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구리 박막의 증착 분위기와 처리 과정에 따른 변화

  • Lee, Do-Han;Byeon, Dong-Jin;Jin, Seong-Eon;Choe, Jong-Mun;Kim, Chang-Gyun;Jeong, Taek-Mo
    • Proceedings of the Materials Research Society of Korea Conference
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    • 2009.05a
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    • pp.23.2-23.2
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    • 2009
  • 기존에 사용되었던 알루미늄 배선 공정은 공정의 배선 크기가 줄어들면서 한계에 다다르고 있다. 따라서 이를 대체하기 위해 여러 가지 새로운 방법들이 고안되고 있으며, 그중 알루미늄을 비저항이 낮고 EM(electro-migration) 저항성이 뛰어난 구리로 대체하려는 연구가 진행되고 있다. 구리 배선은 이미 electroplating 공정을 이용해 산업에 적용되고 있으며, seed layer로는 sputtering 법을 이용하고 있다. 하지만 sputtering 을 포함한 PVD 법은 대부분 종횡비나 단차 피복도가 좋지 않기 때문에 이를 CVD로 교체한다면 많은 장점을 가질 수 있다. 하지만 CVD 공정을 진행하기 위해서는 많은 문제점들이 있는데, 이중 전구체에 대한 문제도 빼놓을 수 없는 이슈이다. Cu(dmamb)2 는 기존에 사용하던 $\beta$-diketonate 계열의 전구체보다 화학적으로 많은 장점을 가지고 있어, CVD 공정에 적합하다. 이에 따라 구리 박막 증착의 공정 조건을 설계하고, 고품질의 박막을 증착하기 위한 다양한 처리법을 고안하여 증착 실험을 진행하였다. 기본적으로 구리는 확산력이 좋아 실리콘계열의 기판에서 확산력이 매우 좋아 기판 내로 확산되기 때문에 이를 방지하기 위하여 Ta, Ti 계열의 박막을 사용하여 확산을 방지하고 있다. 따라서 전이 금속 박막의 표면과 증착 분위기 등을 고려하여 구리를 증착하였으며, 표면의 미세구조 및 성분을 FESEM 등을 통해 분석하였다.

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New Liquid Crystalline Methacrylate Polymers Containing 4-Methacryloyloxyphenoxy Group and 4'-((S)-(+)-2-Methylbutoxy)biphenyl-4-carboxyl Mesogenic Group: 1. Synthesis and Characterization of the Monomers (4-Methacryloyloxyphenoxy기와 4'-((S)-(+)-2-methylbutoxy)biphenyl-4-carboxyl 메소겐기를 갖는 새로운 메타크릴레이트 액정화합물: 1. 단량체의 합성 및 특성)

  • So, Bong-Keun;Lee, Sang-Ho;Lee, Soo-Min
    • Journal of the Korean Chemical Society
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    • v.48 no.6
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    • pp.599-608
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    • 2004
  • New two kinds of methacrylate monomers having a benzene ring inserted between spacer and methacryloyl group and the chiral center connected to the terminal of the mesogenic structures were synthesized. In these two series the effects for the formation of the liquid crystals in regard to the length changes of the spacers and mesogenic groups were investigated. The first series did not show any liquid crystalline phases in the intermediate compounds nor in the end products. However, the methacrylates of second series showed the liquid crystalline phases in the intermediate compounds as well as in the final products regardless of the length of the spacers.

Theoretical Studies on the Electrical Characteristics of the Anthocyanin Derivatives (안토시아닌 유도체의 전기적 특성에 대한 이론적 연구)

  • Lee, Chul Jae;Choi, Jeong-Won;Jang, WoonGeun
    • The Journal of the Convergence on Culture Technology
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    • v.4 no.4
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    • pp.343-348
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    • 2018
  • Anthocyanin derivatives are an important of natural compounds responsible for the red, purple and blue colors in a large number of plants. This molecules are polymethoxy-derivatives of 2-phenylbenzopyrylium salts. Despite the beneficial properties of anthocyanins, the effectiveness of preventing or treating various diseases depends on bioavailability. Therefore, In this study, in order to investigate the electrical characteristics of anthocyanin derivatives, we investigated the electrochemical properties of derivatives by calculating the total energy, bandgap, net charge of anthocyanin derivatives using HyperChem8.0's PM3 method.

Exploring High School Students' Perceptions on Cross-Curriculum Character Education Factors in Mathematical Teaching & Learning (인성교육을 위한 수학 교수·학습에서 고등학생들의 범교과적 인성요소에 대한 인식변화)

  • Hong, In Sook;Choi-Koh, Sang Sook
    • Journal of Educational Research in Mathematics
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    • v.26 no.3
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    • pp.607-633
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    • 2016
  • Teachers and students tend to perceive mathematics irrelevant with character education. Since there has been no teaching of cross-curriculum characters education in mathematics classrooms, this research was to look for the possibility of teaching the character education in mathematics. Through the pilot study, trying to rebuild character factors based on Moon, et al,(2011), the researcher applied them to developing 8 lesson plans and carried them to 12th graders of the high school in March and April, 2014 using pre and post tests. Based on statistically significant difference with the level of p<.05, in "relation with me", for 'appointment' in the pretest, the students of natural science(SNS) exceeded, but in the posttest the students of humanities(SH) exceeded. In "relation with the other", in the posttest, for 'forgiveness' and 'responsibility' SNS, but for 'ownership' SH exceeded. In 'relation with a group' in the pretest for 'community spirit' SNS, and in the posttest SH exceeded. In the pretest in this study SNS naturally perceived the value of character education in math classes since they were closer to mathematics but after the experience through character education with cross-curriculum factors, SH perceived its importance expecially 'appointment', 'ownership', and 'community spirit' more than SNS so that we could predict the possibility of teaching cross-curriculum character factors in mathematics even after they had preconception as a high school student.

Dicobalt hexacarbonyl tert-butylacetylene와 ozone을 이용한 cobalt oxide의 원자층 증착 공정

  • Choe, Gyu-Ha;Jin, Gwang-Seon;Han, Byeol;Lee, Won-Jun
    • Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference
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    • 2011.02a
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    • pp.113-113
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    • 2011
  • Cobalt oxide 박막은 gas sensor, electro-chromic 소자 그리고 energy storage 소자등 광범위한 분야에서 연구되고 있으며 sputtering, CVD 그리고 electrochemical deposition 를 포함한 다양한 방법으로 증착할 수 있다. 최근에는 원자층 증착 방법을 이용한 cobalt oxide박막 증착이 연구되었는데, cyclopentadienyl계열의 전구체와 ${\beta}$-diketonate계열의 전구체를 이용하였다. 하지만 전구체의 낮은 증기압으로 인해 낮은 growth rate (약 0.02~0.05 nm/cycle)을 보였다. 본 연구에서는 증기압이 높은 전구체인 CCTBA (dicobalt hexacarbonyl tert-butylacetylene) 를 선정하여 원자층 증착 공정의 growth rate를 향상시키고자 하였다. 반응기체로는 O3을 사용하여 cobalt oxide 박막을 증착하였다. 반응기체의 주입시간 및 공정온도를 달리하여 시편을 증착한 결과 $80^{\circ}C$에서 0.1 nm/cycle로 기존의 보고된 growth rate보다 높은 수치를 얻을 수 있었다. 또한 증착된 cobalt oxide 박막내 조성분석과 I-V 측정 등을 이용하여 물리적, 전기적 특성을 규명하였다

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Lap Details Using Headed Bars and Hooked Bars for Flexural Members with Different Depths (확대머리 철근과 갈고리 철근을 이용한 단차가 있는 휨부재의 겹침이음상세)

  • Lee, Kyu-Seon;Jin, Se-Hoon;Kim, Seung-Hun
    • Journal of the Korea institute for structural maintenance and inspection
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    • v.20 no.4
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    • pp.144-152
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    • 2016
  • This paper focuses on the experimental study for investigating the performance for lap splice of hooked or headed reinforcement in beam with different depths. In the experiment, seven specimens, with its variables as the lap length of headed or hooked bar, the existence of stirrups, etc., was manufactured. Bending test was conducted. Lap strengths by test were compared with the theoretical model based on KCI2012. The result showed that the cracks at failure mode occurred along the axial direction to a headed bar. The initial stiffness and the stiffness after initial crack were similar for all specimens. For HS series specimens without stirrups, a 25% increase in lap length was increased 11.8~18.1% maximum strengths. For HH series specimens without stirrups, a increase in lap length did not affect the maximum strengths because of the pryout failure of headed bar. For HS series specimens, the theoretical lap strengths based on KCI2012 considering the B grade lap and the reduction factor for stirrup were evaluated. They are smaller than the test strengths and can ensure the safety in terms of strength capacity. For HH series specimens, the stirrups in the lap zone are needed to prevent the pryout behaviour of headed bar.

A Study of Performance Decision Factor for Moving Object Database in Main Memory Index (이동체 데이터베이스를 위한 메인 메모리 색인의 성능 결정 요소에 관한 연구)

  • Lee, Chang-Woo;Ahn, Kyoung-Hwan;Hong, Bong-Hee
    • Proceedings of the Korea Information Processing Society Conference
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    • 2003.05c
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    • pp.1575-1578
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    • 2003
  • 이동통신 기술의 발달로 인하여 무선 이동 기기의 사용이 보편화되면서 LBS(Location Based System)의 요구가 나날이 증대되고 있다. 이와 같은 위치 기반 서비스에서 클라이언트인 이동체들은 일정한 보고 주기를 가지고 서버에 위치 데이터를 보고하게 되는데, 빈번한 보고 데이터를 실시간으로 처리하기 위해서 서버에서는 메인 메모리 DBMS를 유지하는 것이 필요하다. 기존에 제시된 메인 메모리 색인으로는 T-tree 가 있는데, 이는 1차원 데이터를 위한 것이므로 이동체 데이터베이스 환경에 적합하지 못하다. 그리고, 디스크 기반의 다차원 색인으로는 R-tree 계열이 있는데, 이는 메인 메모리에서 효율적인 사용을 보장하지 못한다. 이 논문에서는 이동체 데이터베이스 환경에 적합한 메인 메모리 색인을 고려함에 있어서, 기존의 디스크 기반의 다차원 색인으로 가장 널리 알려진 R-tree 계열의 색인을 메인 메모리에 적재 후 메인 메모리 환경에서 성능에 영향을 주는 요소를 실험을 통하여 제시한다. 실험은 메인 메모리에서는 간단한 알고리즘을 사용하는 것이 성능에 좋고, 삽입 시에는 삽입할 노드를 찾기 위해서 비교하는 엔트리의 수가, 검색 시에는 노드간의 중첩으로 인하여 비교하는 노드의 수와 엔트리의 수가 성능에 영향을 주는 요소임을 보여준다.

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Fabrication and Scintillation Characteristics of LiPO3 glass scintillators with the lanthanides activators (란탄계열 원소를 활성체로 첨가한 LiPO3 유리 섬광체의 제작과 섬광특성)

  • Whang, J.H.;Lee, J.M.;Jung, S.J.;Choi, S.H.;Sumarokov, S. Yu.
    • Journal of Sensor Science and Technology
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    • v.12 no.3
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    • pp.139-148
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    • 2003
  • $LiPO_3$ glass scintillators were fabricated, and lanthanides(except Pm) oxides or chlorides were used as an activator. For the fabrication of $LiPO_3$ glasses, optimum heating conditions were obtained, and the photoluminescence of the glasses was measured by the monochromator. For the best transparency of the glass samples, optimum heating temperature and time are $950^{\circ}C$ and 90 min, respectively. It was found that Pr, Nd, Gd, Ho, Er, Tm, Yb and Lu do not work as activator; emission spectrums of samples with them were equal to those of samples without activators. In the case of samples with Europium, the peaks of emission spectrum of $Eu^{2+}$ and $Eu^{3+}$ were 420 nm and 620 nm respectively. And samples with $Ce^{3+}$ were about 380 nm, and $Tb^{3+}$ were about 550 nm. Glass scintillators with $Be^{3+}$, $Eu^{2+}$, and $Ce^{3+}$ were found to be more applicable to neutron detection. The result of neutron detection by Ra-Be sources showed that $Ce^{3+}$ was found to be the best activator of $LiPO_3$.

Application of a Penalty Function to Improve Performance of an Automatic Calibration Model (벌칙 함수를 이용한 자동 보정 모형의 기능 향상에 관한 연구)

  • Kang, Tae-Uk;Lee, Sang-Ho
    • Proceedings of the Korea Water Resources Association Conference
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    • 2012.05a
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    • pp.853-857
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    • 2012
  • 진화계열 알고리즘은 무제약 최적화 알고리즘이다. 이러한 진화계열 알고리즘에 제약조건을 반영하기 위해서는 제약조건을 다룰 수 있는 추가적인 방법이 요구된다. 연구에서는 SWMM과 집합체 혼합진화 알고리즘을 연계한 자동 보정 모형에 제약조건을 반영하기 위해 벌칙 함수를 적용하였다. 적용된 벌칙 함수는 홍수 유출 해석 시 중요한 요소인 첨두유량과 관계된 제약사항이다. 벌칙 함수를 포함하여 구성된 자동 보정 모형은 밀양댐의 2009년 7월에 발생한 두 개의 호우사상에 대하여 적용되었다. 그 결과, 첨두유량에 관계된 벌칙 함수를 포함하지 않은 자동 보정의 경우, 첨두유량과 첨두유출 발생시간 모두 계산 결과가 관측자료에 부합하지 못하였다. 반면에 벌칙 함수를 적용할 경우, 계산 및 관측 자료의 첨두유량 오차는 확연히 줄었고, 첨두유량의 발생시간은 정확히 일치하였다. 그리고 계산된 수문곡선의 형상도 관측 수문곡선에 적합되었다. 즉, 벌칙 함수를 이용한 제약조건의 반영을 통해 자동 보정 모형의 기능을 향상 시킬 수 있었다.

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