• Title/Summary/Keyword: 공정감시

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반도체 공정 플라즈마의 밀도 균일성 분석을 위한 공간 분해 발광 분광기

  • 오창훈;류훈철;이형우;김세연;이헌정;한재원
    • 한국진공학회:학술대회논문집
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    • 한국진공학회 2009년도 제38회 동계학술대회 초록집
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    • pp.412-412
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    • 2010
  • 플라즈마는 미세 전기 소자 제작에 있어 박막의 증착, 식각, 세정등 여러 가지 공정에서 널리 사용되고 있다. 미세 소자의 선폭의 감소와 높은 생산성을 위한 웨이퍼 면적의 대형화가 진행됨에 따라 플라즈마의 균일도는 공정 수율 향상의 관점에서 중요한 요소로 그것의 계측과 공정 중 실시간 감시에 필요성이 부각되고 있다. 플라즈마에 존재하는 라디칼의 밀도, 이온의 밀도, 전자 온도 등의 웨이퍼 상에서의 공간 분포와 공정 결과물과의 상관관계에 대한 연구는 현재까지 다양하게 진행 되었으며 특히, 라디칼의 공간 분포가 공정 결과물의 균일도와 큰 상관 관계가 있는 것으로 알려져 있다. 라디칼의 농도 분포를 계측은 레이저 유도 형광법, 발광 분광법, 흡수 분광법 등을 통하여 이루어져 왔으며, 특히 발광 분광법의 경우 계측의 민감성, 편의성등을 이유로 가장 널리 사용되고 있다. 그러나 현재 까지 진행된 발광 분광법을 이용한 라디칼의 공간 분포 계측은 그 자체로 공간 분포를 계측하는 것이 아닌 플라즈마 밀도의 축 대칭성을 가정하여 Abel inversion을 적용하거나, 광섬유를 플라즈마에 직접 삽입하는 방식을 사용하기 때문에 실제 반도체 제작공정을 비롯한 미세소자 공정 플라즈마의 라디칼 밀도 분포를 실시간, 비 접촉 방식으로 계측 하는데 한계가 있다. 본 연구에서는 반도체 공정 플라즈마의 밀도 균일성 분석을 위한 공간 분해 발광 분광기를 제안한다. 기존의 발광 분광법과 비교하여 공간 분해능 향상을 위하여 직렬로 설치된 다수의 렌즈, 개구, 그리고 핀홀을 이용하였다. 공간 분해 발광 분광기의 공간 분해능을 계산하였으며, 실험을 통하여 검증 하였다. 또, HDP CVD를 이용한 $SiO_2$ 박막 증착 공정에서 산소 라디칼의 농도와 증착된 박막의 두께 분포의 상관 관계를 계측 함으로써 공간 분해 발광 분광기의 플라즈마 공정 적용 가능성 입증 하였다.

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동영상 코덱과 연동이 가능한 객체 추적 카메라용 저연산량 움직임 추적기 (Low-computation Motion Tracker Unit Linkable to Video Codec for Object Tracking Camera)

  • 양현철;이성수
    • 대한전자공학회논문지SD
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    • 제45권10호
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    • pp.66-74
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    • 2008
  • 능동형 감시 카메라를 이용한 감시 시스템은 기존의 소리나 센서를 이용하는 방법과 달리 거리의 제약이 없이 시스템을 구성할 수 있다는 장점을 가지지만 하드웨어 구현 시에 많은 연산량을 요구한다. 본 논문은 기존의 DSP나 임베디드 프로세서를 이용하는 방법과 달리 연속 영상의 차영상을 이용하는 방법을 통해서 간단하고 빠르게 객체의 움직임을 추출 및 추적할 수 있는 움직임 추적기를 제안하고 구현하였다. 제안하는 움직임 추적기는 하드웨어 크기가 작으면서도 시속 10km 이내의 사람 움직임을 효과적으로 감지할 수 있다. 차분의 절대값을 이용하는 방법을 사용하였기 때문에 동영상 압축 표준과 연동하여서 사용할 수 있다. 또한 화면 건너뛰기값을 조절함으로서 고속 물체와 저속 물체 모두를 효과적으로 감지할 수 있다. 차영상에 존재할 수 있는 잡음에 대해서 객체의 정보를 이용하는 방법을 통해서 잡음에 대한 내성을 강하게 하였다. 제안한 움직임 추적기는 NTSC급 영상을 충분히 처리할 수 있으며 약 13,000 게이트로 FPGA에서 구현되었으며 능동형 감시 카메라 시스템에 내장되어 실제로 원활히 동작하는 것을 확인하였다. 이를 바탕으로 기존에 개발한 움직임 추정기에 제안한 움직임 추적기를 내장하여 동영상 압축 코덱과 연동이 가능한 움직임 추적기 내장형 움직임 추정기를 구현하였다. 구현된 움직임 추정기는 $0.35{\mu}m$ 공정에서 약 17,000 게이트의 크기를 가진다.

출자총액제한제도와 순환출자금지제도

  • 박길준
    • 월간경쟁저널
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    • 128호
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    • pp.2-5
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    • 2006
  • 출자총액제한제도는 그 순기능.정기능이 논의되는 와중에서도 소기의 임무를 완수하고 정리단계에 들어섰다. 그 대안으로 순환출자금지제도가 유력하게 부각되고 있으나 그 논리적 타당성에도 불구하고 각계각층의 의견 상충으로 확실한 결론에 이르지 못하고 있다. 한편 우리 회사법에 규정된 상호출자금지규정도 대규모기업집단의 상호출자 규율에는 역부족이다 아무쪼록 대기업집단의 소유지배구조가 개선되고 시장감시장치가 효과적으로 작동될 수 있는 새로운 제도의 모색에 온 국민이 지혜를 짜 모아야할 때이다.

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정책안내 - "인증서 대여한 불법전자입찰 뿌리 뽑는다" - 조달청, 불법전자입찰 징후분석시스템 본격가동 -

  • 대한설비건설협회
    • 월간 기계설비
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    • 통권229호
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    • pp.41-42
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    • 2009
  • 조달청이 입찰자 정보를 분석해 불법전자입찰을 색출해내는 '불법전자입찰 징후분석시스템'을 본격 가동한다. 조달청(청장 권태균)은 지난 7월 22일 "아직도 일부 입찰자들이 전자입찰시스템을 악용, 담함 및 공인 인증서 대여 등의 불법입찰 행위를 하고 있다"고 지적하고 "이를 체계적이고 상시 감시하기 위한 불법전자 입찰 징후분석시스템(이하 '징후분석시스템')을 본격 가동해 불법입찰 혐의가 짙은 201개 업체를 공정거래 위원회에 조사요청 할 계획"이라고 밝혔다. 이번 '징후분석시스템'의 본격가동으로 인증서 대여를 통한 불법전자입찰 행위를 뿌리 뽑아, 국가예산의 낭비방지 및 공공공사와 조달물품의 품질 제고에 기여할 것으로 기대된다.

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엔드밀 공정에서 공구 동력계를 이용한 절삭상태 감시 (Cutting Process Monitoring Using Tool Dynamometer in End-Milling Process)

  • 김홍겸;양호석;이건복
    • 한국공작기계학회:학술대회논문집
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    • 한국공작기계학회 2001년도 추계학술대회(한국공작기계학회)
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    • pp.14-18
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    • 2001
  • Rise in cutting force causes tool damage and worsens product quality resulting in machining accuracy deterioration. Especially, fragile material cutting brings about breakage of material and worsens product surface quality. In this study, we trace the locus of cutting force and examine the machined surface corresponding to the cutting force loci. and build up a monitoring system for deciding normal operation or not of cutting process.

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Ti-Con 보드 검사를 위한 원격 감시 및 다중처리 시스템 개발 (Development of a Remote Monitoring and Multiple Processing System for the Ti-Con Board Test)

  • 박형근;이승대;김선엽
    • 한국산학기술학회:학술대회논문집
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    • 한국산학기술학회 2007년도 춘계학술발표논문집
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    • pp.62-65
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    • 2007
  • 본 연구에서는 LCD Panel 의 생산 후공정에서 사용되는 Ti-Con 보드의 동작 상태를 실시간으로 모니터링하고 원격지에 있는 엔지니어에게 TCP/P를 이용하여 고장 유무를 판별할 수 있는 데이터를 전송함으로써 신속한 대처가 가능할 뿐만 아니라 다중 프로세스가 가능하도록 제어할 수 있는 시스템을 개발하였다.

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생산자동화용 국제표준 메시지통신규약 - MMS

  • 박정우;김영신;권욱현
    • 제어로봇시스템학회지
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    • 제2권4호
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    • pp.30-41
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    • 1996
  • MMS는 통신망으로 연결된 자동화기기와 컴퓨터 응용 프로그램간에 실시간 데이터와 감시제어정보를 교환하기 위한 국제표준의 메시지 교환 규약으로, MMS는 실행되는 응용기능의 종류나 기기의 개발자에 관계없이 표준적인 방법으로 정보를 교환하게 한다. MMS에서 제공되는 서비스들은 각종의 자동화기기와 응용 프로그램, 또한 여러 산업현장에서 필요로 하는 기능을 모두 만족하기에 충분하다. 그리고 MMS는 자동화된 생산공정을 구성하거나 사용하는데 필요한 경비를 줄여준다. MMS는 다양한 자동화 기기간의 통신을 하나의 통일된 규약과 방법론을 사용하여 이루고자 할 때 상호운용성(Interoperability), 독립성(Independence), 데이터접근(Data Access)성 등의 특징을 가장 잘 발휘할 수 있다.

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웨이퍼 가공공정 실시간 감시제어에 관한 연구 (A study on the real-time monitoring & control for wafer fabrication process)

  • 임성호;이근영;이범렬;한근희;최락만
    • 제어로봇시스템학회:학술대회논문집
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    • 제어로봇시스템학회 1989년도 한국자동제어학술회의논문집; Seoul, Korea; 27-28 Oct. 1989
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    • pp.421-426
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    • 1989
  • Many of semiconductor manufacturing companies persuit automation of wafer fabrication to improve the yields and quality of their products. Development of real-time control system for wafer fabrication and wafer/cassette automatic transfer-system is the most important part to achieve the purpose. In this paper, SECS protocol proposed by SEMI is briefly reviewed and an implementation method of real-time monitoring and control system is suggested as one of the possible ways for wafer fabrication automation. The system consists of process equipments supporting SECS.

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MMIS 동적 모의를 위한 우선순위 기반의 소프트웨어 요구사항 (Software requirements based on priority for MMIS dynamic simulation)

  • 박근옥;이종복;구인수
    • 한국정보과학회:학술대회논문집
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    • 한국정보과학회 2002년도 봄 학술발표논문집 Vol.29 No.1 (B)
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    • pp.379-381
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    • 2002
  • 소프트웨어 개발 프로젝트에서 소프트웨어 요구사항의 잦은 변경 또는 요구사항 확정의 지연은 소프트웨어의 품질저하, 납기지연, 개발요구자와 개발담당자 간의 의견충돌을 야기한다. 특히 원자력발전소 환경과 같은 mission-critical 영역의 경우에는 발전소 건설자체를 지연시킬 수 있는 심각한 결과를 초래한다. 본 논문에서는 원자력발전소의 감시와 제어를 담당하는 MMIS(Man Machine Interface System) 환경을 동적으로 모의하는 소프트웨어 개발 과정에서 요구사항 변경의 가능성을 최소화시킬 의도로 시도하였던 요구사항 우선순위 설정에 대한 경험과 교훈을 살펴본다. 또한, 요구사항 우선순위를 기반으로 한 소프트웨어 개발 공정 활동을 토의한다

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