교류에서의 전기저항값은 저항 elements 사이에서 나타나는 stray 전기용량과 elements의 길이에서 유도되는 인덕턴스의 영향으로 직류에서의 저항값과 차이를 보이게 된다. 이러한 직류와 교류에서의 저항값 차이가 대단히 작게 나면서 직류에서와 측정하는 교류에서의 저항값의 차이를 계산에 의해서 산출할 수 교류저항 표준기가 개발되었다. 개발된 교류저항표준기는 bi-filar 구조의 1 $k\Omega$로서, 1.6 kHz에서 직류/교류 저항값의 차이는 0.02 ${\mu}{\Omega}/{\Omega}$ 보다 작으며, 시정수는 1 kHz에서 $(8{\pm}2)\times10^{-10}$으로 측정되었다. 개발된 교류저항 표준기는 교류저항 국가표준에 최상급 표준기로 사용이 되어질 것이다.
본 논문은 열전압변환기와 교류측정표준을 사용하여 10Hz에서 50MHz 대역의 감쇠기 평탄도 특성을 1kHz를 기준으로 분석하는 기법을 제안하였다. 제안된 기법은 TVC를 사용하여 측정 주파수별 감쇠기의 입력전압을 1kHz와 동일하게 공급한 후, 교류측정표준에서 지시되는 전압 변화량으로 감쇠기의 평탄도 특성분석을 수행하였다. 감쇠기 평탄도 특성분석의 결과는 1dB에서 70dB까지 최대 $866{\mu}V/V$의 불확도로 측정이 가능하며, 기존 회로망 측정방법을 사용한 2.31mV/V 보다 약 37%의 불확도가 감소된 것을 확인하였다. 향상된 감쇠기 평탄도 특성 값은 교류측정표준의 저전압 2.2V에서 2.2mV까지 주파수 평탄도 교정에 적용할 수 있다.
국가표준을 유지하기위한 표준기급의 교류저항은 상품화된 것이 외국에서 한 종류 있으나 고정된 기름 항온조에서 유지를 해야 하고, 정전차폐가 어렵고, 교류에서 측정단자의 호환성이 어렵고 가격도 대단히 비싸다. 또한 저항체가 지지대 역할을 하는 원형 보빈에 감겨져있는 선으로 구성되어서 국제비교시나 혹은 이동교정시에 기계적인 구조의 변화로 저항 값에 영향을 받기가 쉽다. 이러한 단점들을 극복한 교류저항 표준기가 개발이 되었다. 개발된 표준기는 저항체의 기계적 구조에 의한 변화를 막기 위해서 non-inductive 구조의 metal foil element로 제작된 것을 사용하였으며, 각각의 저항체에 개개의 항온조를 체택함으로서 온도의 안정성과 이동의 편리를 함께 만족되도록 하였다. 제작된 교류저항 표준기의 특성은 온도 안정도가 ${\pm}5$ mK/d, 저항값의 안정도가 ${\pm}0.01{\mu}{\Omega}/{\Omega}/d$, 1년간의 장기안정도가 $1{\mu}{\Omega}/{\Omega}$ 이하로 측정이 되었다. 개발된 교류저항 표준기는 교류저항분야 국가표준유지 및 소급에 사용이 된다.
저주파에서의 교류전류 1차표준은 교류-직류 변환기를 이용하여 직류전류표준으로부터 유도된다. 전류측 정범위 $5mA{\sim}20A$, 주파수범위 $10Hz{\sim}100kHz$에서 교류전류의 1차표준기로 사용될 15개의 교류-직류 열전형 전류변환기를 제작 및 평가한 결과, 이를 이용한 교류전류표준의 유지 및 보급의 측정 불확도는, 주파수 20 kHz이 하에서 측정 전류 20 mA까지는 최대 52 ppm, 100 mA까지는 60 ppm으로 확인되었고, 측정 전류 및 주파수가 증가함에 따라 200 ppm까지 증가하는 것으로 나타났다.
교류 자기장의 정밀측정, 자기장 측정기의교정 및 관련 시험 등 을 지원하기 위해 교류자기장 표준장치를 개발하였다. 주파수에 따른 확장분확도(expanded uncertainty, 2 $\sigma$)는 1 MBz 이하에서 0.16 %, 1 kHz $\sim$ 5 kHz 에서 0.26 %, 5 kHz $\sim$ 20 kHz에서 0.44 % 이었다. 측정결과에 대한 국제적 신뢰성 및 상호인증을 확보하기 위하여 핵심측정표준 국제비교(international key comparison)에 참여하였으며, 또한 측정능력, 교정 및 시험방법 등에 대한 국제적 전문가로부터 평가(peer review)를 수감하였다. 따라서 한국표준과학연구원 (KRISS)에서 교정 및 측정한 결과에 대해서는 국제적 상호인증을 받을 수 있다.
교류전압표준기인 열전형 전압변환기의 교류-직류 변환오차를 비교평가하기 위하여 이중채널방식 자동측정시스템을 개발하였다. 비교측정되는 2대의 변환기출력을 동시에 측정하여 드리프트의 영향을 감소시켰고, 또 저열기전력 이중채널 스캐너를 사용하여 변환기 출력을 순방향-역방향으로 측정하여 그 평균값을 취함으로서 전압측정기의 ���V전압이 제거되도록 하였다. 정격전압이 동일한 4 V인 변환기끼리 비교 측정한 결과, 주파수 $40\;Hz{\sim}100\;kHz$에서는 외국표준기관에서의 측정값과 약 ${\pm}2\;ppm$ 이내에서 일치하였으며, $200\;kHz{\sim}1\;MHz$ 범위에서는 약 ${\pm}4\;ppm$ 이내에서 일치하였다. 본 시스템의 개발로 변환기의 교류-직류 변환오차의 측정능력을 기존수동방식의 약 ${\pm}15\;ppm$에서 ${\pm}\;3ppm$(100 kHz 이하)로 크게 향상시켰으며, 표준유지 및 산업체 지원의 효율을 크게 높일 수 있게 되었다.
이번 성원에드워드 학술상 수상자 선정은, 진공기술의 중요성에 공감하고 진공기술 발전을 위한 노력을 독려하자는 진공학회 회원들의 의견을 모아주신 결과로 생각한다. 본 발표에서는 그동안 한국표준과학연구원에서 수행해 온 진공 기술 연구 및 산학연 협력 네트워크 활동을 소개하고자 한다. 진공기술은 진공 환경을 발생시키고 측정 제어하며, 만들어진 진공 환경 안에서 원하는 작업을 할 수 있도록 하는 기술을 말한다. 우리나라의 주력산업인 반도체 및 디스플레이의 경우 그 생산 설비의 1/3이상이 진공 장비이며 진공 공정을 통해 만들어진다. 때문에 우리나라에서는 주력 산업분야나 그 전후방 산업의 경쟁력 강화 측면에서 진공기술 개발 중요성이 아주 크다. 한국표준과학연구원은 국가 대표 측정 기관으로 국가 측정 표준을 확립하고 측정관련 과학기술을 연구개발하며 그 성과를 보급하여 경제발전과 과학기술발전, 그리고 삶의 질 향상에 기여하는 것을 임무로 하고 있다. 우리나라에서 진공 측정 표준에 대한 연구가 본격적으로 시작된 것은 1984년으로 불용 장비로 불하받은 펌프와 챔버, 그리고 차관으로 도입된 Capacitance Diaphragm Gauge 몇 개만으로 시작되었다. 지금은 발전을 거듭하여 초음파 간섭 수은주 압력계를 비롯하여 정적 팽창시스템, 동적 팽창 시스템 등 진공도 범위별 국가 표준기와 리크 표준기를 자체 개발 하여 국가 측정 표준을 확립하고 있다. 우리나라의 진공 표준 및 측정 능력은 국제기구인BIPM에서 실시하는 국가 측정능력 비교시험을 통해 세계 최고 수준으로 인정 받은 바 있으며 교정검사 등을 통해 산학연에 보급되고 있다. 진공 측정 및 표준기술을 토대로, 1999년부터 과학기술부와 산업자원부의 지원을 받아 산학연이 필요로 하는 펌프 계측기 부품 소재 및 공정 특성을 평가하기 위한 장치와 절차를 개발하였다. 이를 이용해 보급되는 기술 data는 진공부품 및 장비 국산화, 국산제품 신뢰성 제고, 검증부품 사용을 통한 장비 품질 향상, 독자적 장비 기술 확보, 생산품 품질관리 등에 쓰이고 있다. 한국 표준연구원 진공센터의 교정 및 시험 능력은 ISO 9001 인증 획득과 국제 전문가의 review를 거쳐, 국제기구 측정능력표에 등재되어 있어 국제적 신뢰도도 확보하고 있다. 정기적인 진공기술 교류회를 개최하고 진공기술 홈페이지를 운영 하는 등 산학연 정보 교류 및 협력 네트워킹 활성화를 위해 노력한 바 있으며 이 분야의 연구 성과는 '국가 우수 연구성과 100선'에 선정된 바 있고, 산업자원부 지정 '산학연 연계 우수사례' 첫 번째로 선정되기도 하였다. 2008년부터는 진공기술 교류회 등을 통한 네트워킹 활동으로 도출된 기술 수요에 따라 대기업과 중소기업 학교 연구소들과 함께 진공공정 실시간 측정 진단 기술과 센서 개발 연구, 그리고 이들 개발품의 신뢰성 검증 및 평가 기술 개발을 위해 노력하고 있다.
자기장 측정기 교정 및 자기관련 시험 등에 사용되는 직류 및 교류 자기장 표준시스템을 제작하였다. 자기장 1 mT범위에서, 직류의 경우 확장불확도(expanded uncertainty, 2$\sigma$)는 8${\times}$$10^{-6}$, 교류의 경우, 주파수에 따른 확장불확도는 0.1~1 kHz 범위에서 0.16%, 1~5kHz에서 0.26%, 5~20kHz에서 0.44%이었다. 또한 국가측정표준에 대한 동등성과 수행한 교정 및 측정에 대한 국가간 상호인정을 받기 위하여 이 분야의 핵심측정표준 국제비교(international key comparison)에 참여하였다. 선진국과 대등한 결과를 얻었으며, 자기장 분야의 측정능력이 세계적 수준임을 확인하는 계기가 되었다.
저 주파수에서 인덕턴스를 정밀하게 측정하는 방법은 RLC를 이용한 resonance 방법과 교류브리지를 이용한 방법이 있다. 현재 선진 국가표준기관에서의 인덕턴스 표준유지는 약 5 ppm정도이고, 인덕턴스 측정브리지는 국가에 따라 자체 개발하여 사용하며 평균적으로 약 20 ppm의 불확도로 보급을 하고 있다. 이러한 세계적 수준으로 인덕턴스 표준을 유지, 보급하기 위하여 10nF의 전기용량 표준으로부터 10 mH의 인덕턴스를 유도할 수 있는 Maxwell-wein bridge가 개발이 되었다. 이 브리지가 개발됨으로서 10 mH의 경우 400 Hz$\sim$5 kHz의 주파수 범위내에서 약 8 ppm($2{\sigma}$)의 불화도로서 인덕턴스 표준을 유지할 수가 있게 되었다.
일반적인 교류 브릿지를 이용하여 인덕턴스를 0.1% 이상의 정확도로 측정한다는 것은 대단히 어려운 일이다. 따라서 인덕턱스의 표준을 설정하고 이에 대한 표준 공급을 가능케하기 위해서 막스웰 ―윈 브릿지 시스템을 개발하였다. 브릿지 시스템의 성능을 분석한 결과, 현재 ±200ppm의 정확도로 인덕턴스의 측정이 가능케 되었다.
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[게시일 2004년 10월 1일]
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