The effect of annealing temperature and Ta layer on the electric conductivity of Au thin film deposited by the magnetron sputtering (마그네트론 스퍼터링법으로 증착한 Au 박막의 전기전도특성에 미치는 열처리 온도와 Ta 삽입층의 영향)
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- Journal of the Korean Vacuum Society
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- 제16권6호
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- pp.433-438
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- 2007