• Title/Summary/Keyword: 갭분석

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Study on electron beam treatment on $Cu_2Se$ thin films by DC sputtering method (DC sputter방식으로 제조된 $Cu_2Se$ 박막의 전자빔 처리에 따른 특성 연구)

  • Kwon, Hyuk;Kim, ChaeWoong;Jung, SeungChul;Kim, DongJin;Park, InSun;Jeong, ChaeHwan
    • 한국신재생에너지학회:학술대회논문집
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    • 2011.11a
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    • pp.53.1-53.1
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    • 2011
  • 현재 태양전지시장에서 비중이 많은 실리콘 태양전지는 높은 효율에 비해 제조 단가가 비싸다는 단점을 가지고 있다. 이에 비해 칼코파라이트 구조의 $CuInSe_2$ (CIS)계 화합물은 직접 천이형 반도체로서 높은 광흡수 계수($1{\times}105cm-{\acute{e}1$)와 밴드갭 조절의 용이성 및 열적 안정성 등으로 인해 고효율 박막 태양전지용 광흡수층 재료로 많은 관심을 끌고 있다. CIS 계 물질에 속하는 Cu(InGa)$Se_2$ (CIGS) 태양전지의 경우 양산화에 sputtering방식사용하고 Showa Shell에서는 대면적 CIGS 모듈 효율 13.4%를 달성한 바 있다. 현재 CIGS는 열처리하는 방법으로 selenization 공정을 사용하는데 이 공정은 유독한 $H_2Se$ gas를 이용해야 한다는 점과 긴 시간 동안 열처리를 해야 하는 단점을 가지고 있다. 따라서 이러한 단점을 보완하기 위해 본 연구에서는 전자빔을 사용하여 후속 공정을 실시하였다. 전자빔을 사용할 경우 낮은 온도에서 precursor를 처리하며 짧은 시간에 공정이 끝난다는 장점이 있다. 본 연구에서는 sodalime glass위에 조성비(Cu 60.87% Se 38.66%)인 Cu_2Se$ target(4.002"${\times}0.123$") 을 DC sputter를 이용하여 DC power를 50W,100W를 주고 Working pressure를 20,15,10,5,3,1mtorr로 조절하여 증착하였다. 전자빔의 세기 조건을 3Kv, Rf power 200W, Ar 7sccm로 전자빔 조사 시간을 1,2,3,4,5min으로 늘려가며 최적화 실험 하였고 최적화된 조건으로 $Cu_2Se$ target에 조사 하였다. 박막의 특성평가는 전자빔 조사 전/후에 대해 XRD, SEM, XRF, Hall measurement, UV-VIS을 이용하여 분석평가를 하였다. 이 실험은 $Cu_2Se$상이 자라는 특성과 표면 상태에 따라 CIGS박막을 증착하였을 때 나타나는 효율 변화를 알아 보기위한 초기 공정 실험이다.

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Electrical Characteristics of a-GIZO TFT by RF Sputtering System for Transparent Display Application

  • Lee, Se-Won;Jeong, Hong-Bae;Lee, Yeong-Hui;Jo, Won-Ju
    • Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference
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    • 2011.02a
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    • pp.100-100
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    • 2011
  • 2004년 일본의 Hosono 그룹에 의해 처음 발표된 이래로, amorphous gallium-indium-zinc oxide (a-GIZO) thin film transistors (TFTs)는 높은 이동도와 뛰어난 전기적, 광학적 특성에 의해 큰 주목을 받고 있다. 또한 넓은 밴드갭을 가지므로 가시광 영역에서 투명한 특성을 보이고, 플라스틱 기판 위에서 구부러지는 성질에 의해 플랫 패널 디스플레이나 능동 유기 발광 소자(AM-OLED), 투명 디스플레이에 응용될 뿐만 아니라, 일반적인 Poly-Si TFT에 비해 백플레인의 대면적화에 유리하다는 장점이 있다. 최근에는 Y2O3나 ZrO2 등의 high-k 물질을 gate insulator로 이용하여 높은 캐패시턴스를 유지함과 동시에 낮은 구동 전압과 빠른 스위칭 특성을 가지는 a-GIZO TFT의 연구 결과가 보고되었다. 하지만 투명 디스플레이 소자 제작을 위해 플라스틱이나 유리 기판을 사용할 경우, 기판 특성상 공정 온도에 제약이 따르고(약 $300^{\circ}C$ 이하), 이를 극복하기 위한 부가적인 기술이 필수적이다. 본 연구에서는 p-type Si을 back gate로 하는 Inverted-staggered 구조의 a-GIZO TFT소자를 제작 하였다. p-type Si (100) 기판위에 RF magnetron sputtering을 이용하여 Gate insulator를 증착하고, 같은 방법으로 채널층인 a-GIZO를 70 nm 증착하였다. a-GIZO를 증착하기 위한 sputtering 조건으로는 100W의 RF power와 6 mTorr의 working pressure, 30 sccm Ar 분위기에서 증착하였다. 소스/드레인 전극은 e-beam evaporation을 이용하여 Al을 150 nm 증착하였다. 채널 폭은 80 um 이고, 채널 길이는 각각 20 um, 10 um, 5 um, 2 um이다. 마지막으로 Furnace를 이용하여 N2 분위기에서 $500^{\circ}C$로 30분간 후속 열처리를 실시한 후에, 전기적 특성을 분석하였다.

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광전자소자의 응용을 위한 산화아연 나노로드의 패터닝 형성방법

  • Go, Yeong-Hwan;Yu, Jae-Su
    • Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference
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    • 2011.02a
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    • pp.97-97
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    • 2011
  • 산화아연 (ZnO)은 넓은 에너지 밴드갭 (~3.37 eV), 큰 엑시톤 결합 에너지 (~60 meV) 그리고 높은 전자 이동도 (bulk~300 $cm^2Vs^{-1}$, single nanowire~1000 $cm^2Vs^{-1}$)를 갖고 있어, 광전자 소자 및 반도체소자 응용에 매우 널리 사용되고 있다. 특히, 산화아연 나노로드(ZnO nanorod)는 1차원 나노구조로써 더욱 향상된 전자 이동도와 캐리어의 direct path way를 제공하여 차세대 광전자소자 및 태양광 소자의 응용에 대한 연구가 매우 활발하게 이루어지고 있다. 한편, 이러한 산화아연 나노로드를 성장시키기 위하여 VLS (vapor-liquid-solid), 졸-겔 공정(sol-gel process), 수열합성(hydrothermal synthesis), 전기증착(electrodeposition)등 다양한 방법이 보고되었지만, 이러한 산화아연 나노로드의 성장방법은 실제적인 소자응용을 위한 패터닝 형성에 대하여 제약을 받는 문제점이 있다. 이들 중에서 수열합성법과 전극증착법은 ZnO 또는 AZO (Al doped ZnO) seed 층 표면과 성장용액의 화학반응에 의해서 선택적으로 산화아연 나노로드를 성장시킬 수 있다. 이에 본 연구에서는, 광전자소자의 응용을 위한 간단한 패터닝 공정을 위해, 산화인듐주석(ITO) 박막이 증착된 유리기판(glass substrate)위에 수열합성법과 전극증착법을 이용하여 산화아연 나노로드를 선택적으로 성장시켰다. 실험을 위해, ITO glass 위에 RF magnetron 스퍼터를 사용하여 AZO seed 층을 metal shadow mask를 이용하여 패터닝을 형성한 후, 질산아연과 헥사메틸렌테트라아민으로 혼합된 용액에 $85^{\circ}C$ 온도를 유지하여, 패터닝이 형성된 샘플에 전압을 인가하여 성장시켰다. 나노구조 분석을 위해, 전계주사현미경을 이용하여 수열합성법과 전기증착법에 의한 패터닝된 산화아연 나노로드를 비교하여 관찰하였다.

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Preparation of Cadmium-free Buffer Layers for CIGS Solar Cells (CIGS 태양전지용 Cd-Free 버퍼층 제조)

  • Moon, Jee Hyun;Kim, Ji Hyeon;Yoo, In Sang;Park, Sang Joon
    • Applied Chemistry for Engineering
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    • v.25 no.6
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    • pp.577-580
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    • 2014
  • Indium hydroxy sulfide ($In(OH)_xS_y$) as a cadmium (Cd)-free buffer layer for $CuInGaSe_2$ (CIGS) solar cells was prepared by the chemical bath deposition (CBD) and the reaction time was optimized. The band gap energy and transmittance data alongside the thickness results from the direct observation with focused ion beam system (FIB) could be a powerful tool for optimizing the conditions. In addition, X-ray diffractometer (XRD), X-ray photoelectron microscopy (XPS), and scanning electron microscope (SEM) were also employed for the layer characterization. The results indicated that the optimum reaction time for $In(OH)_xS_y$ buffer layer deposition by CBD was 20 min at $70^{\circ}C$ under the conditions employed. At the optimum conditions, the buffer layer thickness was near 57 nm and the band gap energy was 2.7 eV. In addition, it was found that there was no XPS peak shift in between the buffer layers deposited on molybdenum (Mo)/glass and that on CIGS layer.

Study on Sonochemical Synthesis and Characterization of CdTe Quatum Dot (초음파 방법을 이용한 CdTe 양자점의 합성 및 특성에 관한 연구)

  • Yoo, Jeong-yeol;Kim, Woo-seok;Park, Seon-A;Kim, Jong-Gyu
    • Applied Chemistry for Engineering
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    • v.28 no.5
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    • pp.571-575
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    • 2017
  • In this study, cadmium telluride (CdTe) quantum dots were synthesized by using ultrasonic irradiation method. Optical properties and structural characteristics of the CdTe quantum dots were analyzed by two main variables; the ratio of the precursor and the synthesis time. As the synthesis time increased, the band gap reduction was observed with the growth of CdTe quantum dots. As for the luminescence properties, the red shift appeared at 510~610 nm wavelength range. Also, it was confirmed that the red shift occurs rapidly as the ratio of Te increases. According to PL peak intensity, the highest intensity was shown at 180 to 240 min. Structural characteristics of CdTe quantum dots were investigated through XRD and TEM, and the cubic zinc blend structure was observed. The size of quantum dots was about 2.5 nm and uniformly dispersed when the synthesis time took 210 min. In addition, the apparent crystallinity was discovered in FFT image.

Development of A Methodology for In-Reactor Fuel Rod Supporting Condition Prediction (노내 연료봉 지지조건 예측 방법론 개발)

  • Kim, K. T.;Kim, H. K.;K. H. Yoon
    • Nuclear Engineering and Technology
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    • v.28 no.1
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    • pp.17-26
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    • 1996
  • The in-reactor fuel rod support conditions against the fretting wear-induced damage can be evaluated by residual spacer grid spring deflection or rod-to-grid gap. In order to evaluate the impact of fuel design parameters on the fretting wear-induced damage, a simulation methodology of the in-reactor fuel rod supporting conditions as a function of burnup has been developed and implemented in the GRIDFORCE program. The simulation methodology takes into account cladding creep rate, initial spring deflection, initial spring force, and spring force relaxation rate as the key fuel design parameters affecting the in-reactor fuel rod supporting conditions. Based on the parametric studies on these key parameters, it is found that the initial spring deflection, the spring force relaxation rate and cladding creepdown rate are in the order of the impact on the in-reactor fuel rod supporting conditions. Application of this simulation methodology to the fretting wear-induced failure experienced in a commercial plant indicates that this methodology can be utilized as an effective tool in evaluating the capability of newly developed cladding materials and/or new spacer grid designs against the fretting wear-induced damage.

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Particle Shapes and Optical Property of Synthesized ZnO with Amine Additives (아민첨가제를 사용하여 합성된 ZnO의 입자형상 및 광학적 특성)

  • Hyeon, Hye-Hyeon;Hyun, Mi-Ho;Lee, Dong-Kyu
    • Journal of the Korean Applied Science and Technology
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    • v.33 no.1
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    • pp.23-29
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    • 2016
  • Zinc oxide of hexagonal wurzite, is known as n-type semiconductor. It has a wide band gap energy of 3.37 eV and large exciton binding energy of 60 meV. It can be widely applied to gas sensors, laser diodes, dye-sensitized solar cells and degradation of dye waste. The use of microwave hydrothermal synthesis brings a rapid reaction rate, high yield, and energy saving. Amine additives control the different particle shapes because of the chelate effect and formation of hydroxide ion. In this study, zinc nitrate hexahydrate was used as zinc precursor. In addition, ethanolamine, ethylenediamine, diethylenetriamine, and hexamethylenetetramine are used as shape control agent. The pH value was controlled as 11 by NaOH. The shapes of zinc oxide are star-like, rod, flower-like, and circular cone. In order to analyze physical, chemical, and optical properties of ZnO with diverse amine additives, we used XRD, SEM, EDS, FT-IR, UV-Vis spectroscopy, and PL spectroscopy.

Experimental Study on Wave-Induced Hydraulic Pressure subjected to Bottom of Floating Structures (부유구조체 하면에 작용하는 파압에 대한 실험적 연구)

  • Jeong, Youn-Ju;You, Young-Jun;Lee, Du-Ho
    • KSCE Journal of Civil and Environmental Engineering Research
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    • v.31 no.6A
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    • pp.425-433
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    • 2011
  • In this study, in order to investigate the wave-induced buoyancy effects, experimental studies were conducted on pontoon-type floating structures. A series of small-scale tests with various wave cases were performed on the pontoon models. A total of four small-scale pontoon models with different lateral shapes and bottom details were fabricated and tested under the five different wave cases. Six hydraulic pressure gauges were attached to the bottom surfaces of the pontoon models and the wave-induced hydraulic pressure was measured during the tests. Finally, hydraulic pressures subjected to the bottoms of the pontoon models were compared with each other. As the results of this study, it was found that whereas the waffled bottom shape hardly influenced the wave-induced hydraulic pressure, the hybrid lateral shape significantly influenced the wave-induced hydraulic pressure subjected on the bottoms of floating structures. The air gap effects of the hybrid shape contribute to decreasing the wave-induced hydraulic pressure due to absorption of wave impact energy. Compared with box type, the hydraulic pressures of the hybrid type were about 83% at the bow, 74% at the middle, and 53% at the stern.

The Improvement of Sensitivity Characteristics of Pd doped $SnO_2$ Nanowire Gas Sensor (Pd 도핑에 따른 $SnO_2$ 나노선 가스센서의 감도 특성 개선)

  • Kim, Yeon-Woo;Kwon, Sun-Il;Park, Seung-Beom;Lee, Seok-Jin;Jung, Tae-Hwan;Yang, Kea-Joon;Lim, Dong-Gun;Park, Jae-Hwan;Kim, Hong-Oh
    • Proceedings of the Korean Institute of Electrical and Electronic Material Engineers Conference
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    • 2008.06a
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    • pp.160-161
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    • 2008
  • $SnO_2$는 n형 반도체로써 3.6 eV의 큰 밴드갭을 가지는 물질로 CO와 NOx 가스에 좋은 감도를 나타내는 것으로 보고되고 있다. 문헌에 따른 일반적인 $SnO_2$ 가스센서는 후막이나 벌크형태로 제작되었다. 근래에는 가스감응체가 $SnO_2$ 나노선 형태인 가스센서가 활발한 연구 중에 있다. 본 논문에서는 기판 위에 서로 분리된 전극 패턴에 Au를 촉매로 하여 네트워크 구조로 된 $SnO_2$ 나노선이 합성되었다. 제작된 가스센서에 Pd 도핑에 따른 영향을 알아보기 위하여 1.8 mM의 Pd 용액 ($PdCl_2{\cdot}xH_2O$ 3 mg + $H_2O$ 10 ml)을 이용하여 센서에 도핑하였다. 측정 시스템에서 $NO_2$ 가스에 대한 센서의 특성을 분석한 결과 도핑하지 않은 $SnO_2$ 센서보다 20%정도의 감도가 개선되었다.

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Analysis of SF6, N2 Pressure Characteristic of Spark Gap According to Simulation (시뮬레이션을 통한 스파크갭의 SF6, N2 압력 특성 분석)

  • Choi, Sun-Ho;Lee, Tae-Woo;Bang, Jeong-Ju;Huh, Chang-Su
    • Journal of the Korean Institute of Electrical and Electronic Material Engineers
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    • v.27 no.3
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    • pp.172-177
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    • 2014
  • Industrial, medical, environment and agriculture application of pulse power technology have been developing rapidly in many field. In order to make use in the form of pulses is applied to the pulse forming technique. At this time, spark gap is generally used for the pulse forming. Spark gap may be possible to simulate the shape of the electrode, to know the uniform or non-uniform electric field of the electrode structure. Further, it can be determined using Paschen's law applied pressure of the insulating gas in accordance with the voltage which is created using the value of the electric field. In this paper, we tried to found using a formula and the simulation process to determine the pressure. The value of the electric field is different according to the shape of the electrode. So, the range of pressure applied also varies. In order to withstand the 100 kV with a gap of 5 mm, the nitrogen gas must be applied to about 7 bar in the electrode structure. On the other hand, in the same conditions, Sulfur hexafluoride gas must be applied to about 2 bar. Consequently, the Sulfur hexafluoride gas has a higher insulation properties than nitrogen gas may be applied to low pressure at the same conditions.