘은 반대 영향을 미쳤다. 따라서 두 주파수가 전기장 분포에 미치는 영향이 균형을 이룰 때 균일한 전기장 분포를 얻을 수 있었다. 이 때 구동 주파수가 증가할수록 균일하게 하는 두 주파수의 영역이 줄어들어 높은 구동 주파수에서는 전기장 분포를 균일하게 하기 어려웠다. 이러한 관계를 이용하여 일정한 구동 주파수와 플라즈마 주파수에서 전기장 분포의 균일도를 10% 이내로 하기 위해 충돌 주파수를 결정할 수 있는 방정식을 구하고, 충돌 주파수와 플라즈마 주파수, 그리고 구동 주파수가 전기장 분포를 균일하게 하는 이들의 관계를 살펴 보았다.

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아몰퍼스와이어를 이용하여 제작한 직교 플럭스게이트 센서의 출력에 미치는 구동 주파수와 여자 전류의 영향 (Influences of Operation Frequency and Excitation Current on Output Signal of Orthogonal Fluxgate Sensor Fabricated with an Amorphous Wire)

  • 신광호
    • 한국자기학회지
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    • 제19권1호
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    • pp.17-21
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    • 2009
  • 코발트계 아몰퍼스와이어와 검출코일을 이용하여서 제작한 직교 플럭스게이트 센서에 있어서 구동주파수와 입력전류가 센서의 출력특성에 미치는 영향을 조사하였다. 구동전류가 0.3 A까지 증가함에 따라서 센서의 출력전압은 증가하는 경향을 나타내었으나, 그 이상의 구동전류에 대하여서는 출력전압의 증가율이 둔감하게 되었고 0.6 A 이상의 구동전류에 대하여서는 출력전압이 감소하는 경향을 나타내었다. 센서의 구동주파수를 1.3 MHz까지 높임으로써 출력전압을 높일 수 있었으나, 그 이상의 구동주파수에서는 출력전압이 감소하는 것을 알 수 있었다. 1.3MHz의 구동주파수에 대하여 출력전압은 3.8 V였으며, 1 MHz의 구동주파수에 대하여서는 1.32 V였다.

입사음파의 구동주파수와 음압진폭의 변화에 따른 음향 흐름현상 관측 (Observation of acoustic streaming Phenomenon with driving frequency and sound pressure amplitude in water)

  • 도중민;김병남;윤석왕
    • 한국음향학회:학술대회논문집
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    • 한국음향학회 2000년도 학술발표대회 논문집 제19권 2호
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    • pp.295-298
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    • 2000
  • 음향 흐름 (Acoustic Streaming)현상은 음파가 유체 내에서 전파하는 경우에 음파의 흡수로 인한 음장방향으로의 유체 흐름을 말한다. 이러한 유체 내에서의 음향 흐름현상은 입사음파의 구동주파수나 음압진폭등에 영향을 받으며, 현재 음향 흐름현상은 DNA 분열이나 박테리아 분해 등 생체학적 효과01 초음파의 비 열적 효과로 널리 사용중이다 본 연구에서는 수중에서 전기분해 법을 이용하여 형성된 기포층에 음파를 수직 입사하여 밀려나가는 기포의 거리를 측정함으로써 입사음파의 구동주파수와 음압진폭 변화에 따른 음향 흐름현상을 관측하였다. 기포의 거리 측정 결과에 의하면 입사음파의 음압진폭 증가에 따라 기포의 밀림현상이 현저하게 증가하였으며, 구동주파수 변화에 따른 기포의 밀림현상은 차이를 보이고 있지 않았다 본 측정결과로부터 음향 흐름현상은 입사음파의 구동주파수에 의한 영향을 확인 할 수 없었으나. 음압진폭에 상당한 영향을 받는다는 것을 확인하였다.

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페라이트 코어를 이용하여 제작한 직교형 플럭스게이트 센서의 감도에 미치는 구동주파수의 영향 (Operation Frequency Dependence of Output of Orthogonal Fluxgate Sensor Fabricated with Ferrite Core)

  • 신광호
    • 한국자기학회지
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    • 제22권6호
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    • pp.200-203
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    • 2012
  • 원통형 페라이트 코어와 검출 코일을 이용하여서 직교형 플럭스게이트 센서를 제작하고, 구동주파수가 출력 감도에 미치는 영향에 대해서 조사하였다. 외부 자계에 대한 플럭스게이트 센서의 출력은 코어의 단면적, 권선수, 구동주파수 등에 비례한다. 따라서, 센서를 소형화시키면서 출력(감도)를 저하시키는 것을 방지하기 위해서는 구동주파수를 높이는 것이 필요하다. 그러나, 구동주파수는 자성체 코어의 주파수특성, 구동회로의 성능, 검출 코일의 주파수특성 등 다양한 요인으로 제한 된다. 본 연구에서는 원통형 페라이트 코어와 검출 코일을 이용하여 제작한 직교형 플럭스게이트 센서에 있어서 센서 출력의 주파수특성과 검출 코일의 인덕턴스와 캐패시턴스를 측정하여서 상호 연관성에 대해서 살펴보았다. 그 결과 외부 자계에 대한 센서의 출력은 검출 코일의 임피던스에 의존한다는 것을 알 수 있었고, 검출 코일의 LC공진주파수에서 높은 출력(감도)을 얻을 수 있었다.

선형액추에이터의 팀핑에 따른 구동력과 이동자 사이의 위상 변화 (Variation of phase difference between applied force and moving element in linear actuator)

  • 우병철;홍도관;김종무;장정환;강도현;박성제
    • 대한전기학회:학술대회논문집
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    • 대한전기학회 2006년도 제37회 하계학술대회 논문집 B
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    • pp.867-868
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    • 2006
  • 리니어 모터는 일반적으로 회전하는 모터와 같이 여러 형상의 극간에서 발생되는 힘의 균형에 의해서 구동되는 것이 일반적이다. 특히 하나의 극간에서 미소 구동하는 리니어 모터는 구동력과 실제 이동하는 위치 사이에서 댐핑이나 무게와 함 사이에서 발생하는 가속력의 차이에 의해서 주어진 힘의 파형과 움직이는 위치의 괴적이 만들어가는 이동자의 위치 사이에는 다소 시간 처짐이 발생하게 된다. 본 논문에서는 구동력과 실제 이동하는 위치 사이의 시간 처짐의 원인으로 알려져 있는 딤핑의 조건을 변화시키고 이에 다른 구동력의 변화를 알아보았다. 댐핑이 전형 없는 조건과 댐핑이 조금씩 증가함으로 인해서 주어진 시스템의 기계적 공진 영역에서 발생하는 여러 가지 구동특성을 정량적으로 평가해 보았다. 60[Hz]가 공진인 이동자와 탄성체로 이루어진 시스템에서 58-62[Hz]에서 구동될 경우 힘의 주파수와 가해진 힘에 다라 이동자의 초기 거동을 알아보았으며 초기 0.3초 구간에서 구동되는 특성을 알아보았다. 전체적으로 이동자의 구동 괴적과 주어진 힘의 파형 사이에서 발생하는 시간 처짐은 댐핑계수에 가장 지배적인 영향을 받았으며 구동 힘의 주파수가 공진주파수보다 작으면 점점 증가하고 크면 점점 감소하는 경향을 가지며 공진주파수의 구동력이 가해진다면 시간 처짐은 거의 변화가 없음을 알 수 있었다.

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스위칭 주파수변화에 따른 3상 유도전동기 구동특성에 관한 연구 (A Study about three-phase induction motor drive by variable-switching frequency)

  • 박종진;이효상;권수범;김남준
    • 전력전자학회:학술대회논문집
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    • 전력전자학회 2003년도 추계학술대회 논문집
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    • pp.173-177
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    • 2003
  • 본 논문에서는 RPWM(Random PWM) 방식을 사용한 3상 유도전동기 구동 시스템의 스위칭 주파수 가변에 따른 구동 특성을 비교 분석하고자 한다. 기존의 RPWM 방식과 본 논문에서 제안한 RPWM 기법을 이용하여 스위칭 주파수 가변에 따른 $M_f$ 변화에 대한 구동특성을 비교 분석하고, 특히 10000[rpm] 이상의 고속운전특성에서의 인버터 출력 전압 및 전류의 고조파 저감효과를 제안된 기법으로부터 확인할 수 있다. 이러한 과정에서는 제안된 RPWM 기법 알고리즘에 대한 타당성 검증을 위해 DSP를 이용한 IGBT 인버터로부터 개별 스위칭 주파수별 실험을 하고, 그 결과의 취득으로부터 스위칭 주파수별 운전 특성을 분석하고자 한다.

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공진구동 선형액추에이터의 공진주파수와 Power factor특성 (Relation between Resonance Frequency and Power factor on Linear Actuator with Resonance State)

  • 우병철;홍도관;김종무;장정환;정연호;구대현
    • 대한전기학회:학술대회논문집
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    • 대한전기학회 2007년도 제38회 하계학술대회
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    • pp.987-988
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    • 2007
  • 리니어 모터는 일반적으로 회전하는 모터와 같이 여러 형상의 극간에서 발생되는 힘의 균형에 의해서 구동되는 것이 일반적이다. 특히 하나의 극간에서 미소 구동하는 리니어 모터는 구동력과 실제 이동하는 위치 사이에서 댐핑이나 무게와 함 사이에서 발생하는 가속력의 차이에 의해서 주어진 힘의 파형과 움직이는 위치의 괴적이 만들어가는 이동자의 위치 사이에는 다소 시간 처짐이 발생하게 된다. 본 논문에서는 구동력과 실제 이동하는 위치 사이의 시간 처짐의 원인으로 알려져 있는 여러 요소중 주파수와 입력전류를 변화시키고 이에 따른 선형전동기의 power factor의 변화와 공진주파수의 관계 등 선형전동기의 구동력 변화를 알아보았다. IT 기기 냉각용으로 제작한 횡자속 선형전동기에서 공진구동용 스프링을 장착하고 공진주파수 부근과 power factor가 가장 큰 값을 가지는 부근의 주파수를 선정하고 입력전류에 따른 전류, 전압, 위치, 역율을 알아보았다.

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외부전극 형광램프 백라이트의 구형파 구동 (External Electrode Fluorescent Lamp Backlight Driven by Square Pulses)

  • 김영미;권남옥;김성중;조광섭;김봉수;천장호;강준길;이응원;양순철
    • 한국진공학회지
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    • 제12권1호
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    • pp.46-50
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    • 2003
  • 외부전극 형광램프 12개를 평면에 배치하여 제작한 대각길이 17인치 직하형 백라이트의 구형파 구동에 의한 휘도와 효율 특성을 조사하였다. 구동 전압 1-2 kV와 주파수 40-80 kHz에 대하여 백라이트 패널의 휘도가 5,000-10,000 cd/$\textrm m^2$ 일 때 효율 65-70 1m/W를 얻었다. 구동 주파수가 클수록, 고휘도를 얻고 구동 전압이 낮아진다. 구동 주파수가 80 kHz 이상의 주파수에서는 백라이트의 휘도가 불안정하고, 면전체 휘도의 균일성을 얻지 못한다.

GaAs HBT 공정을 이용한 주파수 분배 방식의 광대역 구동증폭기 설계 (Design for Broadband Drive Amplifier of Frequency Split Type using GaAs HBT Process)

  • 김민철;김정현
    • 한국인터넷방송통신학회논문지
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    • 제19권3호
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    • pp.135-140
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    • 2019
  • 본 논문에서는 L, S 및 C 대역에서 동작하는 주파수 분배 방식의 광대역 구동증폭기를 설계 및 제작하였다. 구동증폭기의 비대역폭이 100% 이상인 경우에는 트랜지스터를 효율적으로 이용하기 어려우며, 특히 주파수 대역에 따라 출력 전력 및 효율의 특성이 민감하게 변하는 전력증폭기를 동작시키기 위해서는 구동증폭기의 특성이 중요하게 작용한다. 본 논문에서는 구동증폭기의 대역폭을 최대화하고, 구동증폭기의 뒤쪽에 위치 할 전력증폭기의 트랜지스터를 효율적으로 이용 할 수 있도록 구동증폭기의 출력을 저대역과 고대역으로 나누어주는 주파수 분배 방식을 적용하였다. 설계된 회로는 GaAs HBT (Heterojunction Bipolar Transistor) 공정 및 9-layer의 SiP (System in Package)를 이용하여 제작하였고, 측정을 통해 성능을 검증하였다. 제작된 회로는 동작 주파수 범위에서 8 dB이상의 이득과 15 dBm이상의 출력전력을 보여주었다.

동시 이중주파수 구동을 이용한 유도가열용 인버터 (Inverter for Induction Heating using Simultaneous Dual-Frequency Method)

  • 신우석;박희창
    • 전력전자학회논문지
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    • 제16권6호
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    • pp.554-560
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    • 2011
  • 단일 주파수로 유도가열에 의한 표면 경화 열처리 공정에서 생기는 설비의 이중 투자 문제 및 열처리 공정시간을 단축할 수 있도록 하기 위해 하나의 공정에서 두가지 공정을 동시에 처리할 수 있도록 해주는 동시 이중 주파수(Simultaneous dual frequency: SDF) 구동기법 기술에 대해 설명한다. 본 논문에서는 듀얼 방식의 인버터를 제안하여 이중 주파수(Dual frequency) 구동기법을 구현하였으며 시뮬레이션과 실험을 통해 제안된 인버터의 이중 주파수제어 및 전력제어를 검증하였다.