TSV기술은 실리콘 칩에 관통 홀(through silicon via)을 형성하고, 비아 내부에 전도성 금속으로 채워 수직으로 쌓아 올려 칩의 집적도를 향상시키는 3차원 패키징 기술로서, 와이어 본딩(wire bonding)방식으로 접속하는 기존의 방식에 비해 배선의 거리를 크게 단축시킬 수 있다. 이를 통해 빠른 처리 속도, 낮은 소비전력, 높은 소자밀도를 얻을 수 있다. 본 연구에서는 웨이퍼 레벨에서의 TSV 충전 경향을 조사하기 위하여, 실리콘의 칩 레벨에서부터 4" 웨이퍼까지 전해 도금법을 이용하여 Cu를 충전하였다. Cu 충전을 위한 도금액은 CuSO4 5H2O, H2SO4 와 소량의 첨가제로 구성하였다. 양극은 Pt를 사용하였으며, 음극은 $0.5{\times}0.5 cm^2{\sim}5{\times}5cm^2$ 실리콘 칩과 4" 실리콘 wafer를 사용하였다. 실험 결과, $0.5{\times}0.5cm^2$ 실리콘 칩을 이용하여 양극과 음극과의 거리에 따라 충전률을 비교하여 전극간 거리가 4 cm일 때 충전률이 가장 양호하였다. $5{\times}5cm^2$ 실리콘 칩의 경우, 전류 공급위치로부터 0~0.5 cm 거리에 위치한 TSV의 경우 100%의 Cu충전률을 보였고, 4.5~5 cm 거리에 위치한 TSV의 경우 충전률이 약 95%로 비아의 입구 부분이 완전히 충전되지 않는 경향을 보였다. 전극에서 멀리 떨어져있는 TSV에서 Cu 충전률이 감소하였으며, 안정된 충전을 위하여 전류를 인가하는 시간을 2 hrs에서 2.5 hrs로 증가시켜 4" 웨이퍼에서 양호한 TSV 충전을 할 수 있었다.
본 연구는 중진지역에서의 PC(precast conctete) 보-기둥 접합부의 새로운 모멘트-저항 시스템을 제안하는 것이다. 철근 이음형 접합부에서 연결재는 접합부를 관통하고, U형 하프 PC 보의 하부철근과 비접촉 겹칩이음으로 연결되어 있다. 비접촉 겹침이음에 대한 성능을 파악하기 위하여 실험적 연구와 해석적 연구가 수행되었다. 실험의 주요변수는 겹침길이, 연결재의 크기, 그리고 겹침이음된 연결재의 거리 등이다. 또한, 균열양상, 하중-변위 곡선, 내력 비교, 그리고 연결재의 변형 등에 초점을 맞추어 해석적 연구를 수행하여 실험결과와 비교하였다. 해석과 실험 결과 주요변수인 겹침길이, 연결재의 크기, 연결재의 비접촉 수직 거리등에 따라 강도, 연성, 그리고 접합부 거동에 큰 영향을 주는 것으로 나타났다.
A number of atomization and droplet breakup models have been developed and used to predict the diesel spray characteristic. Most of these models could not provide reasonable computational result of the diesel spray characteristic because they have only considered the primary breakup. A hybrid model is, therefore, required to develop by considering the primary and secondary breakup of liquid jet. according to this approach, wave breakup(WB) model was used compute the primary breakup of the liquid jet and droplet deformation and breakup(DDB) model was used for the secondary breakup of droplet. Development of hybrid model by using KIVA-II code was performed by comparing with the experimental data of spray tip penetration and SMD from the literature. A hybrid model developed in this study could provide the good agreement with the experimental data of spray tip penetration. The prediction results of SMD were in good agreement between 0.5 and 1.0 ms after the start of injection. Numerical results obtained by the present hybrid model have the good agreement with the experimental data with the breakup time constant in WB model of 30, and DDB model constant Ck of 1.0 when the droplet becomes less than 95% of maximum droplet diameter injected.
치아 스케일링은 치아에 단단하게 결착된 치석을 제거하는 치과 시술로서 치아 우식 및 잇몸염증을 예방하는 중요한 시술이다. 특히 요즘에는 치료시간의 단축을 통한 효율성 증대의 목적으로 전기적 에너지를 미세한 진동에너지로 바꾸는 원리를 활용한 초음파 스케일링 기법이 많이 행해지고 있다. 하지만 치아 및 치석 확보에 따른 어려움으로 인해 스케일링 시술을 충분히 훈련하기란 쉽지 않다. 본 논문에서는 사용자가 가상현실을 통해 시각 및 촉각 피드백을 받으며 초음파 스케일링 시술을 훈련할 수 있는 치아 스케일링 시뮬레이션을 위한 알고리즘을 제안한다. 치아, 치석 및 잇몸의 볼륨모델과 스케이러 팁을 구성하는 각 부문의 관통깊이를 이용한 햅틱 랜더링 기법을 적용하여 스케일러의 모양에 따른 햅틱 피드백을 생성하였다. 그리고 치아의 손상을 줄이기 위해 스케일러의 팁 부문이 치아 표면에 되도록 평형을 이루어야 한다는 점에 입각하여, 치석을 구성하는 복셀들의 치아 디스턴스필드 값 비교를 통해 치석과 치아 사이의 접착면을 추출하고 스케일러의 팁 부분과 충돌하는 추출된 집착면의 각도를 고려한 스케일링 알고리즘을 구현하였다. 또한 수동 스케일링과는 달리 초음파 스케일링은 초음파의 진동에너지에 의해 점진적으로 치아와 치석 사이의 결속력이 감소된다는 점에 착안하여 치아와 치석의 접착면을 구성하는 지점 사이의 거리에 따른 결속력 감쇠 모델을 고안하였다.
The breakup processes and spray plume characteristics of liquid jets injected in subsonic air cross-flows were experimentally studied. The behaviors of column, penetration, breakup of plain liquid jet and droplet sizes, velocities have been studied in non-swirling cross-flow of air. Nozzle has a 1.0 mm diameter and Lid ratio=5. Experimental results indicate that the breakup point is delayed by increasing air momentum, the penetration decreases by increasing Weber number and the split angle is increased by increasing air velocity or decreasing injection velocity. SMD increases according as increasing height or decreases in accordance with increasing air velocity. This phenomenon is related to the momentum exchange between column waves and cross-flow stream. Droplet vector velocities were varied from 11.5 to 33 m/s. A higher-velocity region can be identified in down edge region at Z/d=40, 70 and 100. Lower-velocity region were observed on bottom position of the spray plume.
아음속 유동 내에 수직으로 분사된 액체제트의 액적분열 분포 특성을 알아보기 위해 이유체 노즐을 사용하여 실험적으로 연구하였다. 노즐은 L/d=3의 외부혼합형으로 공기와 액체의 비를 0 ${\sim}$ 59.4%까지 변화시키면서 분사하였다. 분무형상의 변화를 이미지화 하였으며 분무의 궤적과 액주의 형상을 관찰하였다. 액체제트 분열의 단면분포 특성을 PDPA를 사용하여 측정하였며 SMD, 액적속도, 그리고 체적유속을 측정하였다. 그 결과 노즐로 공급되는 공기의 양이 많아질수록 Y/d방향의 관통거리는 증가하였고 액적의 미립화는 가속화되는 것을 관찰할 수 있었다.
철도는 대량수송 및 정시제 운행이라는 중요한 역할을 하면서도 다른 한편으로는 철도연변에 거주하고 있는 사람들에게 상당한 소음공해를 미쳐 정온한 생활환경을 누릴 권리를 침해하고 있음에도 불구하고 철도소음을 관리하는 기준이나 대책등이 아직 미미한 실정이다. 향후 5년 내에는 고속철도의 등장도 확실하지만 기존 재래식 철도에 대한 소음 실태 자료마저 충분치 않아 철도연변의 소음진동 문제를 해결하기 위한 기본적 수단인 소음 기준 제시를 위해서는 폭넓은 기초 자료확보와 새로운 관련연구가 요청되었다. 이러한 필요성에 따라 전기기관차를 중심으로 영동선, 중앙선, 태백선, 경인선, 경원선 및 대도시 도심지를 관통하는 호남선 및 경부선 중에서 측정환경이 양호한 22개 지역을 선정하여 기존 철도의 구간별 30분, 1시간, 2시간, 3시간 등가소음도를 측정하였고 선로의 조건, 열차의 종류 및 속도, 거리권별 등에 따른 개별열차 통행시의 소음특성을 조사하여 철도소음의 기준 설정과 방지대책 강구시에 활용할 수 있도록 하며, 열차 통행속도로부터 최고소음도를 추정하여 주변지역의 등가소음도를 산정할 수 잇는 예측식을 도출하여 측정방법 개정에 활용하고, 그리고 선로변에 위치한 공동주택을 대상으로 층별 철도소음 노출도와 열차통과시의 공동주택 실내.외의 소음도를 비교조사하여 벽체 차음 효과를 조사하였고 철도소음에 대한 주민반응 조사를 하였다.
디스플레이 산업의 발달로 화상 영상폰, 디지털 카메라, MP4, PMP, 네비게이션, LCD TV등의 가전 제품의 수요증가에 따라 이에 장착되는 LCD 패널의 생산력 향상과 원가 절감을 위한 검사 기술이 요구되고 있다. LCD 검사를 위한 Probe unit은 미세전기기계시스템(MEMS) 공정을 이용하여 제작된다. LCD 검사용 Probe unit는 LCD 가장자리 부분에 전기적 신호(영상신호, 등 기신호, 색상신호)가 인가되도록 하는 수 십 내지 수 백개의 접속 단자가 고밀도로 배치되는데, 이러한 LCD는 제품에 장착되기 전에 시험신호를 인가하여 화면의 불량여부를 검사하기 위한 점등용 부품으로 50 um 이하의 Pin간 거리를 유지하면서 정확한 Pin Alignment를 요구하는 초정밀 부품이다. 본 연구에서는 반도체용 Si wafer에 마스크 공정 및 slit etching 공정을 적용하여 목표인 30 um pitch의 Probe unit을 개발하기 위해 Deep Si Etching(DRIE) 장비를 이용하여 식각 공정에 따른 특성을 평가하였다. 마스크 공정은 500 um 두께의 양면 연마된 반도체용 Si wafer를 이용하였으며, thick PR을 사용하여 마스킹하여 식각공정을 수행하였다. Si 깊은 식각은 $SF_6$ 가스와 Passivation용으로 $C_4F_8$ 가스를 교대로 사용하여 수직방향으로 깊은 식각이 이루어지는 원리이다. SEM 측정 결과 30 um pitch의 공정 목표에 도달하였으며, 식각공정 결과 식각율 6.2 um/min, profile angle $89.1^{\circ}$로 측정되었다. 또한 상부 에칭공정과 이면 에칭공정에서 폭과 wall의 간격이 동일하였으며, 완전히 관통된 양면식각이 이루어졌음을 확인하였다. 또한 실제 사용되는 probe unit의 조립에 적합한 slit 공정을 위한 에칭특성을 조사하였다.
Spray characteristics of conventional diesel fuel and bio-diesel fuel(methyl-ester of soybean oil) were compared, in terms of spray tip penetration and spray angle, by using a commercial high pressure common rail injection system for light-duty DI Diesel engines. The experiments were carried out under the non-evaporating condition at ambient density(8.8, $15.6 kg/\textrm{m}^3$) and injection pressure(75, 135 MPa). The experimental method was based on a laser sheet scattering technique. Spray tip penetrations of bio-diesel fuel were longer, on the whole, than those of conventional diesel fuel, except for lower injection pressure(75 MPa) under lower ambient density$(8.8 kg/\textrm{m}^3)$. But spray near angle and spray far angle of bio-diesel fuel were smaller than those of conventional diesel fuel, implying spray angle is related to the growth rate of spray tip penetration. The experimental results of spray tip penetration agreed well with the calculated values by the Wakuri et al.'s correlation based on the momentum theory.
본 연구는 영도에서 부산항을 체험할 수 있는 조망점을 대상으로 조망점의 공간적 분포, 부산항을 체험하는 시선의 유형, 항구경관의 구도적 특성 그리고 조망점의 시각특성을 밝히고자 하였다. 선정된 조망점 27개소를 대상으로 한 연구의 결과는 다음과 같다. 첫째, 조망점의 공간적 분포 유형은 공원형, 공공시설형, 도로변형으로 구분되었다. 조망점은 도로변형에서 가장 많이 분포하는 것으로 나타났다. 둘째, 부산항을 체험하는 시선의 유형은 수제선회유형, 항만대변형, 도시관통형으로 나타났다. 영도에서 바라보는 부산항 경관에 대한 시선의 유형은 도시관통형이 가장 많이 나타났다. 이유로는 영도라는 섬이 도시화로 인해 시가지와 도로가 점점 확장되면서 부산항을 바라보는 시선이 도시를 관통하여 바다를 조망하는 시선이 많아지게 된 것으로 보인다. 셋째, 항구경관의 구도적 특성은 파노라마형, 회랑형, 지붕너머형으로 파악되었다. 그 중 지붕너머형이 가장 많이 나타났다. 이를 통해 영도에서 체험하는 부산항의 모습은 대부분 경관의 연속성이 상실되고, 주거지의 지붕이 거리감을 차단하여 일종의 차경 역할을 하는 것을 알 수 있었다. 마지막으로 조망점의 시각특성을 분석하였다 조망정의 부각은 수평경에 가까운 $-3^{\circ}{\sim}-1^{\circ}$사이에 13개소, $-6^{\circ}{\sim}-4^{\circ}$의 범위에 12개소로 가장 많은 분포를 보였다. 부감의 시축에 해당되는 조망점은 2개소로 나타났다. 이는 시가지가 확장되면서 건물에 의해 내려다보는 시선이 차단된 결과로 판단되었다. 그리고 시거리의 지리적 범위는 0.2km~6.4km에 이르는 광범위한 조망역을 이루고 있었다. 최적의 부감경을 체험할 수 있는 조망점 2개소는 지속적으로 조망을 보전하기 위한 방법을 제안하였다. 본 연구의 성과는 부산의 경우와 같은 항만도시에 있어서 조망점의 관리 및 보전 등의 경관계획에 기초자료로 활용할 수 있을 것으로 기대한다.
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[게시일 2004년 10월 1일]
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