• 대한전기학회:학술대회논문집
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• 대한전기학회 2002년도 하계학술대회 논문집 C
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• pp.2000-2002
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• 2002

신장병의 조기진단을 위해서 체내의 요소 농도의 정확한 측정은 매우 중요하며, 이러한 이유에서 많은 연구자들은 보다 빠르고 정확한 체내의 요소농도 측정을 위한 바이오센서를 개발 중이다. 본 논문은 반도체 공정을 이용하여 산화막(4.000${\AA}$)이 성장된 p-형 실리콘 웨이퍼를 사용하였다. RF sputter를 사용하여 티타늄과 백금을 증착한 백금 박막전극을 제작하였다. 그 위에 전도성 고분자인 Polypyrrole(PPy)과 전도도를 증가시키기 위하여 구리를 도펀트로 사용 scan rate 40mV/S $0.8{\sim}-0.8V$ 전위영역에서 산화적 전기 중합법 (anodical electropolymerization)을 이용하여 전극을 형성하였다. 요소를 2개의 암모늄 이온과 1개의 탄산 이온으로의 가수분해반응을 촉매하는 효소로써 유레이즈(urease)를 전기적 흡착방법을 이용하여 고정화하고 이에 요소농도의 변화에 대하여 시간대 전류법 (chronoamperometry:CA)을 사용하여 감도를 측정하였다. 최적화된 조건하에서 요소농도에 비례하여 Cu-doped PPy electrode로부터 얻어진 확산한계전류는 $4.5{\mu}A$/decade의 기울기를 나타내었다. 전극의 표면은 SEM(Scanning Electron Microscopy)과 EDX(Energy Dispersive X-Ray Spectrometer)를 이용하여 분석 하였다.

• 상하수도학회지
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• 제23권4호
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• pp.417-430
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• 2009

A BNR comprehensive performance evaluation (BNR CPE) system was established employing system-oriented evaluation methodology for biological nutrient removal (BNR) processes based on the CPE techniques developed by U.S. EPA for evaluation of conventional biological processes. The BNR CPE system applied to five domestic BNR plants adopting $A^2/O$ process confirmed that all target plants except the smallest one had not any serious defective performance and process stability was enhanced with increasing plant size. The system also clearly verified relatively poor performances in anoxic reactors without exception mainly due to influent carbon limit rather than functional defect. Consistent good performances were confirmed even during both winter season and wet weather generally known to be difficult to achieve satisfactory removals. Presentation of evaluation results by modified radar chart system simplified and clarified the evaluation and analysis procedures. The BNR CPE system could not only discover readily the causes of present and prospective poor performances but also facilitate the suggestion of their optimization options. Mutual effect and cause-and-effect among operation parameters and unit processes were also found easily using the evaluation system. The system justified that the adverse effect of defective operating parameters could be compensated by other favorable parameters, especially in anaerobic and anoxic reactors as well as during the winter season.

• 한국표면공학회지
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• 제38권2호
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• pp.73-78
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• 2005

A real-time monitoring of ICP(inductively coupled plasma) assisted magnetron sputtering of MgO was carried out using a QMS(quadrupole mass spectrometer), an OES(optical emission spectrometer), and a digital oscilloscope with a high voltage probe and a current monitor. At the time of ICP ignition, the most distinct impurity was OH emission (308.9 nm) which was dissociated from water molecules. For reactive deposition oxygen was added to Ar and the OH emission intensity was reduced abruptly When the discharge voltage was regulated by a PID controller from 240V(metallic mode) to 120V(oxide mode), the emission intensity from Mg (285.2 nm) changed proportionally to the discharge voltage, but the intensity of Ar I(811.6 nm) was constant. At 100V of discharge voltage, Mg sputtering was almost stopped. Emissions from Ar I(420.1 nm) and Mg I were dropped down to 1/10, but Ar I(811.6 nm) didn't change. And the emission from atomic oxygen (O I, 777.3 nm) was increased to 10 times. These results are compatible with those from QMS study.

• 한국진공학회:학술대회논문집
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• 한국진공학회 2011년도 제41회 하계 정기 학술대회 초록집
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• pp.322-322
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• 2011

Transparent Conductive Oxide (TCO) 박막은 디스플레이 산업에 낮은 면저항 및 높은 광투과성으로 없어서는 안 될 중요한 물질로 많은 선행연구가 진행되어져 왔다. 하지만 전 세계적으로 플라즈마와 TCO박막의 특성과의 상관관계에 대한 연구가 부족하여, 디바이스 업계에서 요구하는 수준에 미치지 못하고 있다. 본 연구에서는 저온 공정이 가능한 dual pulsed magnetron sputtering을 이용해 TCO박막을 합성하고 플라즈마 특성 변화에 따른 TCO 박막의 상관관계를 규명 하고자 한다. Dual pulsed magnetron의 자장에 의해 구속되는 플라즈마 내의 이온 종들과 이온과 중성자의 비율관계를 optical emission spectroscopy (OES)로 확인 하였고, 기판 전류 및 기판 온도 측정, Langmuir probe를 통한 플라즈마 특성 분석을 통하여 플라즈마와 특성과 박막 성장과의 상관관계에 대하여 규명 하였다. 전자 온도는 1.25 eV에서 2.46 eV 증가하는 것을 확인할 수 있었으며, 이온 밀도는 $1.7{\times}109/cm^3$에서 $2.2{\times}109/cm^3$ 증가하는 것을 확인하였다. 이러한 플라즈마 밀도가 증가함에 따라 박막은 비정질에서 다결정질로 바뀌면서 전기이동도는 증가하고 전자 농도는 감소하여 87.8%의 높은 투과율과 <50 ${\Omega}/{\Box}$의 면저항을 갖는 TCO 박막을 합성 하였다.

• 산업경영시스템학회지
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• 제33권1호
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• pp.33-40
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• 2010

Because sampling interval for data collection tends to be short compared with the overall processing time, in chemical process, instrumental process related tanks or furnace collected data have a significant autocorrelation. Insufficient control technique and frequent control actions cause unstable condition of the process. Traditional control charts which were developed based on iid (independently and identically distributed) among data cannot be applied on the existence of autocorrelation. Also unstable process is difficult to identity or diagnose. Because large-scale process has a lot of measurable variables and multi-step-structures among data, it is difficult to find relation between measurable variables and nonconformity. In this paper, we suggested an appicable model to diagnose the process and to find relation between measurable variables (CTQ) and nonconformity in the process having autocorrelation, unstable condition frequently, a lot of measurable variables, and multi-step-structure. And we applied this model to real process, to verify that the process engineers could easily and effectively diagnose the process and control the nonconformity.

• 한국가스학회지
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• 제12권3호
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• pp.1-6
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• 2008

갈수록 성장하고 있는 LNG 산업에 있어서 안전관리는 필수적인 요소로 자리잡아가고 있다. 이에 따라 기존의 LNG 저장/수송 시설에 대한 안전 관리를 보다 발전시킬 수 있는 것이 필요하며 최근 발전된 IT 산업은 LNG 저장/수송 시설에 대한 통합 안전관리 시스템을 가능케 했다. 위험성 평가/분석 기술, 폭발, 누출 및 확산 모델 구축 기술, 실시간 모니터링 및 이상 진단 기술, Data reconciliation을 통한 공정 정보 신뢰성 향상 기술 등을 집약하며 웹 환경을 통하여 구축될 통합 안전관리 시스템은 LNG 산업의 안전성 향상과 향후 기술 수출에 큰 기여를 할 것이다.

• 월간산업보건
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• 통권42호
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• pp.25-28
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• 1991

산업현장에서는 대단히 많은 화학물질이 원료, 기타 용도로 이용되고 있으며, 근로자는 항상 폭로 내지는 중독의 위험을 받고 있다. 따라서 그 관리를 함에 있어서는 산업에서 쓰이는 화학물질의 종류와 양, 사용공정, 근로자의 폭로 상황에서부터 폐기에 이르기까지 모든것을 파악함과 동시에 그 작업환경관리, 작업관리 및 건강관리에 관해서 법규나 실제를 상세하게 알아둘 필요가 있다. 1. 관리는 기본적으로 법규에 의거하여 실시되는데, 여기에는 최소한의 규칙이 있으며, 실제 관리에 있어서는 임기응변의 최대한 노력이 필요하다. 2. 환경관리를 하는데는 기본적으로 허용농도가 이용되며, 국제적으로는 생물학적 한계치가 제창되어 응용되고 있다. 3. 법규 또는 독성에 의거하여 특정 화학물질, 기타 각종 호칭이 쓰이고 있으며 이러한 단어는 어떤내용을 지니고 있기 때문에 충분하게 정립해 둘 필요가 있다. 4. 화학물질에 의한 중독예는 해마다 감소되고 있는데 반하여 때로 대참사를 일으키는 수도 많아서 예전부터 화학물질에 의한 급성중독에서부터 만성장기폭로로 인한 영향에 대해 관심을 모으고 있다. 특히 직업성암에 대한 문제가 대두되고 있다. 5. 사고성 대량방출이나 산소 결핍증에는 구조자나 제3자에 대한 이차성 피해가 발생되기 쉬우므로 이 점에 주의를 요한다. 6. 일반환경으로의 방출로 인해 주민에게 미치는 영향도 주의해야 한다. 7. 근로자는 화학물질의 위험성에 대하여 잘 알지 못하거나 습관적인 취급으로 인해 주의가 산만해지기 때문에 충분한 보건교육이 있어야 한다. 8. 화학물질에 의한 건강장해예방의 기본은 발생억제, 격리, 제거(배기), 체내 침입방지, 장해예방(건강진단, 생활 등)이다.

• 한국표면공학회지
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• 제45권5호
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• pp.206-211
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• 2012

Process analysis was carried out during deposition of MgO by inductively coupled plasma assisted reactive magnetron sputtering in Ar and $O_2$ ambient. At the initiation of Mg sputtering with bipolar pulsed dc power in Ar ambient, total pressure showed sharp increase and then slow fall. To analyse partial pressure change, QMS was used in downstream region, where the total pressure was maintained as low as $10^{-5}$ Torr during plasma processing, good for ion source and quadrupole operation. At base pressure, the major impurity was $H_2O$ and the second major impurity was $CO/N_2$ about 10%. During sputtering of Mg in Ar, $H_2$ soared up to 10.7% of Ar and remained as the major impurity during all the later process time. When $O_2$ was mixed with Ar, the partial pressure of Ar decreased in proportion to $O_2$ flow rate and that of $H_2$ dropped down to 2%. It was understood as Mg target surface was oxidized to stop $H_2$ emission by Ar ion sputtering. With ICP turned on, the major impurity $H_2$ was converted into $H_2O$ consuming $O_2$ and C was also oxidized to evolve CO and $CO_2$.

• 한국안전학회지
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• 제34권4호
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• pp.59-67
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• 2019

Since it is really hard to construct process models based on prior process knowledges, various statistical approaches have been employed to build fault diagnosis models. However, the crucial drawback of these approaches is that the solutions may vary according to the fault magnitude, even if the same fault occurs. In this study, the parameter monitoring approach is suggested. When a fault occurs in a chemical process, this leads to trigger the change of a process model and the monitoring parameters of process models is able to provide the efficient fault diagnosis model. A few important variables are selected and their predictive models are constructed by partial least square (PLS) method. The Euclidean norms of parameters of PLS models are estimated and a fault diagnosis can be performed as comparing with parameters of PLS models based on normal operational conditions. To improve the monitoring performance, cumulative summation (CUSUM) control chart is employed and the changes of model parameters are recorded to identify the type of an unknown fault. To verify the efficacy of the proposed model, Tennessee Eastman (TE) process is tested and this model can be easily applied to other complex processes.

• 선박안전
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• 통권33호
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• pp.53-62
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• 2012

펌프는 산업 및 건설현장에 급수, 냉난방 및 산업공정에서 다양하게 사용되고 있으며, 전체 국가 전력의 약 20%를 소비하고 있다. 하지만 에너지 낭비요소에 대한 관리는 거의 이루어지지 않고 있는 실정이다. 따라서 만일 효율이 저하된 상태로 펌프가 운전된다면 그의 에너지 낭비는 대단히 크게 된다. 펌프의 경우 초기 구입비용에 비해 사용하면서 발생하는 전력비용이 대단히 크기 때문에 이러한 낭비를 줄이기 위해서는 펌프의 효율을 정기적으로 측정하여 펌프의 운전 상태를 진단함으로써 펌프의 최적운전상태 및 교환주기 등을 제시할 수 있을 것이다. 본 연구에서는 펌프의 효율측정을 위해 열역학적 방법과 수력학적 방법(전통적인 방법)의 두 가지 방법으로 측정할 수 있는 장비에 대해서 소개하고 실제 펌프의 효율을 계산하여 그 유효성을 확인하였다.