• 제목/요약/키워드: 공기 스프링

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초정밀작업을 위한 제진시스템의 동역학 모델링 연구 (A Study on Dynamic Modeling of the Vibration Isolation System for the Ultra Precision Measurement)

  • 손성완;장성호;백재호;전종균;권영철
    • 한국산학기술학회논문지
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    • 제10권1호
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    • pp.25-31
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    • 2009
  • 공기스프링을 감쇠기로 사용하는 방진대는 넓은 주파수대역에서 우수한 진동 절연성능을 가짐으로 널리 사용되어 왔다. 하지만 공기스프링은 구조적으로 저강성, 저감쇠의 특성을 가지고 있으므로 외란에 의해 쉽게 가진되어 안정성이 떨어지는 문제가 있다. 이에 공기스프링과 같은 수동소자만을 이용한 수동제어 형식의 보완을 위해 능동 및 반능동 방식의 감쇠기가 제안되고 연구되고 있다. 따라서 본 연구에서는 이러한 수동형 제진대의 능동 및 반능동제어를 위한 동역학적 해석에 관하여 연구하였다. 제진대의 제어시스템 구현을 위하여 6 자유도 제진대의 물리적인 특성에 기초한 동역학적 모델을 정립하고 해석 및 실험을 통해 동역학 모델의 적용가능성을 검증하였다.

반도체 생산에서 진동 제어를 위한 전자기 에어 스프링 (An Electro-magnetic Air Spring for Vibration Control in Semiconductor Manufacturing)

  • 김형태;김철호;이강원;이규섭;손성완
    • 한국소음진동공학회논문집
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    • 제20권12호
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    • pp.1128-1138
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    • 2010
  • 정밀 방진에서 전형적인 문제로 고하중으로 인한 저주파 공진 특성이 있다. 전자기 에어 스프징은 진동 제어 장치이자 능동형 방진 장치이다. 이 연구에서 전자기 에어 스프링은 반도체 생산을 위한 저주파 공진을 제거하는 것을 목적으로 한다. 능동형 방진 장치로 기계 및 전가 부분은 2.5톤의 하 중에 작동되도록 설계하였다. 전자기 스프링은 탄성 공압 챔버 내에 공기압을 이용하여 띄우고, 전자기 된 시스템에 의하면 공진 주파수 영역에서 제어 시간 및 최고 피크가 상당히 줄어들었고, 그 결과 피동형 시스템 상의 고유 진동에 의해 발생되는 공진을 피할 수 있음을 보였다.

클린룸 내 스프링쿨러 소화설비 시공사례

  • 김형겸
    • 공기청정기술
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    • 제17권4호통권67호
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    • pp.58-68
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    • 2004
  • 국내 반도체, TFT-LCD, PDP 등의 제조공장 클린룸 내부의 스프링클러 소화설비는 90년대 말까지는 소화설비의 오 작동에 의한 고가 생산 장비의 물 피해가 우려 되어 면제가 되어왔으나, 1998년 대만 반도체 공장의 대형 화재사건이 발생한 이후로는 영미계 재 보험사들의 강력한 요청에 의하여 국내 관련 제조시설 내부에도 스프링클러 소화설비는 의무화 되고 있는 실정이다. 본 글에서는 반도체 제조공장의 소화설비의 특성을 중심으로 클린룸 내의 스프링클러 소화설비 시공사례를 소개하여 관련업계 관계자들의 이해를 돕고자 한다.

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비정형 물체의 실시간 애니메이션을 위한 안정적 질량-스프링 모델 (Stable Mass-Spring Model for Real-time Animation of Flexible Objects)

  • 강영민;조환규;박찬종
    • 한국컴퓨터그래픽스학회논문지
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    • 제5권1호
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    • pp.27-33
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    • 1999
  • 본 논문은 유연한 비정형 물체의 애니메이션을 위한 효율적인 기법을 제안한다. 비정형 물체를 표현하기 위해 질량-스프링 모텔이 사용되었다. 지금까지 많은 기법들이 부드러운 객체의 사실적인 애니메이션을 생성하기 위해 질량-스프링 모델을 사용하였다. 질량-스프링 모텔의 애니메이션을 수행하기 위한 가장 손쉬운 접근법은 명시적 오일러 방법 (explicit Euler method)인데, 이 방법은 '불안정성 문제'라는 잘 알려진 문제가 발생한다는 단점을 가지고 있다. 이 불안정성 문제를 해결하기 위한 해법으로 암시적 적분법이 사용될 수 있다. 그러나, 이 암시적 방법의 가장 결정적인 약점은 대규모의 선행 시스템을 풀어야 한다는 것이다. 본 논문은 암시적 방법의 근사(approximation)를 이용하여 질량-스프링 모델을 빠른 시간에 애니메이션 할 수 있는 기법을 제시한다. 제안된 기법은 n 개의 질점이 O(n) 개의 스프링으로 연결되어 있을 때, 각 질점의 상태를 O(n) 시간에 안정적으로 갱신할 수 있다. 본 논문은 사실적인 결과를 위해 비정형 물체와 공기와의 상호 작용도 고려하였다.

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